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1. WO2020078739 - MIKROELEKTROMECHANISCHE STRUKTUR MIT EINEM, IN EINER KAVERNE DER MIKROELEKTROMECHANISCHEN STRUKTUR ANGEORDNETEN FUNKTIONSELEMENT

Veröffentlichungsnummer WO/2020/078739
Veröffentlichungsdatum 23.04.2020
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2019/076907
Internationales Anmeldedatum 04.10.2019
IPC
B81C 1/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
CVerfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
1Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Systemen in oder auf einem Substrat
CPC
B81C 1/00698
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
00642for improving the physical properties of a device
00698Electrical characteristics, e.g. by doping materials
B81C 1/00833
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
00777Preserve existing structures from alteration, e.g. temporary protection during manufacturing
00833Methods for preserving structures not provided for in groups B81C1/00785 - B81C1/00825
B81C 2203/0145
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
2203Forming microstructural systems
01Packaging MEMS
0145Hermetically sealing an opening in the lid
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • MAJONI, Stefan
  • KUHNKE, Markus
  • WEIR, Penny
Prioritätsdaten
10 2018 217 894.118.10.2018DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MIKROELEKTROMECHANISCHE STRUKTUR MIT EINEM, IN EINER KAVERNE DER MIKROELEKTROMECHANISCHEN STRUKTUR ANGEORDNETEN FUNKTIONSELEMENT
(EN) MICRO-ELECTROMECHANICAL STRUCTURE WITH A FUNCTIONAL ELEMENT WHICH IS ARRANGED IN A CAVITY OF THE MICRO-ELECTROMECHANICAL STRUCTURE
(FR) STRUCTURE MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE DOTÉE D’UN ÉLÉMENT FONCTIONNEL DISPOSÉ DANS UNE CAVITÉ DE LA STRUCTURE MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Es wird eine mikroelektromechanische Struktur (1) mit einem, in einer Kaverne (2) der mikroelektromechanischen Struktur (1) angeordneten Funktionselement (3) vorgeschlagen, wobei das Funktionselement (3) eine Aluminiumnitridschicht (4) aufweist, wobei die Kaverne (2) durch eine Kappenschicht (5) verschlossen ist, wobei die Kappenschicht (5) epitaktisches Silizium aufweist. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur (1) vorgeschlagen.
(EN)
The invention relates to a micro-electromechanical structure (1) comprising a functional element (3) arranged in a cavity (2) of the micro-electromechanical structure (1). The functional element (3) has an aluminum nitride layer (4), wherein the cavity (2) is closed by a cap layer (5), and the cap layer (5) has epitaxial silicon. The invention additionally relates to a method for producing a micromechanical structure (1).
(FR)
L’invention concerne une structure micro-électromécanique (1) dotée d’un élément fonctionnel (3) disposé dans une cavité (2) de la structure micro-électromécanique (1), l’élément fonctionnel (3) présentant une couche de nitrure d’aluminium (4), la cavité (2) étant obturée par une couche de couverture (5), la couche de couverture (5) présentant du silicium épitaxial. L’invention concerne en outre un procédé de fabrication d’une structure micro-mécanique (1).
Auch veröffentlicht als
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