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1. (JP2010262306) HOLDING MECHANISM FOR LIQUID IMMERSION MEDIUM, LIQUID IMMERSION OBJECTIVE LENS, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR

Amt : Japan
Anmeldenummer: 2010154103 Anmeldedatum: 06.07.2010
Veröffentlichungsnummer: 2010262306 Veröffentlichungsdatum: 18.11.2010
Veröffentlichungsart : A
IPC:
G01N 21/64
G02B 21/24
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21
Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
62
Systeme, in welchen das untersuchte Material so angeregt wird, dass es Licht emittiert oder die Wellenlänge des auffallenden Lichts ändert
63
optisch angeregt
64
Fluoreszenz; Phosphoreszenz
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
21
Mikroskope
24
Grundlegender Aufbau
Anmelder: OLYMPUS CORP
オリンパス株式会社
Erfinder: HARADA MITSUO
原田 満雄
NANBA AKIHIRO
南波 昭宏
FUKUOKA MORINAO
福岡 荘尚
Vertreter: 蔵田 昌俊
河野 哲
中村 誠
福原 淑弘
峰 隆司
白根 俊郎
村松 貞男
野河 信久
幸長 保次郎
河野 直樹
砂川 克
勝村 紘
佐藤 立志
岡田 貴志
堀内 美保子
竹内 将訓
市原 卓三
山下 元
Prioritätsdaten: 2004038500 16.02.2004 JP
Titel: (EN) HOLDING MECHANISM FOR LIQUID IMMERSION MEDIUM, LIQUID IMMERSION OBJECTIVE LENS, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
(JA) 液浸媒質の保持機構、液浸対物レンズ及びその製造方法
Zusammenfassung: front page image
(EN) PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid immersion objective lens reducing the risk that a liquid immersion medium supplied to an objective lens tip part spills out and drops down from the objective lens tip part, in observing and measuring a sample, even when a moving amount for measurement is large, and even when requiring a long time, a holding mechanism for the liquid immersion medium, and a manufacturing method therefor.

SOLUTION: This liquid immersion object lens is formed of the tip part, a lens ring part, and a lens outer frame 10, the lend ring part includes the whole inclined surface inclined from the lens of the tip part up to the lens outer frame, and includes the first ring-like member ( part) for holding the liquid immersion medium that is an area surface-treated with the first material for holding the liquid immersion medium ring-likely, to surround the tip part within an area including the tip part of the liquid immersion objective lens and the lend ring part, and an affinity of the first ring-like member to the liquid immersion medium is lower than that of an area adjacent to an inner side of the surface-treated area to the liquid immersion medium.

COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
(JA)

【課題】試料を観察、測定する際に、測定の為の移動量が多い場合でも、また長時間にわたる場合でも、対物レンズ先端部に供給される液浸媒質が対物レンズ先端部からこぼれおちることが少ない液浸対物レンズ、液浸媒質の保持機構及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液浸対物レンズは先端部、レンズ環部及びレンズ外枠から形成され、該レンズ環部は先端部のレンズからレンズ外枠10に至る傾斜した面全体からなり、液浸対物レンズの先端部とレンズ環部とを含む領域内にレンズに先端部を取り巻くようにリング状に液浸媒質を保持するための第1の材質で表面処理した領域である液浸媒質を保持する第1のリング状部材(α部)を有し、第1のリング状部材の液浸媒質に対する親和性は、表面処理された領域の内側に連接する領域の液浸媒質に対する親和性より低い。
【選択図】図8


Auch veröffentlicht als:
EP2256535EP1717628JPWO2005078503JP2010217930JP4587960WO/2005/078503