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1. WO2020126415 - VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MIKROMECHANISCHEN VORRICHTUNG MIT DÄMPFERSTRUKTUR

Veröffentlichungsnummer WO/2020/126415
Veröffentlichungsdatum 25.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/083142
Internationales Anmeldedatum 29.11.2019
IPC
B81B 7/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
BMikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
7Mikrostruktursysteme
B81C 99/00 2010.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
CVerfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
99Sachverhalte, soweit nicht in anderen Gruppen dieser Unterklasse vorgesehen
B81C 1/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
CVerfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
1Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Systemen in oder auf einem Substrat
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • HOEFER, Holger
  • AMBERGER, Maximilian
  • STUMBER, Michael
  • OFFTERDINGER, Klaus
Prioritätsdaten
10 2018 222 685.720.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MIKROMECHANISCHEN VORRICHTUNG MIT DÄMPFERSTRUKTUR
(EN) METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL DEVICE HAVING A DAMPER STRUCTURE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF MICROMÉCANIQUE AYANT UNE STRUCTURE D'AMORTISSEUR
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung mit Dämpferstruktur mit den Schritten: (A) Bereitstellen eines mikromechanischen Wafers mit einer Rückseite; (B) Auftragen eines flüssigen Dämpfermaterials auf die Rückseite; (C) Andrücken einer Matrize gegen die Rückseite zum Formen wenigstens einer Dämpferstruktur in das Dämpfermaterial; (D) Verfestigen des Dämpfermaterials; (E) Abnehmen der Matrize.
(EN)
The invention relates to a method for producing a micromechanical device having a damper structure, comprising the following steps: (A) providing a micromechanical wafer having a rear side; (B) applying a liquid damping material onto the rear aide; (C) pressing a matrix against the rear side for forming at least one damper structure in the damper material; (D) solidifying the damper material; (E) removing the matrix.
(FR)
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif micromécanique ayant une structure d'amortisseur, comprenant les étapes suivantes : (A) fourniture d'une plaquette micromécanique ayant un côté arrière ; (B) application d'un matériau amortisseur liquide sur le côté arrière ; (C) pressage d'une matrice contre le côté arrière pour former au moins une structure d'amortisseur dans le matériau amortisseur ; (D) solidification du matériau amortisseur ; (E) retrait de la matrice.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten