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1. WO2022096214 - MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT

Veröffentlichungsnummer WO/2022/096214
Veröffentlichungsdatum 12.05.2022
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2021/077535
Internationales Anmeldedatum 06.10.2021
IPC
G01L 9/00 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
B81C 1/00 2006.1
BSektion B Arbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
CVerfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder Mikrostruktursystemen
1Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Systemen in oder auf einem Substrat
CPC
B81C 1/00158
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
00015for manufacturing microsystems
00134comprising flexible or deformable structures
00158Diaphragms, membranes
G01L 9/0048
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0042Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
0048Details about the mounting of the diaphragm to its support or about the diaphragm edges, e.g. notches, round shapes for stress relief
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • SCHMOLLNGRUBER, Peter
  • FRIEDRICH, Thomas
  • MACH, Sophielouise
  • WEBER, Heribert
  • FRITZ, Joachim
  • SCHEURLE, Andreas
Prioritätsdaten
10 2020 213 772.203.11.2020DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT
(EN) MICROMECHANICAL COMPONENT
(FR) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE
Zusammenfassung
(DE) Mikromechanisches Bauelement (100), aufweisend: - eine Membran (10); wobei - die Membran (10) im Bereich mindestens einer Ankerstruktur (13) und/oder im Bereich mindestens einer Verbindungsstruktur (14) wenigstens eine geometrisch definiert ausgebildete Verstärkungsstruktur (20) aufweist, mittels derer die Membran (10) definiert verstärkt ist.
(EN) Disclosed is a micromechanical component (100) comprising: - a membrane (10), said membrane (10) having at least one geometrically defined reinforcement structure (20) in the area of at least one anchoring structure (13) and/or in the area of at least one connecting structure (14), said reinforcement structure (20) reinforcing the membrane (10) in a defined manner.
(FR) L'invention concerne un composant micromécanique (100) comprenant : - une membrane (10), ladite membrane (10) présentant au moins une structure de renforcement géométriquement définie (20) dans la zone d'au moins une structure d'ancrage (13) et/ou dans la zone d'au moins une structure de liaison (14), ladite structure de renfort (20) renforçant de manière définie la membrane (10).
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