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1. WO2022008033 - VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERZEUGEN VON MIKRO- UND/ODER NANOSTRUKTUREN

Veröffentlichungsnummer WO/2022/008033
Veröffentlichungsdatum 13.01.2022
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2020/068998
Internationales Anmeldedatum 06.07.2020
IPC
G03F 7/00 2006.1
GSektion G Physik
03Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
FFotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken ; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
Anmelder
  • EV GROUP E. THALLNER GMBH [AT]/[AT]
Erfinder
  • DUDUS, Anna
  • TREIBLMAYR, Dominik
Vertreter
  • SCHNEIDER, Sascha
  • SCHWEIGER, Johannes
  • BERKENBRINK, Kai
  • FEUCKER, Max
Prioritätsdaten
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERZEUGEN VON MIKRO- UND/ODER NANOSTRUKTUREN
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING MICRO- AND/OR NANO-STRUCTURES
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE MICROSTRUCTURES ET/OU DE NANOSTRUCTURES
Zusammenfassung
(DE) Ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Erzeugen von Mikro- und/oder Nanostrukturen.
(EN) An apparatus and a method for producing micro- and/or nano-structures.
(FR) L'invention concerne un appareil et un procédé de production de microstructures et/ou de nanostructures.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten