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1. WO2022122206 - VORRICHTUNG ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN LECKDETEKTION MIT DREISTUFIGER TURBOMOLEKULARPUMPE UND BOOSTERPUMPE

Veröffentlichungsnummer WO/2022/122206
Veröffentlichungsdatum 16.06.2022
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2021/075897
Internationales Anmeldedatum 21.09.2021
IPC
F04D 19/04 2006.1
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
DStrömungsarbeitsmaschinen
19Lüfter , Gebläse, Verdichter axialer Bauart
02Mehrstufige Gebläse und Verdichter
04zur Erzeugung hohen Vakuums, z.B. Molekularpumpen
F04D 25/16 2006.1
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
DStrömungsarbeitsmaschinen
25Verdichter-, Gebläseeinrichtungen oder Gebläsesysteme
16Kombinationen von zwei oder mehr Lüftern
G01M 3/20 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
MPrüfen der statischen oder dynamischen Massenverteilung rotierender Teile von Maschinen oder Konstruktionen; Prüfen von Konstruktionsteilen oder Apparaten, soweit nicht anderweitig vorgesehen
3Untersuchen der Dichtheit und Festigkeit von Konstruktionen gegen Fluide
02durch Gas, Flüssigkeit oder Vakuum
04durch Nachweis der Anwesenheit von Gas oder Flüssigkeit an der Leckstelle
20mit besonderen Stoffen zum Ausfindigmachen, z.B. Farbstoff, fluoreszierender Stoff, radioaktiver Stoff
CPC
F04D 19/046
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
046Combinations of two or more different types of pumps
F04D 25/16
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
25Pumping installations or systems
16Combinations of two or more pumps ; Producing two or more separate gas flows
G01M 3/205
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Investigating fluid-tightness of structures
02by using fluid or vacuum
04by detecting the presence of fluid at the leakage point
20using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
202using mass spectrometer detection systems
205Accessories or associated equipment; Pump constructions
Anmelder
  • INFICON [DE]/[DE]
Erfinder
  • DECKER, Silvio
  • MATHIOUDAKIS, Simon
Vertreter
  • DOMPATENT VON KREISLER SELTING WERNER - PARTNERSCHAFT VON PATENTANWÄLTEN UND RECHTSANWÄLTEN MBB
Prioritätsdaten
10 2020 132 896.610.12.2020DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN LECKDETEKTION MIT DREISTUFIGER TURBOMOLEKULARPUMPE UND BOOSTERPUMPE
(EN) DEVICE FOR LEAKAGE DETECTION VIA MASS SPECTROMETRY, HAVING A THREE-STAGE TURBOMOLECULAR PUMP AND A BOOSTER PUMP
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION DE FUITE PAR SPECTROMÉTRIE DE MASSE COMPRENANT UNE POMPE TURBOMOLÉCULAIRE À TROIS ÉTAGES ET UNE POMPE DE SURPRESSION
Zusammenfassung
(DE) Eine Vorrichtung zur Leckdetektion an einem Prüfling mit einem Massenspektrometer (12), einer mindestens dreistufigen Turbomolekularpumpe (14), deren Eingangsstufe (18) mit dem Massenspektrometer (12) verbunden ist und die einen zwischen der Eingangspumpstufe und der mittleren Pumpstufe (26) angeordneten ersten Zwischengaseinlass und einen zwischen der mittleren Pumpstufe (26) und der Ausgangspumpstufe (24) angeordneten zweiten Zwischengaseinlass aufweist, einer mindestens zweistufigen Boosterpumpe, deren Eingangspumpstufe (46) mit dem zu untersuchenden Prüfling verbindbar ist und die einen zwischen der Eingangspumpstufe (46) und der Ausgangspumpstufe (48) angeordneten Zwischengasauslass (54) aufweist, und einer mit dem Auslass (20) der Ausgangspumpstufe (24) der Turbomolekularpumpe (14) verbundenen Vorvakuumpumpe (22), die dazu ausgebildet ist, einen Vorvakuumdruck von weniger als 50 mbar am Auslass (20) der Turbomolekularpumpe (14) zu erzeugen und gegen atmosphärischen Druck zu evakuieren, ist dadurch gekennzeichnet, dass der Zwischengasauslass (54) der Boosterpumpe mit dem ersten Zwischengaseinlass (36) der Turbomolekularpumpe (14) über einen ersten Verbindungszweig (62) gasleitend verbunden ist und dass der Auslass der Ausgangspumpstufe (48) der Boosterpumpe mit dem zweiten Zwischengaseinlass der Turbomolekularpumpe (14) über einen zweiten Verbindungszweig (64) gasleitend verbunden ist.
(EN) The invention relates to a device for leakage detection on a test item, comprising: a mass spectrometer (12); an at least three-stage turbomolecular pump (14), the input stage (18) of which is connected to the mass spectrometer (12) and which has a first intermediate gas inlet arranged between the input pump stage and the central pump stage (26) and a second intermediate gas inlet arranged between the central pump stage (26) and the output pump stage (24); an at least two-stage booster pump, the input pump stage (46) of which can be connected to the test item to be examined and which booster pump has an intermediate gas outlet (54) arranged between the input pump stage (46) and the output pump stage (48); and a forepump (22) which is connected to the outlet (20) of the output pump stage (24) of the turbomolecular pump (14) and is designed to generate a forevacuum pressure of less than 50 mbar at the outlet (20) of the turbomolecular pump (14) and evacuate against atmospheric pressure. The device is characterised in that the intermediate gas outlet (54) of the booster pump is connected in a gas-conducting manner to the first intermediate gas inlet (36) of the turbomolecular pump (14) via a first connecting branch (62), and in that the outlet of the output pump stage (48) of the booster pump is connected in a gas-conducting manner to the second intermediate gas inlet of the turbomolecular pump (14) via a second connecting branch (64).
(FR) L'invention concerne un dispositif de détection de fuite sur un objet de test, comprenant : un spectromètre de masse (12) ; une pompe turbomoléculaire au moins à trois étages (14), dont l'étage d'entrée (18) est relié au spectromètre de masse (12) et qui comporte une première entrée de gaz intermédiaire disposée entre l'étage de pompe d'entrée et l'étage de pompe central (26) et une seconde entrée de gaz intermédiaire disposée entre l'étage de pompe central (26) et l'étage de pompe de sortie (24) ; une pompe de surpression au moins à deux étages, dont l'étage de pompe d'entrée (46) peut être relié à l'objet de test à examiner et ladite pompe de surpression présente une sortie de gaz intermédiaire (54) disposée entre l'étage de pompe d'entrée (46) et l'étage de pompe de sortie (48) ; et une pompe refoulante (22) qui est reliée à la sortie (20) de l'étage de pompe de sortie (24) de la pompe turbomoléculaire (14) et est conçue pour générer une pression de vide préalable inférieure à 50 mbar au niveau de la sortie (20) de la pompe turbomoléculaire (14) et pour évacuer par rapport à la pression atmosphérique. Le dispositif est caractérisé en ce que la sortie de gaz intermédiaire (54) de la pompe de surpression est reliée à la première entrée de gaz intermédiaire (36) de la pompe turbomoléculaire (14) par l'intermédiaire d'une première branche de raccordement (62) afin d'assurer l'acheminement du gaz et en ce que la sortie de l'étage de pompe de sortie (48) de la pompe de surpression est reliée à la seconde entrée de gaz intermédiaire de la pompe turbomoléculaire (14) par l'intermédiaire d'une seconde branche de raccordement (64) afin d'assurer l'acheminement du gaz.
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