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1. WO2020126160 - VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SENSORANORDNUNG ZUR BESTIMMUNG MINDESTENS EINES DRUCKS EINES FLUIDEN MEDIUMS

Anmerkung: Text basiert auf automatischer optischer Zeichenerkennung (OCR). Verwenden Sie bitte aus rechtlichen Gründen die PDF-Version.

[ DE ]

Ansprüche

1. Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung (110) zur Bestimmung mindestens eines Drucks eines fluiden Mediums, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:

a) Bereitstellen eines Sensoranordnungsrohlings (112), wobei der

Sensoranordnungsrohling (112) mindestens einen Druckstutzen (114) umfasst, wobei der Druckstutzen (114) weiterhin mindestens ein Druckverformungselement (116) aufweist, wobei das

Druckverformungselement (116) aus mindestens einem

induktionsgeeigneten Material hergestellt ist;

b) Aufbringen mindestens eines Glaselements (132) auf eine Oberfläche (130) des Druckverformungselements (116);

c) Erfassen mindestens einer Temperatur des

Druckverformungselements (116) mittels mindestens eines Pyrometers (140);

d) Induzieren einer Spannung in dem Druckverformungselement (116) mittels mindestens eines Induktors (146) derart, dass das Glaselement (132) schmilzt und sich eine Glasschicht (148) auf dem Druckverformungselement (116) ausbildet;

e) Aufbringen eines Sensorelements (150) auf die Glasschicht (148) derart, dass sich eine stoffschlüssige Verbindung zwischen dem Sensorelement (150) und der Glasschicht (148) ausbildet.

2. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei vor Durchführung des Schritts b) mindestens eine Oberflächenprofilierung (152) auf mindestens der Oberfläche (130) des Druckverformungselements (116) erzeugt wird.

3. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die

Oberflächenprofilierung (152) mindestens eine Profilierung ist ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus: einer Mikroprofilierung, einer Nanoprofilierung. 4. Verfahren nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, wobei die Oberflächenprofilierung (152) zumindest teilweise eine im Wesentlichen periodische Oberflächenprofilierung ist.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Verfahren weiterhin ein Einbringen des Druckstutzens in eine kühlbare

Aufnahmevorrichtung (134) und Kühlen des Druckstutzens (114) mittels der kühlbaren Aufnahmevorrichtung (134) umfasst.

6. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei ein unteres Ende des

Druckstutzens (114) mittels der kühlbaren Aufnahmevorrichtung (134) auf eine Temperatur von 5 °C bis 25 °C gekühlt wird.

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das

Glaselement (132) eine zylindrische Grundform mit einer Dicke 5 mhh bis 100 mhh aufweist.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei Schritt d) eine Aufheizphase, eine Haltephase und eine Abkühlphase umfasst, wobei die Haltephase über einen Zeitraum von 2 s bis 50 s erfolgt.

9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei in Schritt d) ein Aufheizen des Druckverformungselements (116) auf eine Temperatur von

200 °C bis 900 °C erfolgt.

10. Sensoranordnung (110) zur Bestimmung mindestens eines Drucks eines fluiden Mediums hergestellt nach einem Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche.