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1. WO2020011853 - REFLEKTIVES OPTISCHES ELEMENT

Anmerkung: Text basiert auf automatischer optischer Zeichenerkennung (OCR). Verwenden Sie bitte aus rechtlichen Gründen die PDF-Version.

Patentansprüche

1. Reflektives optisches Element für einen VUV-Wellenlängenbereich, aufweisend ein Substrat und darauf eine Metallschicht, wobei es auf der substratabgewandten Seite der Metallschicht (32, 49, 59) mindestens eine Metallfluoridlage (33, 43, 53) und auf dessen substratabgewandter Seite mindestens eine Oxidlage (35, 45, 55) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicken der Lagen (33, 35, 43, 45, 53, 55) auf der

substratabgewandten Seite der Metallschicht (32, 49, 59) derart gewählt sind, dass das elektrische Feld einer sich bei Reflexion einer eingestrahlten maßgeblichen Wellenlänge aus dem VUV-Wellenlängenbereich ausbildenden stehenden Welle im Bereich der mindestens einen Oxidlage (35, 45, 55) ein Minimum aufweist, wobei die maßgebliche Wellenlänge derart gewählt ist, dass das Integral über den Extinktionskoeffizienten des Materials der mindestens einen Oxidlage von einer minimalen Wellenlänge des VUV-Wellenlängenbereichs bis zur maßgeblichen Wellenlängen zwischen 15% und 47% des entsprechenden Integrals von der minimalen Wellenlängen bis zu einer maximalen Wellenlänge des VUV-Wellenlängenbereichs beträgt.

2. Reflektives optisches Element nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschicht (32, 49, 59) Aluminium, eine Aluminium-Silizium-Legierung, eine

Aluminium-Mangan-Legierung, eine Aluminium-Silizium-Mangan-Legierung, Rhodium, Ruthenium, Palladium, Osmium, Iridium, Platin, Magnesium oder eine Kombination davon aufweist.

3. Reflektives optisches Element nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallfluoridlage (33, 43, 53) Magnesiumfluorid, Aluminiumfluorid,

Natriumfluorid, Lithiumfluorid, Chiolith, Kryolith, Erbiumfluorid, Neodymfluorid,

Gadoliniumfluorid, Dysprosiumfluorid, Samariumfluorid, Holmiumfluorid, Hafniumfluorid, Lanthanfluorid, Europiumfluorid, Lutetiumfluorid, Ceriumfluorid, Bariumfluorid,

Yttriumfluorid oder eine Kombination davon aufweist.

4. Reflektives optisches Element nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Oxidlage (35, 45, 55) Siliziumdioxid, fluordotiertes

Siliziumdioxid, Aluminiumoxid, Magnesiumoxid, Lutetiumoxid, Kalziumoxid,

Hafniumoxid, Germaniumoxid, Zirkoniumoxid, Zinnoxid, Zinkoxid, Bariumoxid,

Yttriumoxid, Scandiumoxid oder eine Kombination davon aufweist.

5. Reflektives optisches Element nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (31 , 41 , 51 ) aus Quarz, titandotiertem Quarzglas, Kalziumfluorid, Magnesiumfluorid, Keramik, Glaskeramik, Silizium, Siliziumkarbid, Silizium-Siliziumkarbid-Verbundwerkstoff, Aluminium, Kupfer oder Aluminium-Kupferlegierung ist.

6. Reflektives optisches Element nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Substrat (31 , 41 , 51 ) und Metallschicht (32, 49, 59) eine Funktionalschicht (42) angeordnet ist.

7. Reflektives optisches Element nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Funktionalschicht als Flaftvermittlerschicht oder Polierschicht ausgebildet ist.

8. Reflektives optisches Element nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Funktionalschicht (42) Silizium, Kohlenstoff, Aluminium, Nickel, Kobalt, Bor, Tantal, Zirkonium, Wolfram, Niob, Molybdän, Vanadium, Chrom, Kupfer, Titan, Flafnium, deren Legierungen, Oxide, Nitride, Boride, Karbide oder andere Verbindung oder eine Kombination davon aufweist.