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1. WO2020126911 - MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL

Veröffentlichungsnummer WO/2020/126911
Veröffentlichungsdatum 25.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/085101
Internationales Anmeldedatum 13.12.2019
IPC
B81B 3/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
BMikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
3Bauelemente mit flexiblen oder verformbaren Bestandteilen, z.B. mit elastischen Zungen oder Membranen
B81C 1/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
CVerfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
1Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Systemen in oder auf einem Substrat
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • ARTMANN, Hans
  • FRIEDRICH, Thomas
  • HERMES, Christoph
  • SCHMOLLNGRUBER, Peter
  • WEBER, Heribert
  • REINMUTH, Jochen
Prioritätsdaten
10 2018 222 730.621.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL
(EN) MICROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL COMPONENT
(FR) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN COMPOSANT MICROMÉCANIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil, dessen Membran (12) beabstandet von einer Bodenseite einer Kavität gehalten ist und Stützstrukturen (20a) an ihrer Membraninnenseite (12a) aufweist, wobei jede der Stützstrukturen (20a) je eine erste Randelementstruktur (32), je eine zweite Randelementstruktur (34) und je mindestens eine zwischen der zugeordneten ersten Randelementstruktur (32) und der zugeordneten zweiten Randelementstruktur (34) angeordnete Zwischenelementstruktur (36) aufweist, wobei für jede der Stützstrukturen (20a) jeweils eine Symmetrieebene (38) definierbar ist, bezüglich welcher zumindest die erste Randelementstruktur (32) der jeweiligen Stützstruktur (20a) und die zweite Randelementstruktur (34) der jeweiligen Stützstruktur (20a) spiegelsymmetrisch sind, und wobei bei jeder der Stützstrukturen (20a) eine erste maximale Ausdehnung (a1) ihrer ersten Randelementstruktur (32) senkrecht zu ihrer Symmetrieebene (38) und eine zweite maximale Ausdehnung (a2) ihrer zweiten Randelementstruktur(34) senkrecht zu ihrer Symmetrieebene (38) größer als die mindestens eine jeweilige maximale Ausdehnung (a3) ihrer mindestens einen Zwischenelementstruktur (36) senkrecht zu ihrer Symmetrieebene (38) sind.
(EN)
The invention relates to a micromechanical component, the membrane (12) of which is held at a distance from a bottom side of a well and has supporting structures (20a) on the membrane inner side (12a), wherein: each of the supporting structures (20a) has a first edge element structure (32), a second edge element structure (34), and at least one intermediate element structure (36) situated between the associated first edge element structure (32) and the associated second edge element structure (34); for each of the supporting structures (20a), a plane of symmetry (38) is definable, in relation to which at least the first edge element structure (32) of the supporting structure (20a) in question and the second edge element structure (34) of the supporting structure (20a) in question are mirror-symmetrical; and, in each of the supporting structures (20a), a first maximum extent (a1) of the first edge element structure (32) perpendicular to the plane of symmetry (38) and a second maximum extent (a2) of the second edge element structure (34) perpendicular to the plane of symmetry (38) are greater than the at least one maximum extent (a3) of the at least one intermediate element structure (36) perpendicular to the plane of symmetry (38).
(FR)
L’invention concerne un composant micromécanique, dont la membrane (12) est maintenue à distance de la face de fond d’une cavité et présente des structures de support (20a) sur sa face intérieure de membrane (12a), chacune des structures de support (20a) présentant respectivement une première structure d'élément de bord (32), respectivement une deuxième structure d'élément de bord (34) et respectivement au moins une structure d'élément intermédiaire (36) disposée entre la première structure d'élément de bord (32) associée et la deuxième structure d'élément de bord (34) associée, un plan de symétrie (38) pouvant être défini respectivement pour chacune des structures de support (20a), par rapport auquel au moins la premières structure d'élément de bord (32) de la structure de support (20a) respective et la deuxième structure d'élément de bord (34) de la structure de support (20a) respective sont symétrique en image miroir, et dans chacune des structures de support (20a) une première extension maximale (a1) de sa première structure d'élément de bord (32) perpendiculairement à son plan de symétrie (38) et une deuxième extension maximale (a2) de sa deuxième structure d'élément de bord (34) perpendiculairement à son plan de symétrie (38) étant supérieures à l’au moins une extension maximale (a3) respective de sa au moins une structure d'élément intermédiaire (36) perpendiculairement à son plan de symétrie (38).
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