(DE) Eine Vorrichtung zur Leckdetektion an einem Prüfling mit einem Massenspektrometer (12), einer mindestens dreistufigen Turbomolekularpumpe (14), deren Eingangsstufe (18) mit dem Massenspektrometer (12) verbunden ist und die einen zwischen der Eingangspumpstufe und der mittleren Pumpstufe (26) angeordneten ersten Zwischengaseinlass und einen zwischen der mittleren Pumpstufe (26) und der Ausgangspumpstufe (24) angeordneten zweiten Zwischengaseinlass aufweist, einer mindestens zweistufigen Boosterpumpe, deren Eingangspumpstufe (46) mit dem zu untersuchenden Prüfling verbindbar ist und die einen zwischen der Eingangspumpstufe (46) und der Ausgangspumpstufe (48) angeordneten Zwischengasauslass (54) aufweist, und einer mit dem Auslass (20) der Ausgangspumpstufe (24) der Turbomolekularpumpe (14) verbundenen Vorvakuumpumpe (22), die dazu ausgebildet ist, einen Vorvakuumdruck von weniger als 50 mbar am Auslass (20) der Turbomolekularpumpe (14) zu erzeugen und gegen atmosphärischen Druck zu evakuieren, ist dadurch gekennzeichnet, dass der Zwischengasauslass (54) der Boosterpumpe mit dem ersten Zwischengaseinlass (36) der Turbomolekularpumpe (14) über einen ersten Verbindungszweig (62) gasleitend verbunden ist und dass der Auslass der Ausgangspumpstufe (48) der Boosterpumpe mit dem zweiten Zwischengaseinlass der Turbomolekularpumpe (14) über einen zweiten Verbindungszweig (64) gasleitend verbunden ist.
(EN) The invention relates to a device for leakage detection on a test item, comprising: a mass spectrometer (12); an at least three-stage turbomolecular pump (14), the input stage (18) of which is connected to the mass spectrometer (12) and which has a first intermediate gas inlet arranged between the input pump stage and the central pump stage (26) and a second intermediate gas inlet arranged between the central pump stage (26) and the output pump stage (24); an at least two-stage booster pump, the input pump stage (46) of which can be connected to the test item to be examined and which booster pump has an intermediate gas outlet (54) arranged between the input pump stage (46) and the output pump stage (48); and a forepump (22) which is connected to the outlet (20) of the output pump stage (24) of the turbomolecular pump (14) and is designed to generate a forevacuum pressure of less than 50 mbar at the outlet (20) of the turbomolecular pump (14) and evacuate against atmospheric pressure. The device is characterised in that the intermediate gas outlet (54) of the booster pump is connected in a gas-conducting manner to the first intermediate gas inlet (36) of the turbomolecular pump (14) via a first connecting branch (62), and in that the outlet of the output pump stage (48) of the booster pump is connected in a gas-conducting manner to the second intermediate gas inlet of the turbomolecular pump (14) via a second connecting branch (64).
(FR) L'invention concerne un dispositif de détection de fuite sur un objet de test, comprenant : un spectromètre de masse (12) ; une pompe turbomoléculaire au moins à trois étages (14), dont l'étage d'entrée (18) est relié au spectromètre de masse (12) et qui comporte une première entrée de gaz intermédiaire disposée entre l'étage de pompe d'entrée et l'étage de pompe central (26) et une seconde entrée de gaz intermédiaire disposée entre l'étage de pompe central (26) et l'étage de pompe de sortie (24) ; une pompe de surpression au moins à deux étages, dont l'étage de pompe d'entrée (46) peut être relié à l'objet de test à examiner et ladite pompe de surpression présente une sortie de gaz intermédiaire (54) disposée entre l'étage de pompe d'entrée (46) et l'étage de pompe de sortie (48) ; et une pompe refoulante (22) qui est reliée à la sortie (20) de l'étage de pompe de sortie (24) de la pompe turbomoléculaire (14) et est conçue pour générer une pression de vide préalable inférieure à 50 mbar au niveau de la sortie (20) de la pompe turbomoléculaire (14) et pour évacuer par rapport à la pression atmosphérique. Le dispositif est caractérisé en ce que la sortie de gaz intermédiaire (54) de la pompe de surpression est reliée à la première entrée de gaz intermédiaire (36) de la pompe turbomoléculaire (14) par l'intermédiaire d'une première branche de raccordement (62) afin d'assurer l'acheminement du gaz et en ce que la sortie de l'étage de pompe de sortie (48) de la pompe de surpression est reliée à la seconde entrée de gaz intermédiaire de la pompe turbomoléculaire (14) par l'intermédiaire d'une seconde branche de raccordement (64) afin d'assurer l'acheminement du gaz.
