In Bearbeitung

Bitte warten ...

Einstellungen

Einstellungen

Gehe zu Anmeldung

1. WO2020120296 - SPEKTROMETERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SPEKTROMETERVORRICHTUNG

Anmerkung: Text basiert auf automatischer optischer Zeichenerkennung (OCR). Verwenden Sie bitte aus rechtlichen Gründen die PDF-Version.

[ DE ]

Beschreibung

Titel

Spektrometervorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Spektrometervorrichtung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Spektrometervorrichtung und ein Verfahren zum Herstellen einer Spektrometervorrichtung. Insbesondere betrifft die vorliegende

Erfindung eine als Fabry-Perot-Interferometer ausgestaltete Spektrometervorrichtung.

Stand der Technik

Optische Spektrometer dienen der Analyse von Lichtstrahlen durch Untersuchung des Spektrums. Aus der DE 196 81 285 TI ist ein Zusatzgerät für Infrarot-Mikrospektrometer bekannt. Insbesondere ist dort ein Innenreflexionselement offenbart, welches die Notwendigkeit zur Steuerung des Winkels der einfallenden Strahlung durch die optische Ausführung des Objektivs reduziert. Die DE 10 2005 055 860 B3 offenbart eine

Gassensoranordnung mit einem Hohlspiegel, welcher durch eine reflektierende

Innenwandung des Gehäuses gebildet ist, und eine gesteigerte Lichtausbeute sicherstellt.

Die Spektralanteile des Lichtstrahls können mittels Interferometer und einer

Detektionseinrichtung bestimmt werden. Die hierbei verwendeten optischen

Interferenzfilter weisen Transmissionseigenschaften auf, die einfallswinkelabhängig sind. Insbesondere hängt die transmittierte Zentralwellenlänge von dem Einfallswinkel des Lichtstrahls ab. Je größer der Einfallswinkel des Lichtstrahls gegenüber der Senkrechten ist, desto mehr verschiebt sich die transmittierte Zentral weilenlänge. Für eine gute Auflösung bzw. Halbwertsbreite des durch das spektrale Element transmittierten Lichts ist daher eine Beschränkung des von dem Detektor erfassbaren Winkelbereichs notwendig. Eine mögliche Beschränkung des Winkelbereichs kann mithilfe einer Apertur erfolgen, wie aus der WO 17057372 Al bekannt. Alternativ können Linsen verwendet werden, welche Lichtstrahlen mit demselben Einfallswinkel auf die gleiche Position in der fokalen Ebene abbilden. Durch geeignete Wahl der Größe des Detektors wird lediglich Licht aus einem gewünschten Einfallswinkelintervall detektiert. Eine derartige Anordnung ist aus der US 2016/0112776 Al bekannt.

Offenbarung der Erfindung

Die Erfindung stellt eine Spektrometervorrichtung mit den Merkmalen des

Patentanspruchs 1 und ein Verfahren zum Herstellen einer Spektrometervorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 11 bereit.

Bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der jeweiligen Unteransprüche.

Gemäß einem ersten Aspekt betrifft die Erfindung demnach eine

Spektrometervorrichtung mit einem optischen Interferenzfilter, einer Detektoreinrichtung und einer Fokussiereinrichtung. Das optische Interferenzfilter ist dazu ausgebildet, bestimmte Wellenlängenbereiche eines einfallenden Lichtstrahls beim Durchgang durch das optische Interferenzfilter zu filtern. Die Detektoreinrichtung ist dazu ausgebildet, den gefilterten Lichtstrahl zu detektieren. Die Fokussiereinrichtung weist eine reflektierende Oberfläche auf und ist dazu ausgebildet, den gefilterten Lichtstrahl durch Reflexion an der Oberfläche auf die Detektoreinrichtung zu fokussieren.

Gemäß einem zweiten Aspekt betrifft die Erfindung demnach ein Verfahren zum Herstellen einer Spektrometervorrichtung. Ein optisches Interferenzfilter wird bereitgestellt, welches dazu ausgebildet ist, bestimmte Wellenlängenbereiche eines einfallenden Lichtstrahls beim Durchgang durch das optische Interferenzfilter zu filtern. Weiter wird eine Detektoreinrichtung bereitgestellt, welche dazu ausgebildet ist, den gefilterten Lichtstrahl zu detektieren. Schließlich wird eine Fokussiereinrichtung bereitgestellt, welche eine reflektierende Oberfläche aufweist. Die Fokussiereinrichtung, die Detektoreinrichtung und das optische Interferenzfilter werden derart zueinander angeordnet, dass die Fokussiereinrichtung den gefilterten Lichtstrahl auf die

Detektoreinrichtung fokussiert.

Vorteile der Erfindung

Die erfindungsgemäße Spektrometervorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass sie sehr kompakt gebaut werden kann, d.h. eine sehr geringe Bauhöhe aufweisen kann. Grund ist, dass auf zusätzliche Linsenelemente verzichtet werden kann und die Fokussierung des gefilterten Lichtstrahls durch die reflektierende Oberfläche der Fokussiereinrichtung erfolgt, welche mit geringer Bauhöhe bzw. einer geringen Bauhöhe bei großer

Eingangsapertur ausgestaltet werden kann. Weiter kann ein optisches Interferenzfilter mit großer Eingangsapertur bei guter Einfallswinkellimitierung genutzt werden. Insgesamt kann dadurch eine hohe Lichteffizienz und ein gutes Signal-zu-Rausch-Verhältnis der Spektrometervorrichtung erreicht werden. Aufgrund der verbesserten

Winkeleinschränkung, d.h. der Limitierung des detektierten Einfallwinkelbereichs kann auch eine hohe Auflösung erreicht werden.

Ein weiterer Vorteil der Verwendung einer reflektierenden Oberfläche gegenüber der Verwendung einer Linse besteht in der praktisch zu vernachlässigenden chromatischen Aberration von reflektierenden Oberflächen, etwa von Metallspiegeln. Dadurch ist es möglich, die Einschränkung des Einfallswinkels mit hoher Qualität über einen breiten Wellenlängenbereich zu gewährleisten. Weiter ist die Absorption von reflektierenden Oberflächen deutlich geringer als die Absorption von Linsenelementen, welche in bestimmten Wellenlängenbereichen je nach Linsenmaterial signifikant sein kann.

Dadurch kann durch die Verwendung von reflektierenden Oberflächen möglichst viel Licht detektiert werden.

Weiter sind die verwendeten Komponenten der Spektrometervorrichtung mit geringem Justageaufwand zusammenzufügen, sodass die Herstellungskosten gering gehalten werden können.

Schließlich ist es möglich, eine kleine und kostengünstige Detektoreinrichtung zu verwenden, ohne dass die Lichtausbeute verringert wird. Trotz der hohen Lichteffizienz können somit gleichzeitig die Kosten gesenkt werden.

Im Gegensatz zu einer Verwendung von Linsen kommt die erfmdungsgemäße

Spektrometervorrichtung mit einer geringeren Anzahl von Grenzflächen aus, welche der Lichtstrahl passiert, bevor er von der Detektoreinrichtung erfasst wird. Möglicherweise auftretende Reflexionsverluste werden dadurch verringert.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Spektrometervorrichtung ist die

Detektoreinrichtung auf einer Lichtaustrittsseite des optischen Interferenzfilters, auf welcher der Lichtstrahl nach dem Durchgang durch das Interferenzfilter austritt, in das optische Interferenzfilter integriert. Die Detektoreinrichtung kann auch direkt an dem optischen Interferenzfilter angeordnet sein. Schließlich kann die Detektoreinrichtung mittelbar an dem Interferenzfilter angeordnet sein, wobei beispielweise zusätzliche Schichten zwischen Detektoreinrichtung und Interferenzfilter ausgebildet sein können.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Spektrometervorrichtung überlappt die Detektoreinrichtung zumindest teilweise mit einer durch ein Zentrum des optischen Interferenzfilters verlaufenden Achse. Die Spektrometervorrichtung kann beispielsweise einen kreisförmigen oder quadratischen Querschnitt aufweisen und die

Detektoreinrichtung ist an einer Position entlang der Achse durch das Zentrum des kreisförmigen oder quadratischen Querschnitts angeordnet. Die Detektoreinrichtung und das Interferenzfilter sind symmetrisch aufgebaut, sodass auch die Fokussiereinrichtung symmetrisch aufgebaut sein kann. Die Fokussiereinrichtung kann etwa die Form eines symmetrisch zu der Achse ausgestalteten Parabolspiegels aufweisen, welcher die Lichtstrahlen auf die entlang der Achse angeordnete Detektoreinrichtung fokussiert.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Spektrometervorrichtung weist die Spektrometervorrichtung weiter eine Trägereinrichtung auf. Das optische

Interferenzfilter, die Detektoreinrichtung und die Fokussiereinrichtung sind direkt oder mittelbar an der Trägereinrichtung angeordnet. Insbesondere können das optische Interferenzfilter und die Fokussiereinrichtung direkt an der Trägereinrichtung angeordnet sein. Weiter können die elektrischen Verbindungen bzw. Verdrahtungen des optischen Interferenzfilters, der Detektoreinrichtung und der Fokussiereinrichtung auf der

Trägereinrichtung angeordnet oder zumindest teilweise in diese integriert sein.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Spektrometervorrichtung ist die

Detektoreinrichtung auf der Lichtaustrittsseite des optischen Interferenzfilters direkt an dem optischen Interferenzfilter angeordnet, d.h. mittelbar an der Trägereinrichtung befestigt.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Spektrometervorrichtung ist die

Detektoreinrichtung auf der Lichtaustrittsseite des optischen Interferenzfilters benachbart zu dem Interferenzfilter an der Trägereinrichtung angeordnet. Dadurch können

Abschattungen durch die Detektoreinrichtung vermieden werden.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Spektrometervorrichtung umfasst die Trägereinrichtung mindestens ein Beabstandungselement, welches die

Fokussiereinrichtung mit dem optischen Interferenzfilter verbindet und die

Fokussiereinrichtung und das optische Interferenzfilter voneinander beabstandet. Das mindestens eine Beabstandungselement weist zumindest bereichsweise eine vorzugsweise breitbandig absorbierende Beschichtung auf. Durch die absorbierende Beschichtung wird mögliche Quer- oder Rückstrahlung verhindert und dadurch das Signal-zu-Rausch-Verhältnis verbessert.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Spektrometervorrichtung weist ein der Detektoreinrichtung benachbarter Oberflächenabschnitt des optischen Interferenzfilters und/oder der Trägereinrichtung zumindest bereichsweise eine vorzugsweise breitbandige absorbierende Beschichtung auf. Alternativ oder zusätzlich kann ein

Oberflächenabschnitt der Detektoreinrichtung eine absorbierende Beschichtung aufweisen. Insbesondere kann die Detektoreinrichtung einen typischerweise zentral angeordneten aktiven Bereich aufweisen, welcher zur Detektion ausgebildet ist, sowie einen diesen Bereich umgebenden inaktiven Randbereich, welcher vollständig oder zumindest teilweise die absorbierende Beschichtung aufweisen kann. Die absorbierende Beschichtung dient ebenfalls der Verringerung von Quer- und Rückstrahlung. Weiter werden Lichtstrahlen, die unter einem größeren Einfallswinkel durch das Interferenzfilter durchgehen und von der Fokussiereinrichtung nicht auf die Detektoreinrichtung fokussiert werden, d.h. außerhalb des Erfassungsbereichs der Spektrometervorrichtung liegen, von der absorbierenden Beschichtung absorbiert. Dadurch kann ein schmaler und wohldefinierter Einfallswinkelbereich von der Spektrometervorrichtung erfasst werden.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Spektrometervorrichtung weist die

Detektoreinrichtung einen Ringdetektor, segmentierte Detektorelemente und/oder arrayförmig angeordnete Detektorelemente auf. Dadurch ist es möglich, verschiedene Winkelintervalle oder unterschiedliche Wellenlängenbereiche zu detektieren. Mithilfe von arrayförmig angeordneten Detektorelementen lassen sich wertvolle zusätzliche Informationen über eine Probe, etwa die Oberflächenbeschaffenheit der Probe, ermitteln.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Spektrometervorrichtung weist die

Detektoreinrichtung mindestens zwei gestapelte Detektorelemente auf, wobei die Detektorelemente jeweils für unterschiedliche Wellenlängenbereiche sensitiv sind.

