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1. WO2020126146 - VORRICHTUNG ZUR PROBENUNTERSUCHUNG FÜR EIN ATMOSPHÄRISCHES ODER DRUCKVARIABLES RASTERELEKTRONENMIKROSKOP, MIKROSKOPIESYSTEM SOWIE MIKROSKOPIEVERFAHREN

Veröffentlichungsnummer WO/2020/126146
Veröffentlichungsdatum 25.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/077215
Internationales Anmeldedatum 08.10.2019
IPC
H01J 37/20 2006.01
HElektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
JElektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
37Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben
02Einzelheiten
20Vorrichtungen zum Halten oder Ausrichten des Gegenstandes oder Materials; Vorrichtungen zum Einstellen der mit der Halterung verbundenen Blenden oder Linsen
H01J 37/28 2006.01
HElektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
JElektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
37Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben
26Elektronen- oder Ionenmikroskope; Elektronen- oder Ionenbeugungsröhren
28mit Abtaststrahlen oder -strahlenbündeln
Anmelder
  • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE]/[DE]
Erfinder
  • PROBST, Jörn
  • FÜTING, Manfred
  • DEMBSKI, Sofia
  • MAAS-DIEGELER, Gabriele
  • HENNING, Sven
  • HEILMANN, Andreas
  • ROSONSKY, André
Vertreter
  • 2SPL PATENTANWÄLTE PARTG MBB
Prioritätsdaten
10 2018 132 770.619.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG ZUR PROBENUNTERSUCHUNG FÜR EIN ATMOSPHÄRISCHES ODER DRUCKVARIABLES RASTERELEKTRONENMIKROSKOP, MIKROSKOPIESYSTEM SOWIE MIKROSKOPIEVERFAHREN
(EN) DEVICE FOR SAMPLE EXAMINATION FOR AN ATMOSPHERIC OR PRESSURE-VARIABLE SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, MICROSCOPY SYSTEM AND MICROSCOPY METHOD
(FR) DISPOSITIF D'EXAMEN D'ÉCHANTILLONS POUR UN MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE ATMOSPHÉRIQUE OU À PRESSION VARIABLE, SYSTÈME DE MICROSCOPIE AINSI QUE PROCÉDÉ DE MICROSCOPIE
Zusammenfassung
(DE)
Vorgeschlagen wird eine Vorrichtung zur Probenuntersuchung für ein atmosphärisches oder druckvariables Rasterelektronenmikroskop. Die Vorrichtung umfasst ein Basiselement umfassend Befestigungsmittel für die Befestigung an einem Probentisch des Rasterelektronenmikroskops. Ferner umfasst die Vorrichtung eine Probenkammer, die lösbar an dem Basiselement befestigt und eine zu untersuchende Probe aufnehmen kann. Die Probenkammer weist eine Öffnung auf für die Einleitung eines Elektronenstrahls des Rasterelektronenmikroskops in die Probenkammer. Zudem umfasst die Vorrichtung ein Verschlusselement, das lösbar an der Probenkammer befestigt und ausgebildet ist, die Öffnung der Probenkammer in einem ersten Betriebszustand gasdicht zu verschließen und die Öffnung in einem zweiten Betriebszustand nicht zu bedecken. Das Basiselement und die Probenkammer sind thermisch gekoppelt, wobei das Basiselement ein Temperierungselement zum Einstellen einer Temperatur innerhalb der Probenkammer umfasst. Weiterhin umfasst die Probenkammer Anschlüsse für die Zuleitung und Ableitung von flüssigen oder gasförmigen Medien in die Probenkammer bzw. aus der Probenkammer.
(EN)
The invention relates to a device for sample examination for an atmospheric or pressure-variable scanning electron microscope. The device comprises a base element comprising fastening means for fastening to a sample stage of the scanning electron microscope. The device further comprises a sample chamber, which is releasably fastened to the base element and can receive a sample to be examined. The sample chamber has an opening for introducing an electron beam of the scanning electron microscope into the sample chamber. The device also comprises a closure element, which is releasably fastened to the sample chamber and is designed to close the opening of the sample chamber in a gas-tight manner in a first operating state and to not cover the opening in a second operating state. The base element and the sample chamber are thermally coupled, the base element comprising a temperature control element for setting a temperature within the sample chamber. The sample chamber also comprises connections for supplying and removing liquid or gaseous media to and from the sample chamber.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'examen d'échantillons pour un microscope électronique à balayage atmosphérique ou à pression variable. Le dispositif comprend un élément de base comportant des moyens de fixation pour la fixation à une platine porte-échantillon du microscope électronique à balayage. Le dispositif comprend également une chambre à échantillon qui est fixée de manière amovible à l'élément de base et qui peut contenir un échantillon à examiner. La chambre à échantillon possède une ouverture pour l'introduction d'un faisceau d'électrons du microscope électronique à balayage dans la chambre à échantillon. Le dispositif comprend en outre un élément de fermeture qui est fixé de manière amovible à la chambre à échantillon et qui est conçu pour, dans un premier état de fonctionnement, fermer l'ouverture de la chambre à échantillon de manière étanche aux gaz et, dans un deuxième état de fonctionnement, ne pas recouvrir l'ouverture. L'élément de base et la chambre à échantillon sont couplés thermiquement, l'élément de base comprenant un élément de contrôle de la température destiné à régler une température dans la chambre à échantillon. La chambre à échantillon comprend en outre des raccords pour l'arrivée et l'évacuation de fluides liquides ou gazeux dans et hors de la chambre à échantillon.
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