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1. WO2020109399 - VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERMESSUNG VON HALBLEITERBASIERTEN LICHTQUELLEN

Veröffentlichungsnummer WO/2020/109399
Veröffentlichungsdatum 04.06.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/082766
Internationales Anmeldedatum 27.11.2019
IPC
G01J 1/46 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
1Fotometrie, z.B. fotografische Belichtungsmessgeräte
42durch elektrische Strahlungsdetektoren
44Elektrische Schaltungen
46durch einen Kondensator
G01J 1/04 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
1Fotometrie, z.B. fotografische Belichtungsmessgeräte
02Einzelheiten
04Optischer oder mechanischer Teil
G01J 1/16 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
1Fotometrie, z.B. fotografische Belichtungsmessgeräte
10durch Vergleich mit einem Bezugslicht oder einem elektrischen Wert
16durch elektrische Strahlungsdetektoren
G01R 31/26 2020.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
RMessen elektrischer Größen; Messen magnetischer Größen
31Anordnungen zum Prüfen auf elektrische Eigenschaften; Anordnungen zur Bestimmung des Ortes elektrischer Fehler; Anordnungen zum elektrischen Prüfen, gekennzeichnet durch den zu prüfenden Gegenstand, soweit nicht anderweitig vorgesehen
26Prüfen von einzelnen Halbleiter-Elementen
G01J 1/42 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
1Fotometrie, z.B. fotografische Belichtungsmessgeräte
42durch elektrische Strahlungsdetektoren
G01J 1/44 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
1Fotometrie, z.B. fotografische Belichtungsmessgeräte
42durch elektrische Strahlungsdetektoren
44Elektrische Schaltungen
CPC
G01J 1/0425
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
02Details
04Optical or mechanical part ; supplementary adjustable parts
0407Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
0425using optical fibers
G01J 1/0488
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
02Details
04Optical or mechanical part ; supplementary adjustable parts
0488with spectral filtering
G01J 1/1626
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
10by comparison with reference light or electric value ; provisionally void
16using electric radiation detectors
1626Arrangements with two photodetectors, the signals of which are compared
G01J 1/46
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
42using electric radiation detectors
44Electric circuits
46using a capacitor
G01J 2001/0481
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
02Details
04Optical or mechanical part ; supplementary adjustable parts
0481Preset integrating sphere or cavity
G01J 2001/1636
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
10by comparison with reference light or electric value ; provisionally void
16using electric radiation detectors
1626Arrangements with two photodetectors, the signals of which are compared
1636one detector directly monitoring the source, e.g. also impulse time controlling
Anmelder
  • INSTRUMENT SYSTEMS OPTISCHE MESSTECHNIK GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • HÄRING, Reto
  • RIXNER, Christian
  • SCHEWE, Florian
  • SADOWSKI, Siegbert
  • GAVRAILOV, Angel
  • DOTZLER, Christian
  • MANGSTL, Martin
Vertreter
  • SCHNEIDERS & BEHRENDT PARTMBB
  • ISFORT, Olaf
Prioritätsdaten
10 2018 130 006.927.11.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERMESSUNG VON HALBLEITERBASIERTEN LICHTQUELLEN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR MEASURING SEMICONDUCTOR-BASED LIGHT SOURCES
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE SOURCES LUMINEUSES À SEMI-CONDUCTEUR
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur sequentiellen Vermessung einer Vielzahl von halbleiterbasierten Lichtquellen wie LEDs, OLEDs oder VCSEL, insbesondere vergleichsweise lichtschwachen Lichtquellen wie sogenannten Micro-LEDs. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, das schneller, präziser und sensitiver arbeitet als die bekannten Verfahren, die abtastend mit einer Photodiode oder mit einem Spektrometer arbeiten. Das erfindungsgemäße Verfahren schlägt hierzu vor, dass die lichtschwachen Lichtquellen nacheinander oder gleichzeitig mittels einer gepulsten Stromquelle (1) mit einem Strompuls beaufschlagt werden. Der abgestrahlte Lichtpuls der LED (2) wird mittels einer Photodiode (2) in elektrische Ladungsträger umgewandelt, die elektrischen Ladungsträger werden mittels einer Integratorschaltung (5) aufsummiert, die aufsummierten werden Ladungsträger mittels eines A/D-Wandlers (6) in ein digitales Signal umgewandelt und das digitale Signal wird an eine Mess- und Steuereinheit (7) weitergeleitet. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren und eine entsprechende Vorrichtung zur sequentiellen Vermessung einer Vielzahl optischer Pulse, wobei die gepulste Lichtstrahlung über eine Eingangsöffnung (11) in eine Ulbricht-Kugel (10) eintritt, ein erster Teil der Lichtstrahlung, der die Ulbricht-Kugel (10) nach Wechselwirkung mit derselben durch eine erste Ausgangsöffnung verlässt, mittels eines ersten Detektors (14, 18) vermessen wird und ein zweiter Teil der Lichtstrahlung, der die Ulbricht-Kugel (10) ohne Wechselwirkung mit derselben durch eine zweite Ausgangsöffnung (19) verlässt, mittels eines zweiten Detektors (14') vermessen wird.
(EN)
The invention relates to a method for the sequential measurement of a plurality of semiconductor-based light sources such as LEDs, OLEDs or VCSEL, more particularly comparatively low-luminosity light sources such as those known as micro-LEDs. The invention further relates to a device for carrying out the method. The present invention addresses the problem of providing a method that is faster, more accurate and more sensitive than the known methods, which operate by scanning with a photodiode or a spectrometer. The method according to the invention proposes that a current pulse is applied, by means of a pulsed current source (1), to the low-luminosity light sources consecutively or simultaneously. The emitted light pulse of the LED (2) is converted into electric charge carriers by means of a photodiode (2), the electric charge carriers are added together by means of an integrator circuit (5), the added-together charge carriers are converted by means of a A/D converter (6) into a digital signal, and the digital signal is forward to a measurement and control unit (7). The invention further relates to a method and a corresponding device for the sequential measurement of a plurality of optical pulses, wherein the pulsed light radiation enters an Ulbricht-sphere (10) through an inlet opening (11), a first part of the light radiation, which exits the Ulbricht-sphere (10) after interaction with same through a first outlet opening, is measured by means of a first detector (14, 18), and a second part of the light radiation, which exits the Ulbricht-sphere (10) without interaction with same through a second outlet opening (19), is measured by means of a second detector (14').
(FR)
L'invention concerne un procédé de mesure séquentielle d'une pluralité de sources lumineuses à semi-conducteur, par exemple de LED, d'OLED ou de VCSEL, en particulier de sources lumineuses à faible luminosité, par exemple de micro-LED. L'invention concerne par ailleurs un dispositif permettant la mise en œuvre du procédé. La présente invention vise à proposer un procédé qui fonctionne de manière plus rapide, plus précise et plus sensible que les procédés connus, qui fonctionnent par balayage au moyen d'une photodiode ou d'un spectromètre. Selon le procédé de l'invention, les sources lumineuses à faible luminosité sont soumises successivement ou simultanément à une impulsion de courant au moyen d'une source de courant pulsée (1). L'impulsion lumineuse émise de la LED (2) est convertie au moyen d'une photodiode (2) en porteurs de charge électrique, les porteurs de charge électrique sont totalisés au moyen d'un circuit intégrateur (5), les porteurs de charge totalisés sont convertis par un convertisseur A/N (6) en un signal numérique, et le signal numérique est transmis à une unité de mesure et de commande (7). L'invention concerne en outre un procédé et un dispositif correspondant de mesure séquentielle d'une pluralité d'impulsions optiques. Les impulsions optiques entrent dans une sphère d'Ulbricht (10) par une ouverture d'entrée (11), une première partie du rayonnement lumineux qui quitte par une première ouverture de sortie la sphère d'Ulbricht (10) après interaction avec cette dernière est mesurée au moyen d'un premier détecteur (14, 18), et une seconde partie du rayonnement lumineux qui quitte par une seconde ouverture de sortie (19) la sphère d'Ulbricht (10) sans interaction avec cette dernière est mesurée au moyen d'un second détecteur (14').
Auch veröffentlicht als
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