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1. DE000019645613 - Drucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung

Amt Deutschland
Aktenzeichen/Anmeldenummer 19645613
Anmeldedatum 06.11.1996
Veröffentlichungsnummer 000019645613
Veröffentlichungsdatum 18.09.1997
Veröffentlichungsart A1
IPC
G01L 7/08
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
7Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch mechanische oder auf den Druck von Fluiden ansprechende Elemente
02in der Form von elastisch-verformbaren Bauteilen
08mit biegsamen Membranen
CPC
G01L 9/0051
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0051using variations in ohmic resistance
Anmelder HERION WERKE KG
Erfinder WINTERHALTER PETER
REPPE GUENTER DIPL PHYS DR
ZAHN DIETRICH DIPL ING
Prioritätsdaten 19609993 14.03.1996 DE
29604757 14.03.1996 DE
Titel
(DE) Drucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung
(EN) Pressure sensor with deformable membrane e.g. for vehicle engine or seat occupation sensing
Zusammenfassung
(DE)
Um einen Drucksensor, umfassend einen Grundkörper, eine auf dem Grundkörper angeordnete, deformierbare, mit Druck beaufschlagbare Membran und wenigstens ein auf der Membran angeordnetes Sensormittel zur Erfassung der Deformation der Membran und ein Verfahren zu seiner Herstellung dahingehend zu verbessern, daß dieser durch einfache Herstellung kostengünstiger wird und eine mechanische Verbindung zwischen Grundkörper und Membran vermieden wird, wird vorgeschlagen, daß die Membran ein Teil des Grundkörpers selbst ist, der gleichzeitig den Träger des Sensormittels bildet.

(EN)

The sensor has a base body (10) machined to provide a reduced thickness section, acting as a deformable membrane (20), acted on by the pressure to be measured, with an applied sensor detecting the membrane deformation. The base body can act as a carrier for an evaluation circuit (40) receiving the output signals from the sensor. It is formed of a plastics or ceramic material e.g. aluminium oxide, low temperature co-fired ceramic (LTCC).