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1. WO2022002372 - VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUSRICHTEN VON SUBSTRATEN

Veröffentlichungsnummer WO/2022/002372
Veröffentlichungsdatum 06.01.2022
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2020/068407
Internationales Anmeldedatum 30.06.2020
IPC
F16K 11/076 2006.1
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
16Maschinenelemente oder Maschineneinheiten; allgemeine Maßnahmen für die ordnungsgemäße Arbeitsweise von Maschinen oder Einrichtungen; Wärmeisolierung allgemein
KVentile; Schieber; Hähne; Schwimmer; Entlüftungs- oder Belüftungsvorrichtungen
11Mehrwegventile, z.B. Mischventile; Rohrformteile mit eingebauten derartigen Ventilen; besonders zum Mischen von Strömungsmitteln ausgebildete Anordnung von Ventilen und Strömungsmittelleitungen
02mit beweglichen Dichtflächen, die sich alle als Einheit bewegen
06nur mit Schiebern
072mit sich drehenden Verschlussteilen
076mit Oberflächen von Drehkörpern als Dichtflächen
F16K 11/085 2006.1
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
16Maschinenelemente oder Maschineneinheiten; allgemeine Maßnahmen für die ordnungsgemäße Arbeitsweise von Maschinen oder Einrichtungen; Wärmeisolierung allgemein
KVentile; Schieber; Hähne; Schwimmer; Entlüftungs- oder Belüftungsvorrichtungen
11Mehrwegventile, z.B. Mischventile; Rohrformteile mit eingebauten derartigen Ventilen; besonders zum Mischen von Strömungsmitteln ausgebildete Anordnung von Ventilen und Strömungsmittelleitungen
02mit beweglichen Dichtflächen, die sich alle als Einheit bewegen
08nur mit Hähnen
085mit Zylinderküken
H01L 21/67 2006.1
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
H01L 21/683 2006.1
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
683zum Aufnehmen oder Greifen
H01L 21/68 2006.1
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
68zum Positionieren, Orientieren oder Justieren
G01B 11/27 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
26zum Messen von Winkeln oder Kegeln; zum Prüfen der Achsrichtungen
27zum Prüfen der Achsrichtungen
Anmelder
  • EV GROUP E. THALLNER GMBH [AT]/[AT]
Erfinder
  • ZINNER, Dominik
  • LINDNER, Friedrich Paul
  • PLACH, Thomas
  • STARZENGRUBER, Peter
Vertreter
  • SCHNEIDER, Sascha
  • SCHWEIGER, Johannes
  • BERKENBRINK, Kai
  • FEUCKER, Max
Prioritätsdaten
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUSRICHTEN VON SUBSTRATEN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR ALIGNING SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'ALIGNEMENT DE SUBSTRATS
Zusammenfassung
(DE) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Ausrichten von Substraten.
(EN) The invention relates to a device and a method for aligning substrates.
(FR) L'invention concerne un dispositif et un procédé d'alignement de substrats.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten