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1. WO2020104236 - INTERFEROMETEREINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESTIMMEN EINES ERSTEN ABSTANDES ZWISCHEN EINER ERSTEN SPIEGELEINRICHTUNG UND EINER ZWEITEN SPIEGELEINRICHTUNG IN EINER INTERFEROMETEREINRICHTUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2020/104236
Veröffentlichungsdatum 28.05.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/080917
Internationales Anmeldedatum 12.11.2019
IPC
G01J 3/453 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
28Untersuchen des Spektrums
45Interferenz-Spektrometrie
453durch Korrelation der Amplituden
G01J 3/02 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
02Einzelheiten
G01J 3/26 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
12Erzeugen des Spektrums; Monochromatoren
26durch Mehrfachreflexion, z.B. Fabry-Perot-Interferometer, veränderliches Interferenzfilter
G01J 3/32 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
28Untersuchen des Spektrums
30Messen der Intensität von Spektrallinien unmittelbar am Spektrum selbst
32Untersuchen von Bändern eines Spektrums nacheinander durch einen einzigen Detektor
G01J 3/28 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
28Untersuchen des Spektrums
CPC
G01B 9/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
G01J 2003/2879
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
2866Markers; Calibrating of scan
2879Calibrating scan, e.g. Fabry Perot interferometer
G01J 3/0213
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
0213using attenuators
G01J 3/0256
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
0256Compact construction
G01J 3/027
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
027Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
G01J 3/0297
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
0297Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • HUSNIK, Martin
  • HUBER, Christian
  • ROEDEL, Reinhold
  • STEIN, Benedikt
  • SCHELLING, Christoph
  • KRAEMMER, Christoph Daniel
Prioritätsdaten
10 2018 219 778.419.11.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) INTERFEROMETEREINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESTIMMEN EINES ERSTEN ABSTANDES ZWISCHEN EINER ERSTEN SPIEGELEINRICHTUNG UND EINER ZWEITEN SPIEGELEINRICHTUNG IN EINER INTERFEROMETEREINRICHTUNG
(EN) INTERFEROMETER DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING A FIRST DISTANCE BETWEEN A FIRST REFLECTOR DEVICE AND A SECOND REFLECTOR DEVICE IN AN INTERFEROMETER DEVICE
(FR) DISPOSITIF D’INTERFÉROMÉTRIE ET PROCÉDÉ POUR DÉTERMINER UNE PREMIÈRE DISTANCE ENTRE UN PREMIER ENSEMBLE MIROIR ET UN SECOND ENSEMBLE MIROIR DANS UN DISPOSITIF D’INTERFÉROMÉTRIE
Zusammenfassung
(DE)
Die vorliegende Erfindung schafft eine Interferometereinrichtung (1) umfassend, eine erste Spiegeleinrichtung (SP1) und eine zweite Spiegeleinrichtung (SP2), welche um einen ersten Abstand (d12) voneinander beabstandet sind, wobei die erste Spiegeleinrichtung (SP1) und/oder die zweite Spiegeleinrichtung (SP2) bewegbar ist, so dass der Abstand (d12) variierbar ist; ein Substrat (2), wobei die erste Spiegeleinrichtung (SP1) und die zweite Spiegeleinrichtung (SP2) übereinander in einem optischen Bereich (OB) des Substrats (2) angeordnet sind, und wobei der optische Bereich (OB) einen ersten Abstrahlbereich (AB1) und einen zweiten Abstrahlbereich (AB2) für eine von der ersten Spiegeleinrichtung (SP1) und zweiten Spiegeleinrichtung (SP2) durchgelassene elektromagnetische Strahlung (L) umfasst, welche sich lateral nebeneinander erstecken; eine Filtereinrichtung (F), welche in einem Lichtpfad des zweiten Abstrahlbereichs (AB2) angeordnet ist und mittels welcher eine Durchlasscharakteristik für Wellenlängen der elektromagnetischen Strahlung (L) in Abhängigkeit von dem ersten Abstand (d12) bestimmbar ist; und eine Detektoreinrichtung (3) mit einem ersten Detektorbereich (D1), welcher in einem Lichtpfad des ersten Abstrahlbereichs (AB1) angeordnet ist undeinem zweiten Detektorbereich (D2), welcher im Lichtpfad des zweiten Abstrahlbereich (AB2) angeordnet ist, wobei die Detektoreinrichtung (3) dazu eingerichtet ist, im ersten Detektorbereich (D1) eine erste elektromagnetische Strahlung von der ersten und zweiten Spiegeleinrichtung (SP1; SP2) zu detektieren und im zweiten Detektorbereich (D2) eine zweite elektromagnetische Strahlung (St2) von der Filtereinrichtung (F) zu detektieren.
(EN)
The present invention relates to an interferometer device (1) comprising: a first reflector device (SP1) and a second reflector device (SP2), which are spaced apart from each other by a first distance (d12), the first reflector device (SP1) and/or the second reflector device (SP2) being movable such that the distance (d12) is variable; a substrate (2), with the first reflector device (SP1) and the second reflector device (SP2) being arranged one atop the other in an optical region (OB) of the substrate (2), and with the optical region (OB) comprising a first emission region (AB1) and a second emission region (AB2) for an electromagnetic radiation (L) allowed through by the first reflector device (SP1) and second reflector device (SP2), said emission regions extending laterally adjacent to each other; a filter device (F), which is arranged in a light path of the second emission region (AB2) and by means of which a passage characteristic for wavelengths of the electromagnetic radiation (L) is determinable as a function of the first distance (d12); and a detector device (3) having a first detector region (D1), which is arranged in a light path of the first emission region (AB1) and a second detector region (D2), which is arranged in the light path of the second emission region (AB2), the detector device (3) being designed to detect, in the first detector region (D1), a first electromagnetic radiation from the first and second reflector device (SP1; SP2) and to detect, in the second detector region (D2), a second electromagnetic radiation (St2) from the filter device (F).
(FR)
La présente invention concerne un dispositif d’interférométrie (1) comprenant un premier ensemble miroir (SP1) et un second ensemble miroir (SP2), lesquels sont situés à une première distance (d12) l’un de l’autre, le premier ensemble miroir (SP1) et/ou le second ensemble miroir (SP2) pouvant être déplacés, de manière à moduler la distance (d12) ; un substrat (2), le premier ensemble miroir (SP1) et le second ensemble miroir (SP2) étant agencés de manière superposée dans une zone optique (OB) du substrat (2), et la zone optique (OB) comprenant une première zone de rayonnement (AB1) et une seconde zone de rayonnement (AB2) pour un rayonnement électromagnétique (L) transmis par le premier ensemble miroir (SP1) et le second ensemble miroir (SP2), lesquelles s’étendent latéralement l’une à côté de l’autre ; un système de filtre (F) qui est monté dans un trajet lumineux de la seconde zone de rayonnement (AB2) et au moyen duquel une caractéristique de passage de longueurs d’ondes du rayonnement électromagnétique (L) peut être déterminée en fonction de la première distance (d12) ; et un dispositif de détection (3) comportant une première zone de détection (D1) qui est ménagée dans un trajet lumineux de la première zone de rayonnement (AB1), et une seconde zone de détection (D2), qui est ménagée dans le trajet lumineux de la seconde zone de rayonnement (AB2), le dispositif de détection (3) étant conçu de manière à détecter, dans la première zone de détection (D1), un premier rayonnement électromagnétique provenant du premier et du second ensemble miroir (SP1; SP2) et à détecter, dans la seconde zone de détection (D2), un second rayonnement électromagnétique (St2) provenant du système de filtre (F).
Auch veröffentlicht als
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten