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1. WO2022008155 - MIRROR FOR A LITHOGRAPHY SYSTEM

Veröffentlichungsnummer WO/2022/008155
Veröffentlichungsdatum 13.01.2022
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2021/065448
Internationales Anmeldedatum 09.06.2021
IPC
G03F 7/20 2006.1
GSektion G Physik
03Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
FFotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken ; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20Belichten; Vorrichtungen dafür
G02B 7/00 2021.1
GSektion G Physik
02Optik
BOptische Elemente, Systeme oder Geräte
7Halterungen, Fassungen, Justiereinrichtungen oder lichtdichte Verbindungen für optische Elemente
Anmelder
  • CARL ZEISS SMT GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • XALTER, Stefan
  • POSTULKA, Sören
Vertreter
  • CARL ZEISS SMT GMBH - PATENTABTEILUNG
Prioritätsdaten
10 2020 208 648.609.07.2020DE
Veröffentlichungssprache Englisch (en)
Anmeldesprache Englisch (EN)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MIRROR FOR A LITHOGRAPHY SYSTEM
(EN) MIRROR FOR A LITHOGRAPHY SYSTEM
(FR) MIROIR POUR UN SYSTÈME DE LITHOGRAPHIE
Zusammenfassung
(DE) The invention relates to a mirror for a lithography system. The mirror has a mirror body (12), which comprises a first mirror part (14), a second mirror part (15), an optical surface (13) for the reflection of light and a plurality of cooling channels (18). The first mirror part (14) and/or the second mirror part (15) are made from a glass material, a glass ceramic material or a ceramic material. The first mirror part (14) and the second mirror part (15) are rigidly connected to one another. The cooling channels (18) are arranged in the first mirror part (14), are formed to be open towards a first outer surface (16) of the first mirror part (14) that adjoins the second mirror part (15), are fluidically connected to one another and are formed separately from one another in the region of the first outer surface (16) of the first mirror part (14) and surrounded in each case entirely by the material of the first mirror part (14).
(EN) The invention relates to a mirror for a lithography system. The mirror has a mirror body (12), which comprises a first mirror part (14), a second mirror part (15), an optical surface (13) for the reflection of light and a plurality of cooling channels (18). The first mirror part (14) and/or the second mirror part (15) are made from a glass material, a glass ceramic material or a ceramic material. The first mirror part (14) and the second mirror part (15) are rigidly connected to one another. The cooling channels (18) are arranged in the first mirror part (14), are formed to be open towards a first outer surface (16) of the first mirror part (14) that adjoins the second mirror part (15), are fluidically connected to one another and are formed separately from one another in the region of the first outer surface (16) of the first mirror part (14) and surrounded in each case entirely by the material of the first mirror part (14).
(FR) L'invention concerne un miroir pour un système de lithographie. Le miroir comprend un corps de miroir (12), qui comprend une première partie miroir (14), une seconde partie miroir (15), une surface optique (13) pour la réflexion de la lumière et une pluralité de canaux de refroidissement (18). La première partie miroir (14) et/ou la seconde partie miroir (15) sont constituées d'un matériau de verre, d'un matériau vitrocéramique ou d'un matériau céramique. La première partie miroir (14) et la seconde partie miroir (15) sont reliées rigidement l'une à l'autre. Les canaux de refroidissement (18) sont disposés dans la première partie miroir (14), sont formés de façon à être ouverts vers une première surface externe (16) de la première partie miroir (14) qui est adjacente à la seconde partie miroir (15), sont en communication fluidique les uns avec les autres et sont formés séparément les uns des autres dans la zone de la première surface extérieure (16) de la première partie miroir (14) et entourés dans chaque cas entièrement par le matériau de la première partie miroir (14).
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