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1. WO2022096071 - FOTOLEITER UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2022/096071
Veröffentlichungsdatum 12.05.2022
Internationales Aktenzeichen PCT/DE2021/200163
Internationales Anmeldedatum 22.10.2021
IPC
H01L 31/09 2006.1
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
31Halbleiterbauelemente, die auf Infrarot-Strahlung, Licht, elektromagnetische Strahlung kürzerer Wellenlänge als Licht oder Korpuskularstrahlung ansprechen und besonders ausgebildet sind, entweder für die Umwandlung der Energie einer derartigen Strahlung in elektrische Energie oder für die Steuerung elektrischer Energie durch eine derartige Strahlung eingerichtet sind; Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung dieser Halbleiterbauelemente oder Teilen davon; Einzelheiten dieser Bauelemente
08in denen die Strahlung den Stromfluss durch das Bauelement steuert, z.B. Fotowiderstände
09Bauelemente, die auf infrarote, sichtbare oder ultraviolette Strahlung ansprechen
H01L 31/0352 2006.1
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
31Halbleiterbauelemente, die auf Infrarot-Strahlung, Licht, elektromagnetische Strahlung kürzerer Wellenlänge als Licht oder Korpuskularstrahlung ansprechen und besonders ausgebildet sind, entweder für die Umwandlung der Energie einer derartigen Strahlung in elektrische Energie oder für die Steuerung elektrischer Energie durch eine derartige Strahlung eingerichtet sind; Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung dieser Halbleiterbauelemente oder Teilen davon; Einzelheiten dieser Bauelemente
0248gekennzeichnet durch die Halbleiterkörper
0352gekennzeichnet durch die Gestalt, relative Größe oder Anordnung der Halbleiterbereiche
H01L 31/0304 2006.1
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
31Halbleiterbauelemente, die auf Infrarot-Strahlung, Licht, elektromagnetische Strahlung kürzerer Wellenlänge als Licht oder Korpuskularstrahlung ansprechen und besonders ausgebildet sind, entweder für die Umwandlung der Energie einer derartigen Strahlung in elektrische Energie oder für die Steuerung elektrischer Energie durch eine derartige Strahlung eingerichtet sind; Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung dieser Halbleiterbauelemente oder Teilen davon; Einzelheiten dieser Bauelemente
0248gekennzeichnet durch die Halbleiterkörper
0256gekennzeichnet durch das Material
0264Anorganische Materialien
0304nur mit AIIIBV-Verbindungen, abgesehen von Dotierungsmaterialien oder anderen Fremdstoffen
H01L 31/18 2006.1
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
31Halbleiterbauelemente, die auf Infrarot-Strahlung, Licht, elektromagnetische Strahlung kürzerer Wellenlänge als Licht oder Korpuskularstrahlung ansprechen und besonders ausgebildet sind, entweder für die Umwandlung der Energie einer derartigen Strahlung in elektrische Energie oder für die Steuerung elektrischer Energie durch eine derartige Strahlung eingerichtet sind; Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung dieser Halbleiterbauelemente oder Teilen davon; Einzelheiten dieser Bauelemente
18Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung dieser Bauelemente oder Teilen davon
CPC
H01L 31/03042
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
31Semiconductor devices sensitive to infra-red radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
0248characterised by their semiconductor bodies
0256characterised by the material
0264Inorganic materials
0304including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
03042characterised by the doping material
H01L 31/03046
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
31Semiconductor devices sensitive to infra-red radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
0248characterised by their semiconductor bodies
0256characterised by the material
0264Inorganic materials
0304including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
03046including ternary or quaternary compounds, e.g. GaAlAs, InGaAs, InGaAsP
H01L 31/035236
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
31Semiconductor devices sensitive to infra-red radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
0248characterised by their semiconductor bodies
0352characterised by their shape or by the shapes, relative sizes or disposition of the semiconductor regions
035236Superlattices; Multiple quantum well structures
H01L 31/035263
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
31Semiconductor devices sensitive to infra-red radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
0248characterised by their semiconductor bodies
0352characterised by their shape or by the shapes, relative sizes or disposition of the semiconductor regions
035236Superlattices; Multiple quantum well structures
035263Doping superlattices, e.g. nipi superlattices
H01L 31/09
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
31Semiconductor devices sensitive to infra-red radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
09Devices sensitive to infra-red, visible or ultraviolet radiation
H01L 31/1844
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
31Semiconductor devices sensitive to infra-red radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
18Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
184the active layers comprising only AIIIBV compounds, e.g. GaAs, InP
1844comprising ternary or quaternary compounds, e.g. Ga Al As, In Ga As P
Anmelder
  • HUMBOLDT-UNIVERSITÄT ZU BERLIN [DE]/[DE]
  • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. [DE]/[DE]
Erfinder
  • MASSELINK, William Ted
  • SEMTSIV, Mykhaylo Petrovych
  • GLOBISCH, Björn
Vertreter
  • FISCHER, Uwe
Prioritätsdaten
10 2020 213 957.106.11.2020DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) FOTOLEITER UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
(EN) PHOTOCONDUCTOR AND METHOD FOR PRODUCING SAME
(FR) PHOTOCONDUCTEUR ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
Zusammenfassung
(DE) Die Erfindung bezieht sich unter anderem auf einen Fotoleiter (10) mit einem Schichtpaket (13), das mehrere fotoleitende Halbleiterschichten (131-134) umfasst. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass das Schichtpaket (13) zumindest zwei Subpakete (130) umfasst, die jeweils zumindest eine erste fotoleitende Halbleiterschicht (131) und eine zweite fotoleitende Halbleiterschicht (132) umfassen, wobei bei jedem der Subpakete (130) die erste und zweite fotoleitende Halbleiterschicht (131, 132) unterschiedlich hoch dotiert sind.
(EN) The invention relates inter alia to a photoconductor (10) comprising a multilayer (13) which comprises a plurality of photoconductive semiconductor layers (131-134). According to the invention, the multilayer (13) comprises at least two sublayers (130) which each comprise at least a first photoconductive semiconductor layer (131) and a second photoconductive semiconductor layer (132), wherein the first and the second photoconductive semiconductor layer (131, 132) are doped to different degrees for each of the sublayers (130).
(FR) L'invention concerne, entre autres, un photoconducteur (10) comprenant une multicouche (13) qui comprend une pluralité de couches semi-conductrices photoconductrices (131-134). Selon l'invention, la multicouche (13) comprend au moins deux sous-couches (130) qui comprennent chacune au moins une première couche semi-conductrice photoconductrice (131) et une seconde couche semi-conductrice photoconductrice (132), la première et la seconde couche semi-conductrice photoconductrice (131, 132) étant dopées à différents degrés pour chacune des sous-couches (130).
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