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1. WO2020126901 - STIFTHUBVORRICHTUNG MIT ZUSTANDSÜBERWACHUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2020/126901
Veröffentlichungsdatum 25.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/085063
Internationales Anmeldedatum 13.12.2019
IPC
H01L 21/687 2006.01
HElektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
683zum Aufnehmen oder Greifen
687mit mechanischen Mitteln, z.B. Halte-, Klemm- oder Pressvorrichtungen
Anmelder
  • VAT HOLDING AG [CH]/[CH]
Erfinder
  • ESCHENMOSER, Adrian
  • DÜR, Michael
  • HOFER, Andreas
Vertreter
  • KAMINSKI HARMANN PATENTANWÄLTE AG
Prioritätsdaten
10 2018 009 871.119.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) STIFTHUBVORRICHTUNG MIT ZUSTANDSÜBERWACHUNG
(EN) PIN-LIFTING DEVICE HAVING STATE MONITORING
(FR) DISPOSITIF DE LEVAGE DE TIGE, À CONTRÔLE D’ÉTAT
Zusammenfassung
(DE)
Stifthubvorrichtung (10), insbesondere Pin-Lifter, die zur Bewegung und Positionierung eines zu bearbeitenden Substrats, insbesondere eines Wafers, in einem durch eine Vakuumprozesskammer bereitstellbaren Prozessatmosphärenbereich ausgebildet ist. Die Stifthubvorrichtung (10) weist eine Kupplung (32) auf, die zur Aufnahme eines zum Kontaktieren und Tragen des Substrats ausgestalteten Tragstifts ausgebildet ist, und weist eine Antriebseinheit (12) auf, die derart ausgebildet ist und mit der Kupplung (32) zusammenwirkt, dass die Kupplung (32) linear entlang einer Verstellachse (A) von einer abgesenkten Normalposition in eine ausgefahrene Trageposition und zurück verstellbar ist. Die Stifthubvorrichtung (10) weist mindestens eine Sensoreinheit (41-44) auf, die derart ausgebildet und angeordnet ist, dass mittels der Sensoreinheit (41-44) eine kraftabhängige und/oder beschleunigungsabhängige Zustandsinformation mit Bezug zu zumindest einem Teil der Stifthubvorrichtung (10) erzeugbar ist.
(EN)
The invention relates to a pin-lifting device (10), in particular a pin lifter, which is designed to move and position a substrate to be processed, in particular a wafer, in a process atmosphere region that can be provided by a process chamber. The pin lifting device (10) has a coupling (32), which is designed to receive a support pin configured to contact and support the substrate and has a drive unit (12), which is formed and cooperates with the coupling (32) in such a way that the coupling (32) can be displaced linearly along a displacement axis (A) from a lowered normal position into an extended support position and back. The pin lifting device (10) has at least one sensor unit (41-44), which is formed and arranged in such a way that force-dependent and/or acceleration-dependent state information with reference to a least one part of the pin lifting device (10) can be generated by means of the sensor unit (41-44).
(FR)
L’invention concerne un dispositif de levage de tige (10), en particulier un lève-tige, conçu de manière à déplacer et à positionner un substrat à usiner, en particulier une tranche, dans une zone d’atmosphère de traitement pouvant être fournie par une chambre de traitement sous vide. Le dispositif de levage de tige (10) présente un accouplement (32) conçu de manière à recevoir une tige de support destinée à faire contact avec le substrat et à le porter, et ledit dispositif de levage de tige présente également une unité d’entraînement (12) conçue et coopérant avec l’accouplement (32), de sorte que l’accouplement (32) peut se déplacer de manière linéaire le long d’un axe de déplacement (A), d’une position normale abaissée à une position de support déployée et inversement. Le dispositif de levage de tige (10) présente au moins une unité de détection (41-44), laquelle est conçue et agencée de sorte qu’une information d’état dépendant de la force et/ou de l’accélération et portant sur au moins une partie du dispositif de levage de tige (10) de l’unité de détection (41-44) peut être produite au moyen de l’unité de détection (41-44).
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