Hierunter können insbesondere Detektorelemente verstanden werden, welche für

Wellenlängenbereiche sensitiv sind, welche sich nicht überlappen. Eine teilweise Überlappung der Wellenlängenbereiche ist jedoch ebenfalls möglich.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Spektrometervorrichtung ist das optische Interferenzfilter als Fabry-Perot-Interferenzfilter ausgebildet.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Spektrometervorrichtung umfasst die Detektoreinrichtung mindestens eine Fotodiode, insbesondere eine InGaAs-Fotodiode, eine Si-Fotodiode, eine Ge-Fotodiode, eine ExInGaAs-Fotodiode oder einen

Quantenpunkt-Detektor.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Es zeigen:

Figur 1 eine schematische Querschnittsansicht einer Spektrometervorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung;

Figur 2 eine schematische Querschnittsansicht einer Spektrometervorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;

Figur 3 eine schematische Querschnittsansicht einer Spektrometervorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung;

Figur 4 eine schematische Querschnittsansicht einer Spektrometervorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung; und Figur 5 ein Flussdiagramm zur Erläuterung eines Verfahrens zum Herstellen einer Spektrometervorrichtung gemäß einer Ausführungsform der

Erfindung.

In allen Figuren sind gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente und Vorrichtungen mit denselben Bezugszeichen versehen. Die Nummerierung von Verfahrensschritten dient der Übersichtlichkeit und soll im Allgemeinen keine bestimmte zeitliche Reihenfolge implizieren. Insbesondere können auch mehrere Verfahrensschritte gleichzeitig durchgeführt werden.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele

Figur 1 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer Spektrometervorrichtung la, welche eine Trägervorrichtung 6a aufweist, welche wiederum ein Substrat 61 umfasst, in welches ein optisches Interferenzfilter 2 bzw. spektrales Element integriert ist. Die Trägervorrichtung 6a umfasst weiter Halteelemente 62, welche eine Fokussiereinrichtung 4a halten.

Bei dem optischen Interferenzfilter 2 handelt es sich um ein vorzugsweise

mikromechanisch hergestelltes Fabry-Perot-Interferenzfriter. Das optische

Interferenzfilter umfasst zwei relativ zueinander beabstandete und relativ zueinander aktuierbare Spiegel. Je nach Einfallswinkel der Lichtstrahlen L auf das optische

Interferenzfdter 2 werden Lichtstrahlen L mit einer sich leicht unterscheidenden

Zentralwellenlänge durchgelassen. Die Zentralwellenlänge hängt darüber hinaus von dem Abstand der beiden Spiegel zueinander ab. Vorzugsweise weist das optische

Interferenzfdter 2a eine einseitige oder besonders bevorzugt beidseitige Verkapselung auf. Gemäß weiteren Ausführungsformen sind jedoch auch optische Interferenzfdter 2 anderer Bauart und Wirkweise möglich.

An einer Lichtaustrittsseite des optischen Interferenzfdters 2 ist in mittiger Position eine Detektoreinrichtung 3 angeordnet. Die Detektoreinrichtung 3 ist direkt mit dem optischen Interferenzfdter 2 verbunden, etwa durch eine Klebeverbindung oder eine

Bondverbindung. Die Detektoreinrichtung 3 kann beispielsweise auf einer Kappe des optischen Interferenzfdters 2 angebracht sein. Die Detektoreinrichtung 3 kann mindestens eine Fotodiode als Detektorelement aufweisen, welche in Abhängigkeit der Intensität der einfallenden Lichtstrahlen L einen Fotostrom erzeugt, welcher gemessen und weiter ausgewertet werden kann. Die Spektrometervorrichtung la kann in Abhängigkeit des Fotostroms ein Messsignal ausgegeben. Gemäß weiteren Ausführungsformen kann die Detektoreinrichtung 3 eine Vielzahl von Detektorelementen aufweisen, welche vorzugsweise bei verschiedenen Wellenlängen sensitiv sind. Weiter kann ein

Ringdetektor vorgesehen sein, welcher symmetrisch um die Mitte der Eingangsapertur des optischen Interferenzfdters 2, d.h. um eine Achse durch das Zentrum des optischen Interferenzfdters 2 herum angeordnet ist. Weiter kann die Detektoreinrichtung 3 mindestens ein segmentiertes Detektorelement aufweisen. Durch die Verwendung von Ringdetektoren oder segmentierten Detektorelementen können mehrere Winkelintervalle und/oder unterschiedliche Wellenlängenbereiche detektiert werden. Zum Erfassen unterschiedlicher Wellenlängenbereiche kann die Detektoreinrichtung 3 auch gestapelte

