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1. WO2020120296 - SPEKTROMETERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SPEKTROMETERVORRICHTUNG

Anmerkung: Text basiert auf automatischer optischer Zeichenerkennung (OCR). Verwenden Sie bitte aus rechtlichen Gründen die PDF-Version.

[ DE ]

Ansprüche

1. Spektrometervorrichtung (la; lb; lc; ld), mit:

einem optischen Interferenzfilter (2), welches dazu ausgebildet ist, bestimmte Wellenlängenbereiche eines einfallenden Lichtstrahls (L) beim Durchgang durch das optische Interferenzfilter (2) zu filtern;

einer Detektoreinrichtung (3), welche dazu ausgebildet ist, den gefilterten Lichtstrahl (L) zu detektieren; und

einer Fokussiereinrichtung (4a; 4c) mit einer reflektierenden Oberfläche (5), wobei die Fokussiereinrichtung (4a; 4c) dazu ausgebildet ist, den gefilterten Lichtstrahl (L) durch Reflexion an der Oberfläche (5) auf die Detektoreinrichtung (3) zu fokussieren.

2. Spektrometervorrichtung (la; lb; lc; ld) gemäß Anspruch 1, wobei die

Detektoreinrichtung (3) auf einer Lichtaustrittsseite des Interferenzfilters (2) in das Interferenzfilter (2) integriert oder direkt oder mittelbar an dem

Interferenzfilter (2) angeordnet ist.

3. Spektrometervorrichtung (la; lb) gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die

Detektoreinrichtung (3) zumindest teilweise mit einer durch ein Zentrum des optischen Interferenzfilters (2) verlaufenden Achse (A) überlappt.

4. Spektrometervorrichtung (la; lb; lc; ld) gemäß einem der vorangehenden

Ansprüche, mit einer Trägereinrichtung (6a; 6b; 6c; 6d), wobei das optische Interferenzfilter (2), die Detektoreinrichtung (3) und die Fokussiereinrichtung (4a; 4c) direkt oder mittelbar an der Trägereinrichtung (6a; 6b; 6c; 6d) angeordnet sind.

5. Spektrometervorrichtung (lc; ld) gemäß Anspruch 4, wobei die

Detektoreinrichtung (3) auf einer Lichtaustrittsseite des optischen

Interferenzfilters (2) benachbart zu dem Interferenzfilter (2) an der

Trägereinrichtung (6c; 6d) angeordnet ist.

6. Spektrometervorrichtung (lb) gemäß Anspruch 4 oder 5, wobei die

Trägereinrichtung (6b) mindestens ein Beabstandungselement (7) umfasst, welches die Fokussiereinrichtung (4a) mit dem optischen Interferenzfilter (2) verbindet und diese voneinander beabstandet, wobei das mindestens eine Beabstandungselement (7) zumindest bereichsweise eine absorbierende

Beschichtung aufweist.

7. Spektrometervorrichtung (la; lb; lc; ld) gemäß einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei ein Oberflächenabschnitt der Detektoreinrichtung (3) und/oder ein der Detektoreinrichtung (3) benachbarter Oberflächenabschnitt des Interferenzfdters (2) und/oder der Trägereinrichtung (6a; 6b; 6c; 6d) zumindest bereichsweise eine absorbierende Beschichtung aufweist.

8. Spektrometervorrichtung (la; lb; lc; ld) gemäß einem der vorangehenden

Ansprüche, wobei die Detektoreinrichtung (3) einen Ringdetektor, segmentierte Detektorelemente und/oder arrayförmig angeordnete Detektorelemente aufweist.

9. Spektrometervorrichtung (la; lb; lc; ld) gemäß einem der vorangehenden

Ansprüche, wobei die Detektoreinrichtung (3) mindestens zwei gestapelte Detektorelemente aufweist, welche für unterschiedliche Wellenlängenbereiche sensitiv sind.

10. Spektrometervorrichtung (la; lb; lc; ld) gemäß einem der vorangehenden

Ansprüche, wobei das optische Interferenzfilter (2) als Fabry-Perot- Interferenzfilter ausgebildet ist.

11. Verfahren zum Herstellen einer Spektrometervorrichtung (la; lb; lc; ld), mit den Schritten:

Bereitstellen (Sl) eines optischen Interferenzfdters (2), welches dazu ausgebildet ist, bestimmte Wellenlängenbereiche eines einfallenden Lichtstrahls (L) beim Durchgang durch das optische Interferenzfilter (2) zu filtern;

Bereitstellen (S2) einer Detektoreinrichtung (3), welche dazu ausgebildet ist, den gefilterten Lichtstrahl (L) zu detektieren; und

Bereitstellen (S3) einer Fokussiereinrichtung (4a; 4c) mit einer reflektierenden Oberfläche (5), wobei die Fokussiereinrichtung (4a; 4c), die Detektoreinrichtung

(3) und das optische Interferenzfilter (2) derart zueinander angeordnet werden, dass die Fokussiereinrichtung (4a; 4c) den gefilterten Lichtstrahl (L) auf die Detektoreinrichtung (3) fokussieren kann.