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1. WO2020127283 - MIKROMECHANISCHE SENSOREINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MIKROMECHANISCHEN SENSOREINRICHTUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2020/127283
Veröffentlichungsdatum 25.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/085677
Internationales Anmeldedatum 17.12.2019
IPC
G01L 9/00 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
G01L 9/12 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
12unter Ausnutzung von Kapazitätsänderungen
G01L 15/00 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
15Vorrichtungen oder Apparate zum gleichzeitigen Messen von zwei oder mehr Druckwerten von Fluiden
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • FRIEDRICH, Thomas
  • DOESSEL, Kerrin
  • HERMES, Christoph
Prioritätsdaten
10 2018 222 770.521.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MIKROMECHANISCHE SENSOREINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MIKROMECHANISCHEN SENSOREINRICHTUNG
(EN) MICROMECHANICAL SENSOR DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL SENSOR DEVICE
(FR) ENSEMBLE CAPTEUR MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION D’UN ENSEMBLE CAPTEUR MICROMÉCANIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Die vorliegende Erfindung schafft eine mikromechanische Sensoreinrichtung (1) umfassend, ein Substrat (2) und eine Randschicht (3), welche auf dem Substrat (2) angeordnet ist und einen Innenbereich (IB) über dem Substrat (2) lateral umrandet; zumindest eine Membran (4), welche den Innenbereich (IB) überspannt und eine abgedeckt Kavität (K) über dem Substrat (2) ausbildet; zumindest eine Stützstelle (5), welche zwischen dem Substrat (2) und der Membran (4) innerhalb der Kavität (K) angeordnet ist und die Membran (4) an der Randschicht (3) und/oder an der zumindest einen Stützstelle (5) befestigt ist, wobei die Stützstelle (5) die Membran (4) in zumindest einen durch eine Kraftwirkung (p) beweglichen Messbereich (MB) und zumindest einen durch die Kraftwirkung (p) unbeweglichen Referenzbereich (RB) trennt, und wobei das Substrat (2) und die Membran (4) innerhalb der Kavität (K) einander zugewandte Elektroden (E1; E2) im Messbereich (MB) und Referenzbereich (RB) umfassen.
(EN)
The present invention provides a micromechanical sensor device (1) comprising a substrate (2) and an edge layer (3), which is arranged on the substrate (2) and laterally bounds an inner region (IB) above the substrate (2); at least one membrane (4) which spans the inner region (IB) and forms a covered cavity (K) above the substrate (2); at least one support point (5) which is arranged between the substrate (2) and the membrane (4) within the cavity (K), and the membrane (4) is secured to the edge layer (3) and/or to the at least one support point (5), wherein the support point (5) separates the membrane (4) into at least one measurement region (MB) which is movable as a result of a force action (p) and at least one reference region (RB) which is non-movable as a result of the force action (p), and wherein the substrate (2) and the membrane (4) comprise electrodes (E1; E2) facing one another within the cavity (K) in the measurement region (MB) and reference region (RB).
(FR)
La présente invention concerne un ensemble capteur micromécanique (1) comprenant un substrat (2) et une couche superficielle (3), laquelle est disposée sur le substrat (2) et entoure latéralement un espace intérieur (IB) au-dessus du substrat (2) ; au moins une membrane (4), laquelle couvre l’espace intérieur (IB) et forme une cavité couverte (K) au-dessus du substrat (2) ; au moins un point de support (5), lequel est disposé à l'intérieur de la cavité (K) entre le substrat (2) et la membrane (4) et la membrane (4) est fixée à la couche superficielle (3) et/ou à l’au moins un point de support (5), le point de support (5) séparant la membrane (4) en au moins une zone de mesure (MB) pouvant être déplacée par l’action d’une force (p) et au moins une zone de référence (RB) ne pouvant pas être déplacée par l’action d’une force (p), et le substrat (2) et la membrane (4) comprenant à l'intérieur de la cavité (K) des électrodes se faisant face (E1, E2) dans la zone de mesure (MB) et dans la zone de référence (RB).
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