Detektoren, d.h. Dualdetektoren aufweisen. Das Material der Detektorelemente der Detektoreinrichtung 3 kann beispielsweise Silizium Si, Indiumgalliumarsenid InGaAs, Germanium Ge oder Bleiselenid PbSe umfassen. Weiter sind auf Quantenpunkten basierende Detektormaterialen möglich oder Dualdetektoren mit InGaAs+Si

Materialkombinationen. Neben Einzeldetektoren kann die Detektoreinrichtung 3 auch Arraydetektoren umfassen. Weiter kann die Detektoreinrichtung 3 zusätzliche

Abbildungsoptiken umfassen.

Die Fokussiereinrichtung 4a ist als Parabolspiegel mit Brennweite f ausgestaltet. Die Detektoreinrichtung ist in der Mitte der Eingangsapertur des optischen Interferenzfilters 2, d.h. im Fokuspunkt der symmetrisch ausgestalteten Fokussiereinrichtung 4a angeordnet, d.h. die Fokussiereinrichtung 4a fokussiert Fichtstrahlen F, welche durch das optische Interferenzfdter 2 hindurch treten und deren Einfallswinkel einen vorgegebenen Schwellenwert nicht überschreitet, auf die Detektoreinrichtung 3. Fichtstrahlen F mit einem höheren Einfallswinkel werden in einen Bereich neben der Detektoreinrichtung 3 abgelenkt. Bevorzugt ist in diesem Bereich neben der Detektoreinrichtung 3 auf der Rückseite bzw. Fichtaustrittsseite des optischen Interferenzfilters 2 eine Beschichtung aus einem absorbierenden Material aufgebracht, welches die Fichtstrahlen F absorbiert. Die Fokussiereinrichtung 4a kann eine Beschichtung mit einem reflektierenden Material, insbesondere Silber, Gold oder Aluminium aufweisen. Zusätzlich kann mindestens eine Schutzschicht vorgesehen sein. Insbesondere kann die Fokussiereinrichtung 4a als beschichtetes oder bedampftes Spritzgussteil ausgebildet sein. Gemäß weiteren

Ausführungsformen kann die Fokussiereinrichtung 4a gedrehte oder gefräste Teile, insbesondere aus Aluminium umfassen. Die Fokussiereinrichtung 4a kann anstelle oder zusätzlich zu reflektierenden fokussierenden Spiegeln auch weitere reflektierende optische Komponenten wie reflektierende sogenannte Metasurfaces umfassen.

In Abhängigkeit der nutzbaren Apertur a des optischen Interferenzfilters 2 bzw. des nutzbaren Durchmessers der Fokussiereinrichtung 4a, der Brennweite der

Fokussiereinrichtung f und der Größe des sensitiven Bereichs der Detektoreinrichtung 3 wird das detektierbare Einfallswinkelintervall eingeschränkt und somit die Auflösung der Spektrometervorrichtung la eingestellt bzw. optimiert.

Figur 2 zeigt eine Spektrometervorrichtung lb, welche eine Abwandlung einer oben beschriebenen Spektrometervorrichtung la darstellt und sich in der Ausgestaltung der

Trägereinrichtung 6b unterscheidet. Demnach umfasst die Trägereinrichtung 6b

Beabstandungselemente 7, welche die Fokussiereinrichtung 4a mit dem optischen Interferenzfilter 2 verbinden und diese Elemente voneinander beabstandet. Die

Trägereinrichtung 6b kann insbesondere zylinderförmig ausgestaltet sein. Die

Beabstandungselemente 7 weisen vorzugsweise auf ihrer Innenseite eine absorbierende Beschichtung auf, welche mögliches Streulicht absorbiert. Bei den

Beabstandungselementen 7 kann es sich um eine zusätzliche Schicht bzw. einen

Schichtstapel handeln oder um ein über eine Klebeverbindung oder eine Bondverbindung verbundenes Element, etwa einen Wafer. Gemäß weiteren Ausführungsformen kann das Fokussierelement 4a direkt mit dem optischen Interferenzfilter 2 verbunden sein, etwa über eine Klebeverbindung bzw. Bondverbindung.

