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1. WO2020120510 - STIFTHUBVORRICHTUNG MIT TEMPERATURSENSOR

Veröffentlichungsnummer WO/2020/120510
Veröffentlichungsdatum 18.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/084516
Internationales Anmeldedatum 10.12.2019
IPC
H01L 21/687 2006.01
HElektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
683zum Aufnehmen oder Greifen
687mit mechanischen Mitteln, z.B. Halte-, Klemm- oder Pressvorrichtungen
CPC
H01L 21/68742
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
683for supporting or gripping
687using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
68714the wafers being placed on a susceptor, stage or support
68742characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
Anmelder
  • VAT HOLDING AG [CH]/[CH]
Erfinder
  • ESCHENMOSER, Adrian
  • DÜR, Michael
  • HOFER, Andreas
Vertreter
  • KAMINSKI HARMANN PATENTANWÄLTE AG
Prioritätsdaten
10 2018 009 630.111.12.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) STIFTHUBVORRICHTUNG MIT TEMPERATURSENSOR
(EN) PIN LIFTING DEVICE HAVING A TEMPERATURE SENSOR
(FR) DISPOSITIF DE LEVAGE DE TIGE À CAPTEUR THERMIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Stifthubvorrichtung (10), insbesondere Pin-Lifter, die zur Bewegung und Positionierung eines zu bearbeitenden Substrats in einem durch eine Vakuumprozesskammer bereitstellbaren Prozessatmosphärenbereich ausgebildet ist. Die Stifthubvorrichtung weist einen Kupplungsteil (31) auf, der eine zur Aufnahme eines zum Kontaktieren und Tragen des Substrats ausgestalteten Tragstifts ausgebildeten Kupplung (32) aufweist, und weist zudem einen Antriebsteil (11) auf, der eine Antriebseinheit (12) aufweist, die derart ausgebildet ist und mit der Kupplung (32) zusammenwirkt, dass die Kupplung (32) linear entlang einer Verstellachse (A) von einer abgesenkten Normalposition in eine ausgefahrene Trageposition und zurück verstellbar ist. Die Stifthubvorrichtung (10) weist mindestens einen Temperatursensor (41,42) auf, wobei der Temperatursensor (41,42) derart ausgebildet und angeordnet ist, dass mittels des Temperatursensors (41,42) ein eine thermische Information mit Bezug zu zumindest einem Teil der Stifthubvorrichtung (10) repräsentierendes Messsignal erzeugbar ist.
(EN)
The invention relates to a pin lifting device (10), in particular a pin lifter, which is designed to move and position a substrate, which is to be processed, in a process atmosphere region that can be provided by means of a vacuum process chamber. The pin lifting device comprises: a coupling part (31), which has a coupling (32) designed to receive a supporting pin, which is designed to contact and support the substrate; and a drive part (11), which has a drive unit (12), which is designed in such a way and interacts with the coupling (32) in such a way that the coupling (32) can be moved linearly along a movement axis (A) from a lowered normal position into an extended supporting position and back. The pin lifting device (10) has at least one temperature sensor (41, 42), the temperature sensor (41, 42) being designed and arranged in such a way that, by means of the temperature sensor (41, 42), a measurement signal representing thermal information in respect of at least one part of the pin lifting device (10) can be generated.
(FR)
L’invention concerne un dispositif de levage de tige (10), en particulier un lève-tige, conçu de manière à déplacer et à positionner un substrat à usiner dans une zone d’atmosphère de traitement pouvant être fournie par une chambre de traitement sous vide. Le dispositif de levage de tige présente une partie accouplement (31) qui comporte un accouplement (32) conçu de sorte à recevoir en tige de support destinée à faire contact avec le substrat, le dispositif de levage de tige présentant également une partie entraînement (11) qui comporte une unité d’entraînement (12), conçue et coopérant avec l’accouplement (32) de sorte que l’accouplement (32) se déplace de manière linéaire le long d’un axe de déplacement (A), d’une position normale abaissée à une position de support déployée et inversement. Le dispositif de levage de tige (10) présente au moins un capteur thermique (41, 42), ledit capteur thermique (41, 42) étant conçu et agencé de sorte qu’un signal de mesure représentant une information thermique en rapport avec au moins une partie du dispositif de levage de tige (10) peut être produit au moyen du capteur thermique (41, 42).
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