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1. (WO2020011853) REFLEKTIVES OPTISCHES ELEMENT
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Veröff.-Nr.: WO/2020/011853 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/EP2019/068535
Veröffentlichungsdatum: 16.01.2020 Internationales Anmeldedatum: 10.07.2019
IPC:
G02B 5/08 (2006.01)
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
5
Optische Elemente außer Linsen
08
Spiegel
Anmelder:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; RUDOLF-EBER-STRASSE 2 73447 OBERKOCHEN, DE
Erfinder:
FORCHT, Konstantin; DE
PAZIDIS, Alexandra; DE
ZACZEK, Christoph; DE
Vertreter:
WERNER & TEN BRINK - PATENTANWÄLTE PARTGMBB; Mecklenburger Str. 35 48147 Münster, DE
Prioritätsdaten:
10 2018 211 499.411.07.2018DE
Titel (DE) REFLEKTIVES OPTISCHES ELEMENT
(EN) REFLECTIVE OPTICAL ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT OPTIQUE RÉFLÉCHISSANT
Zusammenfassung:
(DE) Zur Verlängerung der Lebensdauer wird ein reflektives optisches Element für eine Betriebswellenlänge im VUV-Wellenlängenbereich vorgeschlagen, das ein Substrat (41) und darauf eine Metallschicht (49) aufweist, wobei es auf der substratabgewandten Seite der Metallschicht (49) mindestens eine Metallfluoridlage (43) und auf dessen substratabgewandter Seite mindestens eine Oxidlage (45) aufweist, wobei vorteilhafterweise die Dicken der Lagen (43, 45) auf der substratabgewandten Seite der Metallschicht (49) derart gewählt sind, dass das elektrische Feld einer sich bei Reflexion einer maßgeblichen ausbildende stehende Welle im Bereich der Oxidlage (45) ein Minimum aufweist. Dabei ist die maßgebliche Wellenlänge derart gewählt, dass das Integral über den Extinktionskoeffizienten des Materials der mindestens einen Oxidlage von einer minimalen Wellenlänge des VUV-Wellenlängenbereichs bis zur maßgeblichen Wellenlängen zwischen 15% und 47% des entsprechenden Integrals von der minimalen Wellenlängen bis zu einer maximalen Wellenlänge des VUV-Wellenlängenbereichs beträgt.
(EN) In order to extend the service life, a reflective optical element is proposed for an operating wavelength in the VUV wavelength range, comprising a substrate (41) and a metal layer (49) thereon, wherein there is at least one metal fluoride layer (43) on the side of the metal layer (49) facing away from the substrate and at least one oxide layer (45) on the side facing away from the substrate, wherein, advantageously, the thicknesses of the layers (43, 45) on the side of the metal layer (49) facing away from the substrate are selected in such a way that the electrical field of a standing wave, which is formed when a relevant wavelength is reflected, has a minimum in the region of the oxide layer (45). In addition, the relevant wavelength is selected in such a way that, from a minimum wavelength of the VUV wavelength range to the relevant wavelengths, the integral over the extinction coefficients of the material of the at least one oxide layer is between 15% and 47% of the corresponding integral from the minimum wavelengths to a maximum wavelength of the VUV wavelength range.
(FR) L'invention concerne, à des fins de prolongation de la longévité, un élément optique réfléchissant pour une longueur d'onde de fonctionnement dans la plage de longueur d'onde des V-UV, qui comporte un substrat (41) et une couche de métal (49) sur le substrat, l'élément comportant au moins une couche de fluorure de métal (43) sur la face détournée du substrat de la couche de métal (49) et au moins une couche d'oxyde (45) sur la face détournée du substrat de celle-ci, les épaisseurs des couches (43, 45) sur la face détournée du substrat de la couche de métal (49) étant sélectionnées de manière avantageuse de telle sorte que le champ électrique d'une onde verticale se produisant lors de la réflexion d'une longueur d'onde fondamentale présente un minimum au voisinage de la couche d'oxyde (45). Selon l'invention, la longueur d'onde fondamentale est sélectionnée de telle sorte que l'intégrale du coefficient d'extinction du matériau de la couche ou des couches d'oxyde d'une longueur d'onde minimale de la plage de longueur d'onde des V-UV à la longueur d'onde fondamentale est comprise entre 15 % et 47 % de l'intégrale correspondante des longueurs d'onde minimales à une longueur d'onde maximale de la plage de longueur d'onde des V-UV.
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
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