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1. WO2021069403 - OPTISCHES STANZEN VON MIKROLÖCHERN IN DÜNNGLAS

Veröffentlichungsnummer WO/2021/069403
Veröffentlichungsdatum 15.04.2021
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2020/077922
Internationales Anmeldedatum 06.10.2020
IPC
B23K 26/073 2006.01
BSektion B Arbeitsverfahren; Transportieren
23Werkzeugmaschinen; Metallbearbeitung, soweit nicht anderweitig vorgesehen
KLöten; Schweißen; Beschichten oder Plattieren durch Löten oder Schweißen; Schneiden durch örtliches Zuführen von Hitze, z.B. Brennschneiden; Arbeiten mit Laserstrahlen
26Bearbeitung durch Laserstrahlen z.B. Schweißen, Schneiden oder Bohren
02Positionieren oder Beobachten des Werkstückes, z.B. im Hinblick auf den Auftreffpunkt; Ausrichten oder Fokussieren der Laserstrahlen
06Formen der Laserstrahlen, z.B. mittels Masken oder Mehrfach-Fokussierung
073Formen des Laserbrennflecks
B23K 26/382 2014.01
BSektion B Arbeitsverfahren; Transportieren
23Werkzeugmaschinen; Metallbearbeitung, soweit nicht anderweitig vorgesehen
KLöten; Schweißen; Beschichten oder Plattieren durch Löten oder Schweißen; Schneiden durch örtliches Zuführen von Hitze, z.B. Brennschneiden; Arbeiten mit Laserstrahlen
26Bearbeitung durch Laserstrahlen z.B. Schweißen, Schneiden oder Bohren
36Abtragen von Material
38durch Bohren oder Schneiden
382durch Bohren
B23K 26/53 2014.01
BSektion B Arbeitsverfahren; Transportieren
23Werkzeugmaschinen; Metallbearbeitung, soweit nicht anderweitig vorgesehen
KLöten; Schweißen; Beschichten oder Plattieren durch Löten oder Schweißen; Schneiden durch örtliches Zuführen von Hitze, z.B. Brennschneiden; Arbeiten mit Laserstrahlen
26Bearbeitung durch Laserstrahlen z.B. Schweißen, Schneiden oder Bohren
50Bearbeitung mittels eines durch das Werkstück hindurchtretenden oder eines in das Werkstück eintretenden Laserstrahls
53zum Modifizieren oder Verändern des Materials innerhalb des Werkstücks, z.B. zum Erzeugen von Sollbruchstellen
C03C 23/00 2006.01
CSektion C Chemie; Hüttenwesen
03Glas; Mineral- oder Schlackenwolle
CChemische Zusammensetzungen für Gläser, Glasuren oder Emails; Oberflächenbehandlung von Glas; Oberflächenbehandlung von Fasern oder Fäden, die aus Glas, Mineralien oder Schlacken hergestellt wurden; Verbinden von Glas mit Glas oder anderen Stoffen
23Sonstige Oberflächenbehandlung von Glas, außer Fasern oder Filamenten aus Glas
CPC
B23K 26/0734
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
26Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
073Shaping the laser spot
0734into an annular shape
B23K 26/382
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
26Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
36Removing material
38by boring or cutting
382by boring
B23K 26/53
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
26Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
50Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
53for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
C03C 15/00
CCHEMISTRY; METALLURGY
03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
15Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
C03C 23/0025
CCHEMISTRY; METALLURGY
03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
23Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
0005by irradiation
0025by a laser beam
Anmelder
  • TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • KLEINER, Jonas
  • FLAMM, Daniel
  • KAISER, Myriam
Vertreter
  • GRÄTTINGER MÖHRING VON POSCHINGER PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFT MBB
Prioritätsdaten
10 2019 127 514.811.10.2019DE
10 2020 105 540.402.03.2020DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) OPTISCHES STANZEN VON MIKROLÖCHERN IN DÜNNGLAS
(EN) OPTICAL STAMPING OF MICRO-HOLES INTO THIN GLASS
(FR) ESTAMPAGE OPTIQUE DE MICROPERFORATIONS DANS DU VERRE MINCE
Zusammenfassung
(DE)
Zum selektiven laserinduzierten Ätzen eines Mikrolochs (81) in ein Werkstück (75) umfasst ein Verfahren die Schritte: Erzeugen (Schritt 71) einer Modifikation (91) im Werkstück (75), die sich von einer Eintrittsseite (61 A) bis zu einer Austrittsseite (61B) des Werkstücks erstreckt, wobei die Modifikation (91) mit einem Laserpuls erzeugt wird, der eine ringförmige transversale Intensitätsverteilung (51A, 51B, 151) aufweist, die sich in einer Ausbreitungsrichtung (Z) des Laserstrahls (5) mindestens über eine Länge (L) erstreckt, die zu einer Ausbildung der Modifikation (91) von der Eintrittsseite (61 A) bis zur Austrittsseite (61B) des Werkstücks führt, wobei die Modifikation (91) einen zylinderförmigen Körper (77) von einem die Modifikation (91) umgebenden Restmaterial (79) abgrenzt, und Einbringen (Schritt 73) des Werkstücks (75) mit der Modifikation (91) in ein nasschemisches Ätzbad (80) zum strukturellen Trennen des zylinderförmigen Körpers (77) vom Restmaterial (79).
(EN)
For the selective laser-induced etching of a micro-hole (81) into a workpiece (75), a method comprises the following steps: producing (step 71) a modification (91) in the workpiece (75), said modification extending from an entrance side (61A) as far as an exit side (61B) of the workpiece, wherein the modification (91) is produced by a laser pulse having a ring-shaped transverse intensity distribution (51A, 51B, 151), which extends in a propagation direction (Z) of the laser beam (5) at least over a length (L) which results in a formation of the modification (91) from the entrance side (61A) as far as the exit side (61B) of the workpiece, wherein the modification (91) delimits a cylindrical body (77) from a remaining material (79) surrounding the modification (91), and introducing (step 73) the workpiece (75) having the modification (91) into a wet-chemical etching bath (80) for the purpose of structurally separating the cylindrical body (77) from the remaining material (79).
(FR)
L’invention concerne un procédé de gravure sélective induite par laser d’une microperforation (81) dans une pièce (75), ledit procédé comprenant les étapes suivantes : Effectuer (étape 71) dans la pièce (75) une modification (91) qui s’étend d’un côté entrée (61A) jusqu’à un côté sortie (61B) de la pièce, ladite modification (91) étant réalisée par une impulsion laser qui présente une répartition d’intensité transversale annulaire (51A, 51B, 151), laquelle s’étend dans une direction de propagation (Z) du faisceau laser (5) au moins sur une longueur (L) qui induit la formation de la modification (91), du côté entrée (61A) jusqu'au côté sortie (61B) de la pièce, la modification (91) délimitant un corps cylindrique (77) d’un matériau résiduel (79) entourant la modification, et placer (étape 73) la pièce (75) munie de la modification dans un bain de gravure (80) chimique humide de sorte à séparer structurellement le corps cylindrique (77) du matériau résiduel (79).
Auch veröffentlicht als
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