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1. WO2020126277 - VERFAHREN ZUR KALIBRIERUNG EINES SPEKTROMETERS

Anmerkung: Text basiert auf automatischer optischer Zeichenerkennung (OCR). Verwenden Sie bitte aus rechtlichen Gründen die PDF-Version.

[ DE ]

Patentansprüche

1. Verfahren zur Kalibrierung eines Spektrometers (3), umfassend die Schritte:

- Senden von Licht mittels einer Lichtquelle (1 ), wobei die Lichtquelle (1 ) ein bekanntes und im Wesentlichen zeitlich unveränderliches

Emissionsspektrum besitzt,

- Empfangen des Lichts als Empfangsspektrum,

- Vergleichen des Empfangsspektrums mit dem Emissionsspektrum und Ermitteln einer Abweichung, und

Berücksichtigung der ermittelten Abweichung bei anschließenden

Messungen mit dem Spektrometer (1 ), wenn die Abweichung größer einem Toleranzwert ist.

2. Verfahren nach Anspruch 1 , weiter umfassend den Schritt:

- Durchführung einer Justierung, wenn die ermittelte Abweichung größer als der Toleranzwert ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,

wobei das Emissionsspektrum der Lichtquelle (1 ) gegenüber dem Prozess temperaturstabil ist.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

wobei das Emissionsspektrum der Lichtquelle (1 ) temperaturunabhängig ist.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

wobei das Emissionsspektrum zumindest zwei, insbesondere zumindest drei, Peaks umfasst und das Vergleichen des Empfangsspektrums mit dem

Emissionsspektrum anhand der Peaks durchgeführt wird.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

wobei zur Kalibrierung des Spektrometers (3) das Licht durch eine definiertes Prüfmedium gesendet wird.

7. Verfahren nach Anspruch 6,

wobei es sich bei dem Prüfmedium um Luft oder Stickstoff handelt.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

wobei die Berücksichtigung der ermittelten Abweichung eine

Temperaturkompensation umfasst.

9. Messsystem (10),

umfassend zumindest eine Lichtquelle (1 ), ein Spektrometer (3), das Spektrometer insbesondere umfassend zumindest einen Spiegel (5),

Gitter (6), einen Empfänger (7), insbesondere ein CCD-Sensor, und

Eintrittspalt, und eine Datenverarbeitungseinheit (4), welche dazu ausgestaltet ist, die Schritte des Verfahrens nach einem der vorherigen Ansprüche auszuführen.

10. Messsystem (10) nach dem vorherigen Anspruch,

wobei die Lichtquelle (1 ) als Xenon-Blitzlampe, Gasentladungslampe oder Leuchtstofflampe ausgestaltet ist.

11. Computerprogramm,

umfassend Befehle, die bewirken, dass das Messsystem einem der vorherigen Ansprüche die Verfahrensschritte nach einem der

vorhergehenden Ansprüche ausführt.

12. Computerlesbares Medium,

auf dem das Computerprogramm nach dem vorhergehenden Anspruch gespeichert ist.

13. Computerlesbares Medium,

wobei auf dem Medium das Emissionsspektrum der Lichtquelle gespeichert ist.