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1. (JP2010217930) RETENTION MECHANISM FOR IMMERSION MEDIUM, AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

Amt : Japan
Anmeldenummer: 2010154102 Anmeldedatum: 06.07.2010
Veröffentlichungsnummer: 2010217930 Veröffentlichungsdatum: 30.09.2010
Veröffentlichungsart : A
IPC:
G02B 21/00
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
21
Mikroskope
Anmelder: OLYMPUS CORP
オリンパス株式会社
Erfinder: HARADA MITSUO
原田 満雄
NANBA AKIHIRO
南波 昭宏
FUKUOKA MORINAO
福岡 荘尚
Vertreter: 蔵田 昌俊
河野 哲
中村 誠
福原 淑弘
峰 隆司
白根 俊郎
村松 貞男
野河 信久
幸長 保次郎
河野 直樹
砂川 克
勝村 紘
佐藤 立志
岡田 貴志
堀内 美保子
竹内 将訓
市原 卓三
山下 元
Prioritätsdaten: 2004038500 16.02.2004 JP
Titel: (EN) RETENTION MECHANISM FOR IMMERSION MEDIUM, AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
(JA) 液浸媒質の保持機構及びその製造方法
Zusammenfassung:
(EN) PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a retention mechanism for an immersion objective lens or an immersion medium, which is configured such that when a specimen is observed and measured, the immersion medium supplied to the tip of an objective lens is hindered from dripping from the tip of the objective lens even if the measurement involves a large amount of movement and takes a long time, and also to provide a method of manufacturing the same.

SOLUTION: The retention mechanism for the immersion medium includes: an immersion objective lens 10; a bottom plate 41 with an opening for engaging with the immersion objective lens; a wall 42 disposed around the bottom plate 41; an immersion medium supply section 34 for supplying an immersion medium to the tip of the objective lens; and a droplet discharge part 35 which is disposed near the wall of the bottom plate and discharges a droplet of the immersion medium from the tip of the objective lens. The bottom plate has a first ring member ( portion ) made of a first material for holding the immersion medium, which is disposed so as to surround the opening. The bottom plate inclines so that the opening side is higher than the wall side. The affinity of the first ring member with the immersion medium is lower than that of an inside member of the first ring member with it.

COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
(JA)

【課題】試料を観察、測定する際に、測定の為の移動量が多い場合でも、また長時間にわたる場合でも、対物レンズ先端部に供給される液浸媒質が対物レンズ先端部からこぼれおちることが少ない液浸対物レンズ、液浸媒質の保持機構及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液浸対物レンズ10と、液浸対物レンズに嵌合するための開口部を有する底板41と、底板の周囲に沿って配設された壁板42と、対物レンズ先端部に液浸媒質を供給する液浸媒質供給部34と、底板の壁板近傍に設けられて対物レンズ先端部からの液浸媒質の液だれを排出する液浸媒質の液だれ排出部35とを備え、底板は、開口部を取り巻くように配置される液浸媒質を保持するための第1の材質からなる第1のリング状部材(α部)を備え、開口部側が壁板側よりも高くなるように傾斜し、第1のリング状部材の液浸媒質に対する親和性は、第1のリング状部材の内側の部材の液浸媒質に対する親和性よりも低い。
【選択図】図9


Auch veröffentlicht als:
EP2256535EP1717628JPWO2005078503JP2010262306JP4587960WO/2005/078503