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1. WO2022096318 - VERFAHREN ZUM KLASSIFIZIEREN VON UNBEKANNTEN PARTIKELN AUF EINER OBERFLÄCHE EINER HALBLEITERSCHEIBE

Veröffentlichungsnummer WO/2022/096318
Veröffentlichungsdatum 12.05.2022
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2021/079647
Internationales Anmeldedatum 26.10.2021
IPC
G01N 15/02 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
15Untersuchen der Kenngrößen von Teilchen; Untersuchen der Durchlässigkeit, des Porenvolumens oder der Größe der Oberfläche von porösen Stoffen
02Untersuchen der Teilchengröße oder der Größenverteilung
G01N 15/14 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
15Untersuchen der Kenngrößen von Teilchen; Untersuchen der Durchlässigkeit, des Porenvolumens oder der Größe der Oberfläche von porösen Stoffen
10Untersuchen einzelner Teilchen
14Elektro-optisches Untersuchen
G01N 21/95 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung von Submillimeter-Wellen, infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht
84Systeme, besonders ausgebildet für spezielle Anwendungen
88Untersuchen der Anwesenheit von Fehlern oder Verunreinigungen
95gekennzeichnet durch das Material oder die Form des zu untersuchenden Gegenstandes
G01N 23/2273 2018.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
23Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Anwendung von Wellenstrahlung oder Teilchenstrahlung, z.B. Röntgenstrahlen oder Neutronen, soweit nicht von G01N3/-G01N17/206
22durch Messung der Sekundäremission der Stoffe
227Messen des photoelektrischen Effekts, z.B. Photoemissionselektronenmikroskopie
2273Messen von Photoelektronenspektren, z.B. Elektronenspektroskopie zur chemischen Analyse oder Röntgenphotoelektronenspektroskopie
G01N 23/2252 2018.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
23Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Anwendung von Wellenstrahlung oder Teilchenstrahlung, z.B. Röntgenstrahlen oder Neutronen, soweit nicht von G01N3/-G01N17/206
22durch Messung der Sekundäremission der Stoffe
225unter Verwendung von Elektronenmikrosonden oder Ionenmikrosonden
2251unter Verwendung von einfallenden Elektronenstrahlen, z.B. Rasterelektronenmikroskopie
2252Messen emittierter Röntgenstrahlen, z.B. Elektronenstrahlmikroanalyse
CPC
G01N 15/0227
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
15Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
02Investigating particle size or size distribution
0205by optical means, e.g. by light scattering, diffraction, holography or imaging
0227using imaging, e.g. a projected image of suspension; using holography
G01N 2015/1493
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
15Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
10Investigating individual particles
14Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers
1493Particle size
G01N 23/2252
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
22by measuring secondary emission from the material
225using electron or ion
2251using incident electron beams, e.g. scanning electron microscopy [SEM]
2252Measuring emitted X-rays, e.g. electron probe microanalysis [EPMA]
Anmelder
  • SILTRONIC AG [DE]/[DE]
Erfinder
  • RUPP, Rudolf
  • ANDRES, Sebastian
  • HINTERLEUTHNER, Robert
Vertreter
  • HÄCKL, Walter
Prioritätsdaten
20206421.809.11.2020EP
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUM KLASSIFIZIEREN VON UNBEKANNTEN PARTIKELN AUF EINER OBERFLÄCHE EINER HALBLEITERSCHEIBE
(EN) METHOD FOR CLASSIFYING UNKNOWN PARTICLES ON A SURFACE OF A SEMI-CONDUCTOR WAFER
(FR) PROCÉDÉ DE CLASSIFICATION DE PARTICULES INCONNUES SUR UNE SURFACE D'UNE PLAQUETTE DE SEMI-CONDUCTEUR
Zusammenfassung
(DE) Verfahren zum Klassifizieren von unbekannten Partikeln auf einer Oberfläche einer Halbleiterscheibe umfassend das Aufbringen von Partikel bekannter chemischer Zusammensetzung unter-schiedlicher Größe auf einer Testscheibe, Bestimmen einer Größe mehrerer Partikel bekannter chemischer Zusammensetzung und Aufnehmen eines Spektrums einer energiedispersiven Röntgenspektroskopie mehrerer Partikel bekannter chemischer Zusammensetzung, gefolgt vom jeweiligen Bestimmen eines Stoffgehaltes daraus, und Anpassen einer Ausgleichskurve an Größe und Stoffgehalt der Partikel bekannter chemischer Zusammensetzung, ferner das Bestimmen einer Partikelgröße eines unbekannten Partikels und ein Aufnehmen eines Spektrums einer energiedispersive Röntgenspektroskopie des unbekannten Partikels und daraus ermittein des Stoffgehaltes des unbekannten Partikels auf einer Halbleiterscheibe und Klassifizieren des unbekannten Partikels als Ergebnis des Vergleiches der Größe und des Stoffgehaltes des unbekannten Partikels mit der Ausgleichskurve.
(EN) The invention relates to a method for classifying unknown particles on a surface of a semi-conductor wafer, comprising: applying particles of a known chemical composition and varying size onto a test wafer; determining the size of a plurality of particles of a known chemical composition; recording a spectrum of an energy-dispersive X-ray spectroscopy of a plurality of particles of a known chemical composition; subsequently determining a substance content therefrom in each case; adapting a compensating curve to the size and substance content of the particles of a known chemical composition; furthermore determining the particle size of an unknown particle; recording a spectrum of an energy-dispersive X-ray spectroscopy of the unknown particle; determining therefrom the substance content of the unknown particle on a semi-conductor wafer; and classifying the unknown particle as a result of the comparison of the size and substance content of the unknown particle with the compensating curve.
(FR) L'invention concerne un procédé de classification de particules inconnues sur une surface d'une plaquette de semi-conducteur, comprenant les étapes suivantes : l'application de particules d'une composition chimique connue et de taille variable sur une plaquette d'essai ; la détermination de la taille d'une pluralité de particules d'une composition chimique connue ; l'enregistrement d'un spectre d'une spectroscopie de rayons X à dispersion d'énergie d'une pluralité de particules d'une composition chimique connue ; la détermination ultérieure d'une teneur en substance de celles-ci dans chaque cas ; l'adaptation d'une courbe de compensation à la granulométrie et à la teneur en substance des particules d'une composition chimique connue ; la détermination de la granulométrie d'une particule inconnue ; l'enregistrement d'un spectre d'une spectroscopie de rayons X à dispersion d'énergie de la particule inconnue ; la détermination à partir de là de la teneur en substance de la particule inconnue sur une plaquette de semi-conducteur ; et la classification de la particule inconnue comme résultat de la comparaison de la granulométrie et de la teneur en substance de la particule inconnue avec la courbe de compensation.
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