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1. WO2020128018 - MEMS-SYSTEM

Veröffentlichungsnummer WO/2020/128018
Veröffentlichungsdatum 25.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/086755
Internationales Anmeldedatum 20.12.2019
IPC
H01F 7/02 2006.01
HElektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
FMagnete; Induktivitäten; Transformatoren; Auswahl der Werkstoffe hinsichtlich ihrer magnetischen Eigenschaften
7Magnete
02Dauermagnete
H01F 10/12 2006.01
HElektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
FMagnete; Induktivitäten; Transformatoren; Auswahl der Werkstoffe hinsichtlich ihrer magnetischen Eigenschaften
10Dünne magnetische Schichten, z.B. mit Einbereichsstruktur
08gekennzeichnet durch Magnetschichten
10gekennzeichnet durch die Zusammensetzung
12aus Metallen oder Legierungen
H01F 41/16 2006.01
HElektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
FMagnete; Induktivitäten; Transformatoren; Auswahl der Werkstoffe hinsichtlich ihrer magnetischen Eigenschaften
41Geräte oder Verfahren, besonders ausgebildet zur Herstellung oder zum Zusammenbau von Magneten, Induktivitäten oder Transformatoren; Geräte oder Verfahren, besonders ausgebildet für das Herstellen von Materialien, die durch ihre magnetischen Eigenschaften charakterisiert sind
14zum Aufbringen magnetischer Schichten auf Substraten
16wobei der magnetische Werkstoff in Form kleiner Teilchen verwendet wird, z.B. durch Siebdruck
G02B 26/08 2006.01
GPhysik
02Optik
BOptische Elemente, Systeme oder Geräte
26Optische Vorrichtungen oder Anordnungen mit beweglichen oder verformbaren optischen Elementen zum Steuern der Intensität, Farbe, Phase, Polarisation oder Richtung von Licht, z.B. Schalten, Austasten oder Modulieren
08zum Steuern der Richtung von Licht
B81B 5/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
BMikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
5Bauelemente mit in Relation zueinander beweglichen Bestandteilen, z.B. mit verschiebbaren oder drehbaren Bestandteilen
Anmelder
  • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE]/[DE]
Erfinder
  • NIEKIEL, Malte Florian
  • LOFINK, Fabian
  • LISEC, Thomas
Vertreter
  • ZIMMERMANN, Tankred
  • PFITZNER, Hannes
  • STÖCKELER, Ferdinand
  • ZINKLER, Franz
  • SCHENK, Markus
  • HERSINA, Günter
  • BURGER, Markus
  • SCHAIRER, Oliver
  • SCHLENKER, Julian
  • KÖNIG, Andreas
Prioritätsdaten
10 2018 222 845.021.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MEMS-SYSTEM
(EN) MEMS SYSTEM
(FR) MICROSYSTÈME ÉLECTROMÉCANIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Ein MEMS-System umfasst eine erste permanentmagnetische Mikrostruktur (10) sowie eine zweite permanentmagnetische Mikrostruktur (15). Die erste permanentmagnetische Mikrostruktur (10) ist entlang einer ersten Richtung (10v) bewegbar. Die zweite permanentmagnetische Mikrostruktur (15) ist gegenüber der ersten permanentmagnetischen Mikrostruktur (10) beabstandet angeordnet, wobei durch eine Bewegung der ersten permanentmagnetischen Mikrostruktur (10) entlang der ersten Richtung (10v) die zweite permanentmagnetische Mikrostruktur (15) oder ein oder mehrere Elemente der zweiten permanentmagnetischen Mikrostruktur (15) entweder in eine zweite Richtung (15v) bewegt oder betätigt werden oder eine Rotation erfahren.
(EN)
A MEMS system comprises a first permanent-magnetic microstructure (10) and a second permanent-magnetic microstructure (15). The first permanent-magnetic microstructure (10) is movable in a first direction (IOv). The second permanent-magnetic microstructure (15) is arranged at a distance from the first permanent-magnetic microstructure (10), the second permanent-magnetic structure (15) or one or more elements of the second permanent-magnetic microstructure (15) being moved in a second direction (15v) or actuated or experiencing a rotation as a result of a movement of the first permanent-magnetic microstructure (10) in the first direction (10v).
(FR)
L'invention concerne un microsystème électromécanique comprenant une première microstructure à aimantation permanente (10) ainsi qu'une seconde microstructure à aimantation permanente (15). La première microstructure à aimantation permanente (10) est mobile le long d'une première direction (10v). La seconde microstructure à aimantation permanente (15) est disposée à l'écart de la première microstructure à aimantation permanente (10), par un déplacement de la première microstructure à aimantation permanente (10) le long de la première direction (10v), la seconde microstructure à aimantation permanente (15) ou un ou plusieurs éléments de la seconde microstructure à aimantation permanente (15) soit sont déplacés ou actionnés dans une seconde direction (15v), soit subissent une rotation.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten