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1. WO2020099569 - VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ELEMENTANALYSE VON MATERIALIEN MITTELS OPTISCHER EMISSIONSSPEKTROSKOPIE

Veröffentlichungsnummer WO/2020/099569
Veröffentlichungsdatum 22.05.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/081335
Internationales Anmeldedatum 14.11.2019
IPC
G01N 21/71 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
62Systeme, in welchen das untersuchte Material so angeregt wird, dass es Licht emittiert oder die Wellenlänge des auffallenden Lichts ändert
71thermisch erregt
G01N 21/67 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
62Systeme, in welchen das untersuchte Material so angeregt wird, dass es Licht emittiert oder die Wellenlänge des auffallenden Lichts ändert
66elektrisch angeregt, z.B. Elektrolumineszenz
67mit elektrischen Lichtbogen oder Entladungen
G01N 21/15 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
01Anordnungen oder Geräte zum Erleichtern optischer Untersuchungen
15Verhütung der Verschmutzung von Bauteilen des optischen Systems oder der Behinderung des Lichtwegs
G01J 3/443 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
28Untersuchen des Spektrums
443Emissions-Spektrometrie
G01N 21/33 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
17Systeme, in denen einfallendes Licht durch die Eigenschaften des untersuchten Materials beeinflusst wird
25Farbe; Spektraleigenschaften, d.h. Vergleich der Materialeffekte bei Licht von zwei oder mehr Wellenlängen oder Wellenlängenbereichen
31Untersuchen relativer Materialeffekte bei Wellenlängen, die für spezifische Elemente oder Moleküle charakteristisch sind, z.B. Atomabsorptionsspektrometrie
33mit ultraviolettem Licht
Anmelder
  • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. [DE]/[DE]
Erfinder
  • STURM, Volker
Prioritätsdaten
10 2018 128 754.215.11.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ELEMENTANALYSE VON MATERIALIEN MITTELS OPTISCHER EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
(EN) DEVICE AND METHOD FOR ELEMENT ANALYSIS OF MATERIALS BY MEANS OF OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'ANALYSE D'ÉLÉMENTS DE MATÉRIAUX PAR SPECTROSCOPIE À ÉMISSION OPTIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Elementanalyse von Materialien mittels optischer Emissionsspektroskopie, insbesondere mittels laserinduzierter Plasmaspektroskopie mit Mitteln (1) zur Anregung eines Plasmas (9) von einer Teilmenge eines Messobjekts (7) aus dem zu analysierenden Material, Mitteln (2a, 2b) zum Erfassen und spektralen Auswerten von von dem Plasma (9) ausgehender optischer Strahlung (14a), Strahlführungsmitteln zum Führen zumindest eines Teils der von dem Plasma (9) ausgehenden optischen Strahlung (14a) zu den Mitteln (2a, 2b) zum Erfassen und spektralen Auswerten, und Mitteln zum Spülen zumindest eines Teilbereichs der Vorrichtung mit einem Schutzgas, wobei es sich bei den Strahlführungsmitteln um mindestens ein Kapillarrohr (10a, 10b) handelt, das außerdem zur Führung des Schutzgases dient. Die Anmeldung betrifft ferner ein Verfahren zur Elementanalyse von Materialien mittels optischer Emissionsspektroskopie unter Nutzung der Vorrichtung.
(EN)
The invention relates to a device for element analysis of materials by means of optical emission spectroscopy, particularly by means of laser-induced plasma spectroscopy, said device having: means (1) for exciting a plasma (9) from a partial quantity of a measurement object (7) made of the material to be analyzed; means (2a, 2b) for detecting and for spectral analysis of optical radiation (14a) emitted from the plasma (9); beam guidance means for guiding at least a part of the optical radiation (14a) emitted from the plasma (9) to the means (2a, 2b) for detecting and spectral analysis; and means for flushing at least one partial region of the device with an inert gas, wherein the beam guidance means are at least one capillary tube (10a, 10b), which additionally serves to guide the inert gas. The application further relates to a method for element analysis of materials by means of optical emission spectroscopy using the device.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'analyse d'éléments de matériaux par spectroscopie d'émission optique, notamment par spectroscopie plasma induite par laser, comprenant des moyens (1) d'excitation d'un plasma (9) par un sous-ensemble d'un objet de mesure (7) en matériau à analyser, des moyens (2a, 2b) de détection et d'évaluation spectrale d'un rayonnement optique (14a) émis par le plasma (9), des moyens de guidage de faisceau destiné à guider au moins une partie du rayonnement optique (14a), émis par le plasma (9), vers les moyens (2a, 2b) de détection et d'évaluation spectrale, et des moyens de lavage d'au moins une partie du dispositif avec un gaz protecteur. Les moyens de guidage de faisceau sont au moins un tube capillaire (10a, 10b) qui sert également à guider le gaz protecteur. L'invention concerne également un procédé d'analyse d'éléments de matériaux par spectroscopie d'émission optique à l'aide du dispositif.
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