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1. WO2022111758 - POLYCYCLISCHE SILICIUM-GERMANIUM-VERBINDUNGEN, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DERSELBEN SOWIE DIE VERWENDUNG DERSELBEN ZUM HERSTELLEN EINES SI- UND GE-ENTHALTENDEN FESTKÖRPERS

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Veröffentlichungsnummer WO/2022/111758
Veröffentlichungsdatum 02.06.2022
Internationales Aktenzeichen PCT/DE2021/100913
Internationales Anmeldedatum 18.11.2021
IPC
C07F 7/30 2006.1
CSektion C Chemie; Hüttenwesen
07Organische Chemie
FAcyclische, carbocyclische oder heterocyclische Verbindungen, die andere Elemente als Kohlenstoff, Wasserstoff, Halogen, Sauerstoff, Stickstoff, Schwefel, Selen oder Tellur enthalten
7Verbindungen, die Elemente der Gruppen 4 oder 14 des Periodensystems enthalten
30Germaniumverbindungen
C23C 16/30 2006.1
CSektion C Chemie; Hüttenwesen
23Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
CBeschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
16Chemisches Beschichten durch Zersetzen gasförmiger Verbindungen ohne Verbleiben von Reaktionsprodukten des Oberflächenmaterials im Überzug, d.h. Verfahren zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase
22gekennzeichnet durch das Abscheiden anderer anorganischer Stoffe als metallischer Stoffe
30Abscheiden von Verbindungen, Gemischen oder festen Lösungen, z.B. von Boriden, Carbiden, Nitriden
CPC
C07F 7/30
CCHEMISTRY; METALLURGY
07ORGANIC CHEMISTRY
FACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
7Compounds containing elements of Groups 4 or 14 of the Periodic System
30Germanium compounds
H01L 21/02532
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
02104Forming layers
02365Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
02518Deposited layers
02521Materials
02524Group 14 semiconducting materials
02532Silicon, silicon germanium, germanium
H01L 21/0262
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
02104Forming layers
02365Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
02612Formation types
02617Deposition types
0262Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
Anmelder
  • JOHANN WOLFGANG GOETHE-UNIVERSITÄT [DE]/[DE]
Erfinder
  • WAGNER, Matthias
  • KÖSTLER, Benedikt
  • LERNER, Hans-Wolfram
Vertreter
  • BOEHMERT & BOEHMERT ANWALTSPARTNERSCHAFT MBB - PATENTANWÄLTE RECHTSANWÄLTE
Prioritätsdaten
10 2020 131 425.627.11.2020DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) POLYCYCLISCHE SILICIUM-GERMANIUM-VERBINDUNGEN, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DERSELBEN SOWIE DIE VERWENDUNG DERSELBEN ZUM HERSTELLEN EINES SI- UND GE-ENTHALTENDEN FESTKÖRPERS
(EN) POLYCYCLIC SILICON-GERMANIUM COMPOUNDS, PROCESS OF PREPARING SAME AND THEIR USE FOR PRODUCING A SI- AND GE-CONTAINING SOLID
(FR) COMPOSÉS DE SILICIUM-GERMANIUM POLYCYCLIQUES, PROCÉDÉ DE PRÉPARATION ASSOCIÉ ET UTILISATION CORRESPONDANTE POUR LA PRODUCTION D'UN SOLIDE CONTENANT DU SI ET DU GE
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Zusammenfassung
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verbindung der Formel (I), wobei E1 bis E6 unabhängig voneinander Si oder Ge sind; X1 bis X4 unabhängig voneinander aus der Gruppe, bestehend aus H, SiH3, Halogen und Si(Y)3, ausgewählt sind; Y unabhängig aus C1 bis C20 Alkyl und Halogen ausgewählt ist; R1 bis R12 unabhängig voneinander aus der Gruppe, bestehend aus C1 bis C20 Alkyl, C2 bis C20 Alkenyl, C2 bis C20 Alkinyl, C3 bis C20 Cycloalkyl, C6 bis C20 Aryl, C7 bis C20 Aiylalkyl, C7 bis C20 Alkylaryl und Z, ausgewählt sind; und Z unabhängig aus der Gruppe, bestehend aus H, Halogen und C1 bis C20 Alkyl ausgewählt ist; ein Verfahren zu deren Herstellung; sowie die Verwendung der Verbindung zum Herstellen des Si- und Ge-enthaltenden Festkörpers.
(EN) The present invention relates to a compound of formula (I), wherein E1 to E6 independently of each other represent Si or Ge; X1 to X4 are independently of each other selected from the group consisting of H, SiH3, halogen and Si(Y)3; Y is independently selected from C1 to C20 alkyl and halogen; R1 to R12 are independently of each other selected from the group consisting of C1 to C20 alkyl, C2 to C20 alkenyl, C2 to C20 alkinyl, C3 to C20 cycloalkyl, C6 to C20 aryl, C7 to C20 arylalkyl, C7 to C20 alkylaryl and Z; and Z is independently selected from the group consisting of H, halogen and C1 to C20 alkyl; to a process of preparing those compounds and to their use for producing an Si- and Ge-containing solid.
(FR) La présente invention concerne un composé de formule (I), dans laquelle E1 à E6 représentent indépendamment les uns des autres Si Ou Ge; X1 à X4 sont indépendamment les des autres sélectionnés dans le groupe constitué par H, SiH3, un halogène et Si(Y)3; Y est indépendamment sélectionné parmi un alkyle en C1 à C20 et un halogène; R1 à R12 sont indépendamment les uns des autres sélectionnés dans le groupe constitué par un alkyle en C1 à C20, un alcényle en C2 à C20, un alcinyle en C2 à C20, un cycloalkyle en C3 à C20, un aryle en C6 à C20, un arylalkyle en C7 à C20, un alkylaryle C7 à C20 et Z; et Z est indépendamment sélectionné dans le groupe constitué par H, un halogène et un alkyle en C1 à C20. L'invention concerne également un procédé de préparation de ces composés et leur utilisation pour la production d'un solide contenant du Si et du Ge.
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