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1. WO2020083875 - INTERFEROMETERELEMENT, SPEKTROMETER UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES INTERFEROMETERS

Veröffentlichungsnummer WO/2020/083875
Veröffentlichungsdatum 30.04.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/078658
Internationales Anmeldedatum 22.10.2019
IPC
G01J 3/02 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
02Einzelheiten
G01J 3/26 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
12Erzeugen des Spektrums; Monochromatoren
26durch Mehrfachreflexion, z.B. Fabry-Perot-Interferometer, veränderliches Interferenzfilter
G01J 3/30 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
28Untersuchen des Spektrums
30Messen der Intensität von Spektrallinien unmittelbar am Spektrum selbst
G01J 3/453 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
28Untersuchen des Spektrums
45Interferenz-Spektrometrie
453durch Korrelation der Amplituden
CPC
G01J 3/0208
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
0208using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
G01J 3/027
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
027Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
G01J 3/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
12Generating the spectrum; Monochromators
26using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
G01J 3/30
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
30Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
G01J 3/4535
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
45Interferometric spectrometry
453by correlation of the amplitudes
4535Devices with moving mirror
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • NOLTEMEYER, Ralf
  • STEIN, Benedikt
  • HUBER, Christian
  • SCHELLING, Christoph
  • KRAEMMER, Christoph Daniel
  • ROEDEL, Reinhold
Prioritätsdaten
10 2018 217 996.422.10.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) INTERFEROMETERELEMENT, SPEKTROMETER UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES INTERFEROMETERS
(EN) INTERFEROMETER ELEMENT, SPECTROMETER AND METHOD FOR OPERATING AN INTERFEROMETER
(FR) ÉLÉMENT D'INTERFÉROMÈTRE, SPECTROMÈTRE ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'UN INTERFÉROMÈTRE
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Interferometerelement (125) zur Verwendung in einem Spektrometer (100), wobei das Interferometerelement (125) ein mikromechanisches Fabry-Perot- Filterelement (FPI1, FPI2) aufweist, das zumindest ein erstes Spiegelelement (135), ein zweites Spielelelement (140) und ein drittes Spiegelelement (145) aufweist, die seriell einem Lichtpfad (120) des Interferometerelementes (125) angeordnet sind und wobei ein erster Abstand (160) zwischen dem ersten (135) und zweiten (140) Spiegelelement und/oder ein zweiter Abstand (165) zwischen dem zweiten (140) und dritten (145) Spiegelelement veränderbar ist.
(EN)
The invention relates to an interferometer element (125) for use in a spectrometer (100), wherein: the interferometer element (125) has a micro-mechanical Fabry-Perot filter element (FPI1, FPI2), which has at least one first mirror element (135), a second mirror element (140) and a third mirror element (145) arranged in series on a light path (120) of the interferometer element (125); and a first distance (160) between the first (135) and the second (140) mirror element, and/or a second distance (165) between the second (140) and the third (145) mirror element can be modified.
(FR)
L'invention concerne un élément d'interféromètre (125) destiné à être utilisé dans un spectromètre (100). L'élément d'interféromètre (125) comporte un élément de filtre micromécanique de Fabry-Perot (FPI1, FPI2) qui comporte au moins un premier élément de miroir (135), un deuxième élément de miroir (140) et un troisième élément de miroir (145) qui sont disposés en série dans un chemin de lumière (120) de l'élément d'interféromètre (125) et une première distance (160) entre le premier (135) et le deuxième (140) élément de miroir et/ou une deuxième distance (165) entre le deuxième (140) et le troisième (145) élément de miroir peut être modifiée.
Auch veröffentlicht als
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