In Bearbeitung

Bitte warten ...

Einstellungen

Einstellungen

Gehe zu Anmeldung

1. WO2020120685 - VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR OPTISCHEN CHARAKTERISIERUNG ODER BEARBEITUNG EINES OBJEKTS SOWIE OBJEKTTRANSPORTEINHEIT

Veröffentlichungsnummer WO/2020/120685
Veröffentlichungsdatum 18.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/084911
Internationales Anmeldedatum 12.12.2019
IPC
G02B 21/33 2006.01
GPhysik
02Optik
BOptische Elemente, Systeme oder Geräte
21Mikroskope
33Immersionsöle
G02B 21/34 2006.01
GPhysik
02Optik
BOptische Elemente, Systeme oder Geräte
21Mikroskope
34Objektträger, z.B. Aufbringen von Proben auf Objektträgern
G03F 7/20 2006.01
GPhysik
03Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
FFotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken ; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20Belichten; Vorrichtungen dafür
CPC
G02B 21/33
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21Microscopes
33Immersion oils ; , or microscope systems or objectives for use with immersion fluids
G02B 21/34
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21Microscopes
34Microscope slides, e.g. mounting specimens on microscope slides
G03F 7/2041
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20Exposure; Apparatus therefor
2041in the presence of a fluid, e.g. immersion; using fluid cooling means
G03F 7/70025
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
70008Production of exposure light, i.e. light sources
70025by lasers
G03F 7/70341
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
70216Systems for imaging mask onto workpiece
70341Immersion
Anmelder
  • KARLSRUHER INSTITUT FÜR TECHNOLOGIE [DE]/[DE]
  • VANGUARD PHOTONICS GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • LAUERMANN, Matthias
  • KOOS, Christian
  • DIETRICH, Philipp-Immanuel
Vertreter
  • STÖßEL, Matthias
Prioritätsdaten
10 2018 221 670.313.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR OPTISCHEN CHARAKTERISIERUNG ODER BEARBEITUNG EINES OBJEKTS SOWIE OBJEKTTRANSPORTEINHEIT
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR OPTICALLY CHARACTERIZING OR PROCESSING AN OBJECT, AND OBJECT TRANSPORT UNIT
(FR) ARRANGEMENT ET PROCÉDÉ DE CARACTÉRISATION OU DE TRAITEMENT OPTIQUE D'UN OBJET AINSI QU'UNITÉ DE TRANSPORT D'OBJET
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) und ein Verfahren zur optischen Charakterisierung oder Bearbeitung eines Objekts (60) sowie eine Objekttransporteinheit (55). Die Vorrichtung (10) umfasst : - einen Objektträger (50) zur Aufnahme eines Objekts (60); - eine optische Charakterisierungs- oder Bearbeitungs-Einheit (15), umfassend zumindest eine Einrichtung zur Erzeugung oder zum Empfang von Licht (140) und ein Objektiv (40) zur Belichtung des Objekts (60) mittels des Lichts (140) oder zur Erfassung des Lichts (140) von dem Objekt (60), wobei das Objektiv (40) eine dem Objektträger (50) zugewandte Endfläche (46) aufweist, wobei die Endfläche (46) über eine Berandung (47) verfügt, wobei das Objektiv (40) ferner eine optische Achse (502) festlegt; - mindestens eine zwischen dem Objektiv (40) und dem Objektträger (50) eingebrachte Membran (100), wobei die Membran (100) einen zur Durchdringung durch das Licht (140) eingerichteten Teilbereich (120) aufweist, wobei zumindest der Teilbereich (120) der Membran (100) beweglich in axialer Richtung in Bezug auf die optische Achse (502) ist, - mindestens eine Membranhalterung (80) zur Halterung der mindestens einen Membran (100), und - mindestens ein Immersionsmedium (160), welches zumindest zwischen der Membran (100) und dem Objektträger (50) eingebracht ist, wobei die Membran (100) und die Membranhalterung (80) an einer Stelle außerhalb des Objektivs befestigt sind, und wobei die Membran (100) derart an der Membranhalterung (80) angeordnet ist, dass erste Kontaktstellen (81) zwischen der Membran (100) und der Membranhalterung (80) auf oder außerhalb einer Mantelfläche (510) liegen, welche durch eine geometrische Extrusion der Berandung (47) des Objektivs (40) parallel zur optischen Achse (502) ausgebildet ist. Die Vorrichtung (10), das Verfahren und die Objekttransporteinheit (55) ermöglichen die optische Charakterisierung oder Bearbeitung eines Objekts (60) in einer Weise,die den besonderen Anforderungen industrieller Anwendungen mit hohem Durchsatz gerecht wird.
(EN)
The invention relates to an apparatus (10) and a method for optically characterizing or processing an object (60), and an object transport unit (55). The apparatus (10) comprises: - an object carrier (50) for receiving an object (60); - an optical characterization or processing unit (15) comprising at least one device for generating or receiving light (140) and an objective lens (40) for exposing the object (60) by means of the light (140) or for capturing the light (140) from the object (60), wherein the objective lens (40) has an end face (46) facing the object carrier (50), wherein the end face (46) has an edge (47) and wherein the objective lens (40) further sets an optical axis (502); - at least one membrane (100) introduced between the objective lens (40) and the object carrier (50), wherein the membrane (100) has a portion (120) configured for the passage of the light (140), wherein at least the portion (120) of the membrane (100) is movable in the axial direction with respect to the optical axis (502), - at least one membrane holder (80) for holding the at least one membrane (100), and - at least one immersion medium (160) which is at least introduced between the membrane (100) and the object carrier (50), wherein the membrane (100) and the membrane holder (80) are fastened to a point outside of the objective lens, and wherein the membrane (100) is disposed at the membrane holder (80) in such a way that first contact points (81) between the membrane (100) and the membrane holder (80) are on, or outside of, a lateral face (510), which is formed by a geometric extrusion of the edge (47) of the objective lens (40) parallel to the optical axis (502). The apparatus (10), the method and the object transport unit (55) facilitate the optical characterization or processing of an object (60) in a way that meets the particular demands of industrial applications with a high throughput.
(FR)
L'invention concerne un arrangement (10) et un procédé de caractérisation ou de traitement optique d'un objet (60) ainsi qu'une unité de transport d'objet (55). L'arrangement (10) comprend : un porte-objet (50) destiné à accueillir un objet (60); une unité de caractérisation ou de traitement optique (15) comprenant au moins un dispositif servant à générer ou à recevoir de la lumière (140) et un objectif (40) destiné à exposer l'objet (60) au moyen de la lumière (140) ou à détecter la lumière (140) en provenance de l'objet (60), l'objectif (40) possédant une surface d'extrémité (46) qui fait face au porte-objet (50), la surface d'extrémité (46) disposant d'une bordure (47) et l'objectif (40) spécifiant en outre un axe optique (502); au moins une membrane (100) insérée entre l'objectif (40) et le porte-objet (50), la membrane (100) possédant une zone partielle (120) conçue pour être traversée par la lumière (140) et au moins la zone partielle (120) de la membrane (100) étant mobile dans la direction axiale par rapport à l'axe optique (502); au moins une attache de membrane (80) destinée à maintenir ladite membrane (100); et au moins un milieu d'immersion (160), qui est incorporé au moins entre la membrane (100) et le porte-objet (50). La membrane (100) et l'attache de membrane (80) sont fixées à un endroit situé à l'extérieur de l'objectif, et la membrane (100) est disposée sur l'attache de membrane (80) de telle sorte que des premiers points de contact (81) entre la membrane (100) et l'attache de membrane (80) se trouvent sur ou à l'extérieur d'une enveloppe (510) qui est formée par une extrusion géométrique de la bordure (47) de l'objectif (40) parallèlement à l'axe optique (502). L'arrangement (10), le procédé et l'unité de transport d'objet (55) permettent la caractérisation ou le traitement optique d'un objet (60) d'une manière qui répond aux exigences particulières des applications industrielles à haut débit.
Auch veröffentlicht als
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten