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1. WO2020127474 - SENSOREINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SENSOREINRICHTUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2020/127474
Veröffentlichungsdatum 25.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/085940
Internationales Anmeldedatum 18.12.2019
IPC
B81C 1/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
CVerfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
1Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Systemen in oder auf einem Substrat
B81B 3/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
BMikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
3Bauelemente mit flexiblen oder verformbaren Bestandteilen, z.B. mit elastischen Zungen oder Membranen
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • ARTMANN, Hans
  • REINMUTH, Jochen
Prioritätsdaten
10 2018 222 715.221.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) SENSOREINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SENSOREINRICHTUNG
(EN) SENSOR DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A SENSOR DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF DE DÉTECTION
Zusammenfassung
(DE)
Die vorliegende Erfindung schafft eine Sensoreinrichtung (1) umfassend, zumindest ein Substrat (2); einen Randbereich (RB, RS), welcher auf dem Substrat (2) angeordnet ist und einen Innenbereich (IB) über dem Substrat (2) lateral eingrenzt; eine Membran (7), welche an der Randstruktur (RS) verankert ist und den Innenbereich (IB) zumindest teilweise überspannt, wobei die Membran (7) im Innenbereich (IB) zumindest einen durch einen Druck (p) beweglichen Bereich (BB) umfasst, welcher eine Kaverne (K) zwischen der Membran (7) und dem Substrat (2) einschließt;einen ersten Zwischenträger (ZT1), welcher sich im beweglichen Bereich (BB) unterhalb der Membran (7) erstreckt und mit der Membran (7) verbunden ist und zumindest einen Graben (G) aufweist.
(EN)
The present invention relates to a sensor device (1) comprising: at least one substrate (2); an edge region (RB, RS), which is arranged on the substrate (2) and laterally delimits an inner region (IB) over the substrate (2); a membrane (7), which is anchored on the edge structure (RS) and at least in part extends over the inner region (IB), with the membrane (7) in the inner region (IB) comprising at least one region (BB) that can be moved by a pressure (p), which region encloses a cavity (K) between the membrane (7) and the substrate (2); and a first intermediate support (ZT1), which extends in the movable region (BB) beneath the membrane (7) and is connected to the membrane (7) and has at least one groove (G).
(FR)
La présente invention concerne un dispositif de détection (1) comprenant au moins un substrat (2), une zone marginale (RB, RS), laquelle est disposée sur le substrat (2) et délimite latéralement une zone intérieure (IB) au-dessus du substrat (2), une membrane (7), laquelle est ancrée sur la structure marginale (RS) et recouvre au moins en partie la zone intérieure (IB), la membrane (7) comprenant dans la zone intérieure (IB) au moins une zone (BB) qui est mobile du fait d'une pression (p) et qui renferme une cavité (K) entre la membrane (7) et le substrat (2), un premier support intermédiaire (ZT1), lequel s'étend dans la zone mobile (BB) au-dessous de la membrane (7) et est relié à la membrane (7) et présente au moins une tranchée (G).
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten