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1. WO2020127271 - MEMS-SENSOR MIT EINER MEMBRAN SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MEMS-SENSORS

Veröffentlichungsnummer WO/2020/127271
Veröffentlichungsdatum 25.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/085658
Internationales Anmeldedatum 17.12.2019
IPC
B81B 7/04 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
BMikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
7Mikrostruktursysteme
04Vernetzte oder Array-Anordnungen von ähnlichen Mikrostrukturbauelementen
B81C 1/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
CVerfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
1Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Systemen in oder auf einem Substrat
G01L 9/00 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • FRIEDRICH, Thomas
  • DOESSEL, Kerrin
  • HERMES, Christoph
Prioritätsdaten
10 2018 222 758.621.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MEMS-SENSOR MIT EINER MEMBRAN SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MEMS-SENSORS
(EN) MEMS SENSOR COMPRISING A MEMBRANE, AND METHOD FOR PRODUCING A MEMS SENSOR
(FR) CAPTEUR MEMS POURVU D'UNE MEMBRANE AINSI QUE PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION D'UN CAPTEUR MEMS
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft einen MEMS-Sensor mit einer Membran, wobei eine Grundfläche der Membran mittels einer umlaufenden Wandstruktur begrenzt ist, und wobei die Grundfläche zumindest zwei Teilbereiche aufweist, wovon zumindest einer der Teilbereiche auslenkbar angeordnet ist, und wobei die zumindest zwei Teilbereiche mittels zumindest einer Trennungsstruktur voneinander getrennt oder durch diese begrenzt sind und wobei die Trennungsstruktur zumindest einen Fluiddurchgang zum Durchgang eines Fluids aufweist.
(EN)
The invention relates to an MEMS sensor comprising a membrane, wherein a base surface of the membrane is bounded by means of a peripheral wall structure, and wherein the base surface has at least two subregions, at least one of said subregions being deflectably arranged, and wherein the at least two subregions are separated from one another by means of at least one separating structure or bounded by said separating structure, and wherein the separating structure has at least one fluid passage for a fluid to pass through.
(FR)
L'invention concerne un capteur MEMS pourvu d'une membrane, une surface de base de la membrane étant délimitée par une structure de paroi périphérique et la surface de base présentant au moins deux zones partielles, dont au moins une zone partielle est disposée de manière à pouvoir être déviée et lesdites au moins deux zones partielles étant séparées l'une de l'autre au moyen d'au moins une structure de séparation ou délimitées par celle-ci et la structure de séparation présentant au moins un passage fluidique pour le passage d'un fluide.
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