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1. (WO2020002554) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
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Veröff.-Nr.: WO/2020/002554 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/EP2019/067248
Veröffentlichungsdatum: 02.01.2020 Internationales Anmeldedatum: 27.06.2019
IPC:
B81C 1/00 (2006.01)
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
C
Verfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
1
Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Systemen in oder auf einem Substrat
Anmelder:
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
TECHNISCHE UNIVERSITÄT CHEMNITZ; Straße der Nationen 62 09111 Chemnitz, DE
Erfinder:
FORKE, Roman; DE
HILLER, Karla; DE
Vertreter:
PFENNING, MEINIG & PARTNER MBB; Joachimsthaler Straße 10 - 12 10719 Berlin, DE
Prioritätsdaten:
10 2018 210 810.229.06.2018DE
Titel (DE) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
(EN) MICROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING SAME
(FR) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
Zusammenfassung:
(DE) Die Erfindung betrifft ein Bauteil (16) für ein mikromechanisches System sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung. Das Bauteil weist eine Oberseite und eine der Oberseite gegenüberliegende Unterseite auf und umfasst mindestens ein erstes Strukturelement, welches in einem ersten Bereich (21) des Bauteils (16) angeordnet ist und von mindestens einem ersten Spalt (19) begrenzt wird, sowie mindestens ein zweites Strukturelement, welches in einem vom ersten Bereich (21) verschiedenen zweiten Bereich (22) des Bauteils (16) angeordnet ist und von mindestens einem zweiten Spalt (20) begrenzt wird. Der erste Bereich (21) ist durch eine erste Ausnehmung (6) in der Unterseite des Bauteils (16) definiert, wobei eine erste Dicke (C) des Bauteils (16) im ersten Bereich (21) gegenüber einer zweiten Dicke (B) des Bauteils (16) im zweiten Bereich (22) reduziert ist. Eine minimale zweite Spaltbreite des mindestens einen zweiten Spalts (20) ist dabei größer ist als eine minimale erste Spaltbreite des mindestens einen ersten Spalts (19).
(EN) The invention relates to a component (16) for a micromechanical system and to a method for producing same. The component has an upper face and a lower face on opposite sides and comprises at least one first patterned element which is located in a first region (21) of the component (16) and is delimited by at least one first gap (19), and at least one second patterned element which is located in a second region (22), different from the first region (21) of the component (16), and is delimited by at least one second gap (20). The first region (21) is defined by a first cavity (6) in the lower face of the component (16), wherein a first thickness (C) of the component (16) is reduced in the first region (21) in relation to a second thickness (B) of the component (16) in the second region (22). A minimum second gap width of the at least one second gap (20) is greater than a minimum first gap width of the at least one first gap (19).
(FR) L’invention concerne un composant (16) pour un système micromécanique ainsi qu’un procédé pour le fabriquer. Ledit composant présente une face supérieure et une face inférieure située à l’opposé de la face supérieure et comprend au moins un premier élément structural qui est disposé dans une première zone (21) du composant (16) et est délimité par au moins une première fente (19), ainsi qu’au moins un deuxième élément structural qui est disposé dans une deuxième zone (22) du composant, différente de la première zone (21), et est délimité par au moins une deuxième fente (20). La première zone (21) est définie par un premier évidemment (6) dans la face inférieure du composant (16), une première épaisseur (C) du composant (16) étant réduite dans la première zone (21) par rapport une seconde épaisseur (B) du composant (16) dans la seconde zone (22). Une seconde largeur minimale de fente de ladite au moins une deuxième fente (20) est à cet effet supérieure à une largeur minimale de fente de ladite au moins une première fente (19).
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)