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1. WO2020126073 - VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES LINEAR VARIABLEN OPTISCHEN FILTERS

Veröffentlichungsnummer WO/2020/126073
Veröffentlichungsdatum 25.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/025416
Internationales Anmeldedatum 22.11.2019
IPC
C23C 14/04 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
23Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
CBeschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
04Beschichten ausgewählter Oberflächenbereiche, z.B. unter Verwendung von Masken
G01J 3/12 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
12Erzeugen des Spektrums; Monochromatoren
C23C 14/10 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
23Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
CBeschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
06gekennzeichnet durch das Beschichtungsmaterial
10Glas oder Siliciumdioxid
C23C 14/08 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
23Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
CBeschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
06gekennzeichnet durch das Beschichtungsmaterial
08Oxide
CPC
C23C 14/042
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
042using masks
C23C 14/083
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
06characterised by the coating material
08Oxides
083of refractory metals or yttrium
C23C 14/10
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
06characterised by the coating material
10Glass or silica
G01J 3/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
12Generating the spectrum; Monochromators
Anmelder
  • OPTICS BALZERS AG [LI]/[LI]
Erfinder
  • GELDHAUSER, Tobias
  • GREUSSING, Petra
Vertreter
  • KEMPKENS, Anke
Prioritätsdaten
10 2018 133 062.620.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES LINEAR VARIABLEN OPTISCHEN FILTERS
(EN) METHOD FOR PRODUCING A LINEARLY VARIABLE OPTICAL FILTER
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN FILTRE OPTIQUE VARIABLE LINÉAIRE
Zusammenfassung
(DE)
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Verfahren zur Herstellung eines spektralen Gradientenfilters auf einem Substrat umfassend die Schritte: - Bereitstellen des Substrats mit einer ersten zu beschichtenden Oberfläche - Bereitstellen einer Schattenmaske die zumindest einen umrandeten Beschichtungsbereich mit einer Kante umfasst, wobei die Geometrie der Schattenmaske dem gewünschten Gradientenverlauf des Gradientenfilters angepasst ist - Erstellen eines maskierten Substrates durch Fixieren der Schattenmaske an der ersten zu beschichtenden Oberfläche des Substrates, dergestalt, dass Teile der Substratoberfläche bedeckt sind, die Substratoberfläche im Beschichtungsbereich jedoch im Wesentlichen frei liegt, - Einbringen des maskierten Substrats in eine Beschichtungsanlage, welche auf der Basis der physikalischen Abscheidung aus der Gasphase (PVD) beruht - Durchführung der PVD-Beschichtung dadurch gekennzeichnet, dass zumindest Teile der Schattenmaske direkt an der Oberfläche des Substrates aufliegen, so dass es im Bereich dieser Teile während der Beschichtung nicht zu einer Unterdampfung kommt und wobei die Schattenmaske lösbar mechanisch an das Substrat fixiert ist so dass die Schattenmaske für mehrere Beschichtungen verwendet werden kann.
(EN)
The present invention relates to a method for producing a spectral gradient filter on a substrate comprising the steps: - providing the substrate having a first surface to be coated; - providing a shadow mask which comprises at least one bordered coating region having an edge, wherein the geometry of the shadow mask is adjusted to the desired gradient profile of the gradient filter; - creating a masked substrate by fixing the shadow mask on the first surface to be coated of the substrate in such a manner that portions of the substrate surface are covered, but the substrate surface is substantially exposed in the coating region; - introducing the masked substrate into a coating machine which operates using physical deposition from the gaseous phase (PVD); - performing physical vapour deposition coating, characterized in that at least portions of the shadow mask lie directly on the surface of the substrate so that no vapour migration can occur in the region of said portions during the coating process and wherein the shadow mask is releasably mechanically fixed to the substrate so that the shadow mask can be used for a plurality of coatings.
(FR)
La présente invention concerne un procédé de fabrication d’un filtre à gradient spectral sur un substrat. Le procédé comprend les étapes suivantes : - l’utilisation du substrat ayant une première surface à revêtir ; - l’utilisation d’un masque d’ombre qui comporte au moins une zone de revêtement bordée ayant une arête, la géométrie du masque d’ombre étant adaptée au contour souhaité du gradient du filtre à gradient ; - la réalisation d’un substrat masqué par la fixation du masque d’ombre sur la première surface à revêtir du substrat au point que des parties de la surface du substrat sont recouvertes, toutefois la surface du substrat étant sensiblement libre dans la zone de revêtement ; - l’introduction du substrat masqué dans une installation de revêtement qui est basée sur le dépôt physique en phase vapeur (PVD) ; - l’exécution du revêtement par PVD caractérisée en ce qu’au moins des parties du masque d’ombre reposent directement sur la surface du substrat de sorte que, durant l’opération de revêtement, il ne se produit pas de vaporisation en dessous de ces parties. Le masque d’ombre est fixé mécaniquement de manière détachable au substrat de sorte qu’il peut être employé pour plusieurs opérations de revêtement.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten