In Bearbeitung

Bitte warten ...

Einstellungen

Einstellungen

Gehe zu Anmeldung

1. WO2020126922 - VERFAHREN ZUM VERSCHLIEßEN VON ZUGÄNGEN IN EINEM MEMS-ELEMENT

Veröffentlichungsnummer WO/2020/126922
Veröffentlichungsdatum 25.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/085117
Internationales Anmeldedatum 13.12.2019
IPC
B81C 1/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
CVerfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
1Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Systemen in oder auf einem Substrat
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • ARTMANN, Hans
  • FRIEDRICH, Thomas
  • AMETOWOBLA, Mawuli
  • WEBER, Heribert
  • SCHMOLLNGRUBER, Peter
  • HERMES, Christoph
  • MENOLD, Tobias Joachim
Prioritätsdaten
10 2018 222 749.721.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUM VERSCHLIEßEN VON ZUGÄNGEN IN EINEM MEMS-ELEMENT
(EN) METHOD FOR SEALING ACCESSES IN A MEMS ELEMENT
(FR) PROCÉDÉ DE FERMETURE D'ACCÈS DANS UN ÉLÉMENT MEMS
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verschließen von Zugängen in einem MEMS- Element bereit, umfassend die Schritte - Bereitstellen einer Funktionsschicht mit einem Funktionsbereich, - Herstellen einer Kaverne unterhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht mittels eines ersten Zugangs außerhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht, - Verschließendes ersten Zugangs, - Herstellen eines zweiten Zugangs zur Kaverne außerhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht, - Aufschmelzen von Verschlussmaterial im Bereich des zweiten Zugangs, und - Abkühlen des aufgeschmolzenen Verschlussmaterials zum Verschließen des zweiten Zugangs.
(EN)
The invention relates to a method for sealing accesses in a MEMS element, comprising the steps - providing a functional layer having a functional area, - producing a cavern beneath the functional area of the functional layer by means of a first access outside the functional area of the functional layer, - sealing the first access, - producing a second access to the cavern outside the functional area of the functional layer, - melting sealing material in the area of the second access, and - cooling the molten sealing material to seal the second access.
(FR)
L'invention concerne un procédé pour la fermeture d'accès dans un élément MEMS, comprenant les étapes consistant - à fournir une couche fonctionnelle présentant une zone fonctionnelle, – à réaliser un creux sous la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle par l'intermédiaire d'un premier accès en dehors de la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle, – à fermer le premier accès, – à réaliser un deuxième accès vers le creux en dehors de la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle, – à faire fondre un matériau de scellement au niveau du deuxième accès et – à refroidir le matériau de scellement fondu pour fermer le deuxième accès.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten