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1. WO2020099233 - TRIS(TRICHLORSILYL)DICHLOROGALLYLGERMAN, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG UND DESSEN VERWENDUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2020/099233
Veröffentlichungsdatum 22.05.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/080530
Internationales Anmeldedatum 07.11.2019
IPC
C01B 33/107 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
01Anorganische Chemie
BNichtmetallische Elemente; deren Verbindungen
33Silicium; dessen Verbindungen
08Verbindungen, die Halogene enthalten
107halogenierte Silane
CPC
C01B 33/107
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
33Silicon; Compounds thereof
08Compounds containing halogen
107Halogenated silanes
C23C 16/24
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
16Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
22characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
24Deposition of silicon only
Anmelder
  • EVONIK OPERATIONS GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • WAGNER, Matthias
  • TEICHMANN, Julian
  • LERNER, Hans-Wolfram
Vertreter
  • EVONIK PATENT ASSOCIATION
Prioritätsdaten
18206148.114.11.2018EP
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) TRIS(TRICHLORSILYL)DICHLOROGALLYLGERMAN, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG UND DESSEN VERWENDUNG
(EN) TRIS(TRICHLORSILYL)DICHLOROGALLYLGERMANE, PROCESS FOR THE PREPARATION THEREOF, AND USE THEREOF
(FR) TRIS(TRICHLOROSILYL)DICHLOROGALLYLGERMANE, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET SON UTILISATION
Zusammenfassung
(DE)
Die vorliegende Erfindung betrifft die chlorierte, ungeladene Substanz Tris(trichlorsilyl)dichlorogallylgerman, ein Verfahren zur deren Herstellung sowie deren Verwendung.
(EN)
The invention relates to the chlorinated, uncharged substance tris(trichlorsilyl)dichlorogallylgermane, to a process for the preparation thereof, and to the use thereof.
(FR)
La présente invention concerne la substance chlorée non chargée tris(trichlorosilyl)dichlorogallylgermane, ainsi qu'un procédé de fabrication et l'utilisation de cette substance.
Auch veröffentlicht als
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten