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1. WO2020127477 - MIKROMECHANISCHES BAUTEIL FÜR EINE KAPAZITIVE DRUCKSENSORVORRICHTUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2020/127477
Veröffentlichungsdatum 25.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/085943
Internationales Anmeldedatum 18.12.2019
IPC
G01L 9/00 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
B81B 3/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
BMikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
3Bauelemente mit flexiblen oder verformbaren Bestandteilen, z.B. mit elastischen Zungen oder Membranen
B81C 1/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
CVerfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
1Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Systemen in oder auf einem Substrat
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • ARTMANN, Hans
  • SENZ, Volkmar
  • FRIEDRICH, Thomas
  • HERMES, Christoph
  • SCHMOLLNGRUBER, Peter
  • WEBER, Heribert
Prioritätsdaten
10 2018 222 719.521.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL FÜR EINE KAPAZITIVE DRUCKSENSORVORRICHTUNG
(EN) MICRO-MECHANICAL COMPONENT FOR A CAPACITIVE PRESSURE SENSOR DEVICE
(FR) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE POUR UN DISPOSITIF DE CAPTEUR DE PRESSION CAPACITIF
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil für eine kapazitive Drucksensorvorrichtung mit einer Membran (18), welche mittels einer Rahmenstruktur (12) derart aufgespannt ist, dass ein freitragender Bereich (20) der Membran (18) eine umrahmte Teiloberfläche (16) überspannt, und einer Versteifungsstruktur (22), welche an dem freitragenden Bereich (20) ausgebildet ist, wobei eine parallel zu der umrahmten Teiloberfläche (16) ausgerichtete erste Raumrichtung (x) definierbar ist, in welcher derfreitragende Bereich (20) eine minimale Ausdehnung (l1) aufweist, und eine parallel zu der umrahmten Teiloberfläche (16) ausgerichtete und senkrecht zu der ersten Raumrichtung (x) ausgerichtete zweite Raumrichtung (y) definierbar ist, in welcher der freitragende Bereich (20) eine größere Ausdehnung (l2) hat, wobei die Versteifungsstruktur (22) zu der Rahmenstruktur (12) in der ersten Raumrichtung (x) in einem ersten Abstand (a1) und in der zweiten Raumrichtung (y) in einem zweiten Abstand (a2) vorliegt, und wobei der zweite Abstand (a2) größer als der erste Abstand (a1) ist.
(EN)
The invention relates to a micromechanical component for a capacitive pressure sensor device having a membrane (18), which is clamped by means of a frame structure (12) in such a way that a self-supporting region (20) of the membrane (18) spans a framed partial surface (16), and having a reinforcement structure (22), which is formed on the self-supporting region (20). A first spatial direction (x) oriented parallel to the framed partial surface (16) is definable, in which first spatial direction the self-supporting region (20) has a minimal extension (l1), and a second spatial direction (y) oriented parallel to the framed partial surface (16) and oriented perpendicular to the first spatial direction (x) is definable, in which second spatial direction the self-supporting region (20) has a greater extension (l2). The reinforcement structure (22) is provided at a first distance (a1) from the frame structure (12) in the first spatial direction (x) and at a second distance (a2) in the second spatial direction (y), the second distance (a2) being greater than the first distance (a1).
(FR)
L’invention concerne un composant micromécanique pour un dispositif de capteur de pression capacitif comprenant une membrane (18), laquelle est tendue au moyen d’une structure de trame (12) de telle façon qu’une zone autoportante (20) de la membrane (18) enjambe une surface partielle (16) encadrée, et une structure de renforcement (22), laquelle est formée sur la zone autoportante (20), une première direction spatiale (x) orientée parallèle à la surface partielle (16) encadrée pouvant être définie, dans laquelle la zone autoportante (20) présente une extension minimale (l1), et une deuxième direction spatiale (y) orientée parallèle à la surface partielle (16) encadrée et perpendiculaire à la première direction spatiale (x) pouvant être définie, dans laquelle la zone autoportante (2) a une plus grande extension (l2), la structure de renforcement (22) étant à une première distance (a1) dans la première direction spatiale (x) et à une deuxième distance (a2) dans la deuxième direction spatiale (y) de la structure de trame (12), et la deuxième distance (a2) étant supérieure à la première distance (a1).
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