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1. WO2020104011 - VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR KLASSIFIZIERUNG EINER PROBE MITTELS TERAHERTZ-SPEKTROSKOPIE

Veröffentlichungsnummer WO/2020/104011
Veröffentlichungsdatum 28.05.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2018/081812
Internationales Anmeldedatum 19.11.2018
IPC
G01N 21/3586 2014.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
17Systeme, in denen einfallendes Licht durch die Eigenschaften des untersuchten Materials beeinflusst wird
25Farbe; Spektraleigenschaften, d.h. Vergleich der Materialeffekte bei Licht von zwei oder mehr Wellenlängen oder Wellenlängenbereichen
31Untersuchen relativer Materialeffekte bei Wellenlängen, die für spezifische Elemente oder Moleküle charakteristisch sind, z.B. Atomabsorptionsspektrometrie
35mit infrarotem Licht
3581unter Verwendung von fernem Infrarotlicht; unter Verwendung von Terahertz-Strahlung
3586mittels Terahertz-Zeitdomänen-Spektroskopie
G01N 21/95 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
84Systeme, besonders ausgebildet für spezielle Anwendungen
88Untersuchen der Anwesenheit von Fehlern oder Verunreinigungen
95gekennzeichnet durch das Material oder die Form des zu untersuchenden Gegenstandes
CPC
G01N 21/3586
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
35using infra-red light
3581using far infra-red light; using Terahertz radiation
3586by Terahertz time domain spectroscopy [THz-TDS]
G01N 21/9508
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
9508Capsules; Tablets
Anmelder
  • TERA GROUP AG [CH]/[CH]
Erfinder
  • QUINTEL, Andrea
  • ØYO, Nils Ivar
  • WIDMER CANTZ, Kaspar Samuel
  • DUBLER, Andreas Marius
Vertreter
  • JALINK, Cornelis
  • IRSCH, Manfred, Dr.
  • KLUTHE, Stefan, Dr.
Prioritätsdaten
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR KLASSIFIZIERUNG EINER PROBE MITTELS TERAHERTZ-SPEKTROSKOPIE
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR CLASSIFYING A SAMPLE BY MEANS OF TERAHERTZ SPECTROSCOPY
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE CLASSIFICATION D'UN ÉCHANTILLON AU MOYEN D'UNE SPECTROSCOPIE TÉRAHERTZ
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Klassifizierung einer Probe (3) mittels eines Probenscanners (1). Der Probenscanner umfasst hierbei eine Terahertz-Quelle (21, 22) zur Erzeugung einer Terahertz-Primärstrahlung (P), eine Detektionseinheit (23) zur Detektion einer von der Probe stammenden Terahertz-Sekundärstrahlung (S), und ein Analysemodul zum Erzeugen eines Probenspektrums. Das erfindungsgemässe Verfahren umfasst hierbei die folgenden Schritte: Erzeugen der Terahertz-Primärstrahlung mittels der Terahertz-Quelle; Beaufschlagen der Probe mit der von der Terahertz-Quelle erzeugten Terahertz-Primärstrahlung; Detektieren eines Proben-TDS der von der Probe stammenden Terahertz-Sekundärstrahlung mittels der Detektionseinheit; Erzeugen des Probenspektrums durch Entwicklung des Proben-TDS nach einem geeigneten Funktionssystem, z. B. Fourieranalyse, mittels des Analysemoduls; Bestimmen einer TDS-Abweichung durch Vergleich des Proben-TDS der Probe mit einem Referenz-TDS einer Referenzprobe und Bestimmen einer Spektrumsabweichung durch Vergleich des Probenspektrums der Probe mit einem Referenzspektrum der Referenzprobe, Ermitteln einer Beurteilungsgrösse anhand der TDS-Abweichung und der Spektrumsabweichung; Klassifizierung der Probe anhand der Beurteilungsgrösse.
(EN)
The invention relates to a method for classifying a sample (3) using a sample scanner (1). The sample scanner comprises a terahertz source (21, 22) for generating a primary terahertz radiation (P), a detection unit (23) for detecting a secondary terahertz radiation (S) emanating from the sample, and an analysis module for generating a sample spectrum. The method according to the invention comprises the following steps: generating a primary terahertz radiation by means of the terahertz source; exposing the sample to the primary terahertz radiation generated by the terahertz source; detecting, by means of the detection unit, a sample TDS of the secondary terahertz radiation emanating from the sample; generating, by means of the analysis module, the sample spectrum by developing the sample TDS in accordance with a suitable function system, e.g. Fourier analysis; determining a TDS deviation by comparing the sample TDS of the sample with a reference TDS of a reference sample and determining a spectrum deviation by comparing the sample spectrum of the sample with a reference spectrum of the reference sample; ascertaining an assessment indicator using the TDS deviation and the spectrum deviation; classifying the sample using the assessment indicator.
(FR)
L'invention concerne un procédé de classification d'un échantillon (3) au moyen d'un scanner (1) d'échantillon. Le scanner d'échantillon comprend une source térahertz (21, 22) destinée à produire un rayonnement primaire (P) térahertz, une unité de détection (23) pour la détection d'un rayonnement secondaire (S) térahertz provenant de l'échantillon, et un module d'analyse pour la production d'un spectre d'échantillon. Le procédé selon l'invention comprend les étapes suivantes : la production du rayonnement primaire térahertz au moyen de la source térahertz ; la soumission de l'échantillon à l'effet du rayonnement primaire térahertz produit par la source térahertz ; la détection d'une spectroscopie dans le domaine temporel d'échantillon du rayonnement secondaire térahertz provenant de l'échantillon au moyen de l'unité de détection ; la production du spectre d'échantillon par développement de la spectroscopie dans le domaine temporel d'échantillon selon un système fonctionnel adapté, par exemple une analyse de Fourier, au moyen du module d'analyse ; la constatation d'un écart de spectroscopie dans le domaine temporel par comparaison de la spectroscopie dans le domaine temporel d'échantillon à une spectroscopie dans le domaine temporel de référence d'un échantillon de référence et la constatation d'un écart de spectre par comparaison du spectre de l'échantillon à un spectre de référence de l'échantillon de référence, la détermination d'une grandeur d'évaluation sur la base de l'écart de spectroscopie dans le domaine temporel et de l'écart de spectre ; la classification de l'échantillon sur la base de la grandeur d'évaluation.
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