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1. (WO2020011559) MIKROMECHANISCHE DRUCKSENSORVORRICHTUNG UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN
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Veröff.-Nr.: WO/2020/011559 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/EP2019/067328
Veröffentlichungsdatum: 16.01.2020 Internationales Anmeldedatum: 28.06.2019
IPC:
G01L 9/00 (2006.01) ,G01L 19/14 (2006.01) ,G01L 19/04 (2006.01) ,B81B 7/00 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9
Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
19
Einzelheiten von oder Zubehör für Apparate zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines fließfähigen Mediums insoweit, als solche Einzelheiten oder solches Zubehör nicht besonderen Arten von Druckmessern eigentümlich sind
14
Gehäuse
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
19
Einzelheiten von oder Zubehör für Apparate zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines fließfähigen Mediums insoweit, als solche Einzelheiten oder solches Zubehör nicht besonderen Arten von Druckmessern eigentümlich sind
04
Mittel zum Ausgleichen von durch Temperaturänderungen hervorgerufenen Wirkungen
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
B
Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
7
Mikrostruktursysteme
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Erfinder:
SCHMOLLNGRUBER, Peter; DE
WEBER, Heribert; DE
Prioritätsdaten:
10 2018 211 330.010.07.2018DE
Titel (DE) MIKROMECHANISCHE DRUCKSENSORVORRICHTUNG UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN
(EN) MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR DEVICE AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD
(FR) DISPOSITIF MICROMÉCANIQUE DE CAPTEUR DE PRESSION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION CORRESPONDANT
Zusammenfassung:
(DE) Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drucksensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Drucksensorvorrichtung ist ausgestattet mit einem Sensorsubstrat (SS); einer im Sensorsubstrat (SS) verankerten Membrananordung, welche eine erste Membran (M1) und eine davon beabstandete zweite Membran (M2), welche in einem Randbereich (R; R") umlaufend miteinander verbunden sind und in einem dazwischen gebildeten Innenraum (IR) einen Referenzdruck (P0) einschließen; und einer in dem Innenraum (IR) aufgehängten plattenförmigen Elektrode (E1), welche von der ersten Membran (M1) und von der zweiten Membran (M2) beabstandet angeordnet ist und welche mit der ersten Membran (M1) eine erste Kapazität und mit der zweiten Membran (M2) eine zweite Kapazität bildet. Die erste Membran (M1) und die zweite Membran (M1) sind derart ausgestaltet, dass sie bei Beaufschlagung mit einem äußeren Druck (PA; PA, PA') zueinander hin deformierbar sind.
(EN) The invention relates to a micromechanical pressure sensor device and to a corresponding production method. The micromechanical pressure sensor device is fitted with a sensor substrate (SS); a diaphragm arrangement which is anchored in the sensor substrate (SS) and comprises a first diaphragm (M1) and a second diaphragm (M2), spaced apart therefrom, which are peripherally interconnected in an edge region (R; R") and enclose a reference pressure (P0) in an inner chamber (IR) formed therebetween; and a plate-like electrode (E1), which is suspended in the inner chamber (IR) and is spaced apart from the first diaphragm (M1) and from the second diaphragm (M2) and forms a first capacity with the first diaphragm (M1) and a second capacity with the second diaphragm (M2). The first diaphragm (M1) and the second diaphragm (M1) are designed such that the first diaphragm and the second diaphragm can be deformed towards one another when an external pressure (PA; PA, PA') is applied thereto.
(FR) La présente invention concerne un dispositif micromécanique de capteur de pression et un procédé de fabrication correspondant. Le dispositif micromécanique capteur de pression est équipé d'un substrat de capteur (SS), d'un ensemble de membranes ancré dans le substrat de capteur (SS), lequel présente une première membrane (M1) et une deuxième membrane (M2) espacée de celle-ci, lesquelles sont reliées l'une à l'autre de manière périphérique dans une zone de bord (R ; R") et renferment dans un espace intérieur (IR) formé entre celles-ci une pression de référence (P0), et d'une électrode (E1) en forme de plaque suspendue dans l'espace intérieur (IR), laquelle est disposée à distance de la première membrane (M1) et de la deuxième membrane (M2) et laquelle forme avec la première membrane (M1) un premier condensateur et avec la deuxième membrane (M2) un deuxième condensateur. La première membrane (M1) et la deuxième membrane (M1) sont conçues de telle sorte que, lorsqu'elles sont soumises à l'effet d'une pression extérieure (PA ; PA, PA'), elles peuvent être déformées l'une en direction de l'autre.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)