Figur 3 zeigt eine weitere Spektrometervorrichtung lc, welche eine Abwandlung der oben beschriebenen Spektrometervorrichtungen la, lb darstellt. Die Trägereinrichtung 6c kann einer der oben beschriebenen Trägereinrichtungen 6a, 6b entsprechen. Im

Unterschied zu den oben abgebildeten Spektrometervorrichtungen la, lb ist die

Fokussiereinrichtung 4c asymmetrisch, beispielweise als sogenannter Off-Axis-Reflektor, ausgestaltet, d.h. der Brennpunkt der Fokussiereinrichtung 4c liegt nicht im Zentrum des optischen Interferenzfilters 2 sondern in einem Bereich außerhalb des optischen

Interferenzfilters 2. Entsprechend ist die Detektoreinrichtung 3 an der Trägereinrichtung 6c außerhalb des optischen Interferenzfilters 2 an einer der Fokussiereinrichtung 4c zugewandten Seite angeordnet, wobei die Fokussiereinrichtung 4c den Lichtstrahl L nach dem Durchgang durch das optische Interferenzfdter 2 auf die Detektoreinrichtung 3 fokussiert. Indem die Detektoreinrichtung 3 neben dem optischen Interferenzfdter 2 angeordnet ist, können Abschattungen durch die Detektoreinrichtung 3 sowie durch Zuleitungen der Detektoreinrichtung 3 vermieden werden, was insbesondere bei kleineren Eingangsaperturen trotz des aufgrund der schlechteren Lichteffizienz oder der größeren Bauhöhe schlechteren Verhältnisses von Eingangsapertur a zu Brennweite f sowie den erhöhten Reflexionsverlusten bei der Lichteinkopplung in die Detektoreinrichtung 3 dennoch vorteilhaft sein kann.

Figur 4 zeigt eine Querschnittsansicht einer weiteren Spektrometervorrichtung ld, welche eine Abwandlung der in Figur 3 gezeigten Spektrometervorrichtung lc ist. Das

Trägerelement 6d weist gemäß dieser Ausführungsform eine Hausung 63 des optischen Interferenzfilters 2 sowie eine Trägerplatte 64 auf, wobei die Detektoreinrichtung 3 an einer der symmetrischen Fokussiereinrichtung 4c zugewandten Seite der Trägerplatte 64 angeordnet ist.

In Figur 5 ist ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Herstellen einer

Spektrometervorrichtung, insbesondere einer der oben beschriebenen

Spektrometervorrichtungen la, lb, lc, ld illustriert.

In einem ersten Schritt S1 wird ein optisches Interferenzfilter 2 bereitgestellt, wobei es sich bei dem optischen Interferenzfilter 2 insbesondere um ein Interferenzfilter für ein Fabry-Perot-Interferometer handeln kann. Das optische Interferenzfilter 2 wird derart ausgestaltet, dass bestimmte Wellenlängenbereiche eines einfallenden Lichtstrahls L beim Durchgang durch das optische Interferenzfilter 2 gefiltert werden.

In einem weiteren Verfahrensschritt S2 wird eine Detektoreinrichtung 3 bereitgestellt, welche dazu ausgebildet ist, den gefilterten Lichtstrahl L zu detektieren. Insbesondere können das optische Interferenzfilter 2 und die Detektoreinrichtung 3 an einer gemeinsamen Trägereinrichtung 6 angeordnet werden. Die Detektoreinrichtung 3 kann auch direkt an dem optischen Interferenzfilter 2 angeordnet werden, gegebenenfalls mittels zusätzlicher Zwischenschichten.

In einem Verfahrensschritt S3 wird eine Fokussiereinrichtung 4a, 4c bereitgestellt, welche eine reflektierende Oberfläche 5 aufweist. Die Fokussiereinrichtung 4a, 4c kann symmetrisch oder asymmetrisch ausgestaltet sein, wobei die Anordnung von

Fokussiereinrichtung 4a, 4c, Detektoreinrichtung 3 und optischem Interferenzfilter 2 derart erfolgt, dass ein von dem optischen Interferenzfilter 2 gefilterter Lichtstrahl L mittels der Fokussiereinrichtung 4a, 4c auf die Detektoreinrichtung 3 fokussiert wird.

Die Verfahrensschritte Sl, S2, S3 können in beliebiger Reihenfolge und insbesondere auch gleichzeitig durchgeführt werden.