In Bearbeitung

Bitte warten ...

Einstellungen

Einstellungen

Gehe zu Anmeldung

1. WO2022008031 - VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BELICHTUNG EINER PHOTOSENSITIVEN BESCHICHTUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2022/008031
Veröffentlichungsdatum 13.01.2022
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2020/068996
Internationales Anmeldedatum 06.07.2020
IPC
G03F 7/20 2006.1
GSektion G Physik
03Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
FFotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken ; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20Belichten; Vorrichtungen dafür
G03F 7/095 2006.1
GSektion G Physik
03Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
FFotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken ; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
004Lichtempfindliche Materialien
09gekennzeichnet durch Einzelheiten des Aufbaus, z.B. Schichtträger, Hilfsschichten
095mit mehr als einer lichtempfindlichen Schicht
Anmelder
  • EV GROUP E. THALLNER GMBH [AT]/[AT]
Erfinder
  • THALLNER, Bernhard
  • POVAZAY, Boris
  • ZENGER, Tobias
  • UHRMANN, Thomas
Vertreter
  • SCHNEIDER, Sascha
  • SCHWEIGER, Johannes
  • BERKENBRINK, Kai
  • FEUCKER, Max
Prioritätsdaten
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BELICHTUNG EINER PHOTOSENSITIVEN BESCHICHTUNG
(EN) METHOD AND DEVICE FOR EXPOSING A PHOTOSENSITIVE COATING
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'EXPOSITION D'UN REVÊTEMENT PHOTOSENSIBLE
Zusammenfassung
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Belichtung einer photosensitiven Beschichtung.
(EN) The invention relates to a method and to a device for exposing a photosensitive coating.
(FR) L'invention concerne un procédé et un dispositif d'exposition d'un revêtement photosensible.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten