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1. (WO2020011640) MIKROMECHANISCHER SENSOR
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Veröff.-Nr.: WO/2020/011640 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/EP2019/067992
Veröffentlichungsdatum: 16.01.2020 Internationales Anmeldedatum: 04.07.2019
IPC:
G01P 15/125 (2006.01) ,B81B 5/00 (2006.01) ,G01C 19/5712 (2012.01) ,G01L 9/12 (2006.01) ,G01P 15/08 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
P
Messen der Linear- oder Winkelgeschwindigkeit, der Beschleunigung, der Verzögerung oder des Stoßes; Anzeigen des Vorhandenseins oder Fehlens einer Bewegung; Anzeigen der Richtung einer Bewegung
15
Messen der Beschleunigung; Messen der Verzögerung; Messen des Stoßes bei einer plötzlichen Beschleunigung
02
durch Anwendung von Trägheitskräften
08
mit Umwandlung in elektrische oder magnetische Größen
125
durch kapazitive Umformer
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
B
Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
5
Bauelemente mit in Relation zueinander beweglichen Bestandteilen, z.B. mit verschiebbaren oder drehbaren Bestandteilen
G Physik
01
Messen; Prüfen
C
Messen von Entfernungen, Höhen, Neigungen oder Richtungen; Geodäsie; Navigation; Kreiselgeräte; Fotogrammmetrie oder Videogrammmetrie
19
Kreiselgeräte; drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen; drehempfindliche Vorrichtungen ohne bewegliche Massen; Messen der Winkelgeschwindigkeit unter Benutzung von Kreiseleffekten
56
Drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen, z.B. schwingende Winkelgeschwindigkeitssensoren, die auf Grundlage der Corioliskraft arbeiten
5705
die Massen nutzen, die in einer kreisförmigen Pendelbewegung um eine Achse bewegt werden
5712
wobei die Anordnungen einen mikromechanischen Aufbau aufweisen
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9
Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
12
unter Ausnutzung von Kapazitätsänderungen
G Physik
01
Messen; Prüfen
P
Messen der Linear- oder Winkelgeschwindigkeit, der Beschleunigung, der Verzögerung oder des Stoßes; Anzeigen des Vorhandenseins oder Fehlens einer Bewegung; Anzeigen der Richtung einer Bewegung
15
Messen der Beschleunigung; Messen der Verzögerung; Messen des Stoßes bei einer plötzlichen Beschleunigung
02
durch Anwendung von Trägheitskräften
08
mit Umwandlung in elektrische oder magnetische Größen
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Erfinder:
KOSTER, Monika; DE
CARDANOBILE, Stefano; DE
Prioritätsdaten:
10 2018 211 547.811.07.2018DE
Titel (DE) MIKROMECHANISCHER SENSOR
(EN) MICROMECHANICAL SENSOR
(FR) CAPTEUR MICROMÉCANIQUE
Zusammenfassung:
(DE) Mikromechanischer Sensor (100), aufweisend: - ein Substrat; - ein auf dem Substrat angeordnetes Kappenelement; und - wenigstens ein im Kappenelement angeordnetes auslenkbares Element (20), wobei innerhalb des Kappenelements ein gegenüber der Umgebung definiert erhöhter Innendruck herrscht; gekennzeichnet durch - ein innerhalb des Kappenelements angeordnetes, nicht mit dem auslenkbaren Element (20) verbundenes Symmetrieelement (40), welches ausgebildet ist, im Betrieb des mikromechanischen Sensors (100) eine fluiddynamische Symmetrie für das auslenkbare Element (20) bereitzustellen.
(EN) The invention relates to a micromechanical sensor (100) comprising: - a substrate; - a cap element positioned on the substrate; and - at least one deflectable element (20) positioned in the cap element, wherein an increased internal pressure, defined in relation to the environment, prevails within the cap element; characterised by - a symmetry element (40) which is positioned inside the cap element, is not connected to the deflectable element (20), and is designed to provide a fluid-dynamic symmetry for the deflectable element (20) during operation of the micromechanical sensor (100).
(FR) L'invention concerne un capteur (100) micromécanique, qui comporte : un substrat ; un élément formant capuchon disposé sur le substrat ; et au moins un élément pouvant être dévié (20) disposé dans l'élément formant capuchon. Une pression intérieure élevée de manière définie par rapport à l'environnement règne à l'intérieur de l'élément formant capuchon. Le capteur est caractérisé par un élément de symétrie (40) disposé à l'intérieur de l'élément formant capuchon, non relié à l'élément pouvant être dévié (20), lequel élément de symétrie est réalisé pour fournir, lors du fonctionnement du capteur (100) micromécanique, une symétrie en termes de dynamique des fluides pour l'élément pouvant être dévié (20).
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)