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1. WO2020126160 - VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SENSORANORDNUNG ZUR BESTIMMUNG MINDESTENS EINES DRUCKS EINES FLUIDEN MEDIUMS

Veröffentlichungsnummer WO/2020/126160
Veröffentlichungsdatum 25.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/078681
Internationales Anmeldedatum 22.10.2019
IPC
G01L 9/00 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
B81C 3/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
CVerfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
3Zusammenbau von Bauelementen oder Systemen aus individuell hergestellten Teilen
C03B 5/02 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
03Glas; Mineral- oder Schlackenwolle
BHerstellung oder Formgebung von Glas, Mineral- oder Schlackenwolle; Nachbehandlungsverfahren bei der Herstellung oder Formgebung von Glas, Mineral- oder Schlackenwolle
5Schmelzen in Öfen; Öfen, soweit sie für die Glasherstellung besonders ausgebildet sind
02in elektrischen Öfen
CPC
B81C 3/001
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
3Assembling of devices or systems from individually processed components
001Bonding of two components
G01L 9/0048
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0042Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
0048Details about the mounting of the diaphragm to its support or about the diaphragm edges, e.g. notches, round shapes for stress relief
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • GOLDHAHN, Clemens
  • WOLF, Ronny
  • WENK, Ralf
  • STARK, Tilman
  • REINHARDT, Marcel
  • BAETZOLD, Lutz
Prioritätsdaten
10 2018 221 984.217.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SENSORANORDNUNG ZUR BESTIMMUNG MINDESTENS EINES DRUCKS EINES FLUIDEN MEDIUMS
(EN) METHOD FOR PRODUCING A SENSOR ARRANGEMENT FOR DETERMINING AT LEAST ONE PRESSURE OF A FLUID MEDIUM
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ENSEMBLE DE CAPTEURS SERVANT À DÉFINIR AU MOINS UNE PRESSION D'UN MILIEU FLUIDE
Zusammenfassung
(DE)
Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung (110) zur Bestimmung mindestens eines Drucks eines fluiden Mediums vorgeschlagen. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: a) Bereitstellen eines Sensoranordnungsrohlings (112), wobei der Sensoranordnungsrohling (112) mindestens einen Druckstutzen (114) umfasst, wobei der Druckstutzen (114) weiterhin mindestens ein Druckverformungselement (116) aufweist, wobei das Druckverformungselement (116) aus mindestens einem induktionsgeeigneten Material hergestellt ist; b) Aufbringen mindestens eines Glaselements (132) auf eine Oberfläche (130) des Druckverformungselements (116); c) Erfassen mindestens einer Temperatur des Druckverformungselements (116) mittels mindestens eines Pyrometers (140); d) Induzieren einer Spannung in dem Druckverformungselement (116) mittels mindestens eines Induktors (146) derart, dass das Glaselement (132) schmilzt und sich eine Glasschicht (148) auf dem Druckverformungselement (116) ausbildet; e) Aufbringen eines Sensorelements (150) auf die Glasschicht (148) derart, dass sich eine stoffschlüssige Verbindung zwischen dem Sensorelement (150) und der Glasschicht (148) ausbildet.
(EN)
The invention relates to a method for producing a sensor arrangement (110) for determining at least one pressure of a fluid medium. The method comprises the following steps: a) providing a sensor arrangement blank (112), the sensor arrangement blank (112) comprising at least one pressure port (114), the pressure port (114) also having at least one pressure deformation element (116), the pressure deformation element (116) being produced from at least one induction-compatible material; b) applying at least one glass element (132) to a surface (130) of the pressure deformation element (116); c) measuring at least one temperature of the pressure deformation element (116) by means of at least one pyrometer (140); d) inducing a voltage in the pressure deformation element (116) by means of at least one inductor (146) in such a way that the glass element (132) melts and a glass layer (148) is formed on the pressure deformation element (116); e) applying a sensor element (150) to the glass layer (148) in such a way that a bonded connection is formed between the sensor element (150) and the glass layer (148).
(FR)
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un ensemble de capteurs (110) servant à définir au moins une pression d'un milieu fluide. L'invention comprend les étapes suivantes consistant à : a) fournir une ébauche (112) d'ensemble de capteurs, l'ébauche (112) d'ensemble de capteurs comprenant au moins une tubulure de pression (114), laquelle tubulure de pression (114) comporte par ailleurs au moins un élément de déformation par pression (116), lequel élément de déformation par pression (116) est fabriqué à partir d'au moins un matériau adapté à l'induction ; b) appliquer au moins un élément en verre (132) sur une surface (130) de l'élément de déformation par pression (116) ; c) détecter au moins une température de l'élément de déformation par pression (116) au moyen d'au moins un pyromètre (140) ; d) induire une tension dans l'élément de déformation par pression (116) au moyen d'au moins un inducteur (146) de telle manière que l'élément en verre (132) fond et qu'il se forme une couche de verre (148) sur l'élément de déformation par pression (116) ; e) appliquer un élément capteur (150) sur la couche de verre (148) de telle manière qu'il se forme une liaison par liaison de matière entre l'élément capteur (150) et la couche de verre (148).
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