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1. (WO2020002492) VERFAHREN, VORRICHTUNG UND SYSTEM ZUR ERZEUGUNG EINER HOCH-DYNAMISCHEN LEISTUNGSDICHTVERTEILUNG EINES LASERSTRAHLS
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Veröff.-Nr.: WO/2020/002492 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/EP2019/067130
Veröffentlichungsdatum: 02.01.2020 Internationales Anmeldedatum: 27.06.2019
IPC:
G02B 26/10 (2006.01) ,G02B 27/09 (2006.01)
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
26
Optische Vorrichtungen oder Anordnungen mit beweglichen oder verformbaren optischen Elementen zum Steuern der Intensität, Farbe, Phase, Polarisation oder Richtung von Licht, z.B. Schalten, Austasten, Modulieren
08
zum Steuern der Richtung von Licht
10
Abtastsysteme
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
27
Andere optische Systeme; andere optische Geräte
09
Strahlformung, z.B. Änderung des Strahlquerschnitts, soweit nicht anderweitig vorgesehen
Anmelder:
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
Erfinder:
WESTPHALEN, Thomas; DE
Vertreter:
FARAGO PATENTANWALTS- UND RECHTSANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Thierschstraße 11 80538 München, DE
Prioritätsdaten:
10 2018 210 698.329.06.2018DE
Titel (DE) VERFAHREN, VORRICHTUNG UND SYSTEM ZUR ERZEUGUNG EINER HOCH-DYNAMISCHEN LEISTUNGSDICHTVERTEILUNG EINES LASERSTRAHLS
(EN) METHOD, APPARATUS AND SYSTEM FOR GENERATING A HIGHLY DYNAMIC POWER DENSITY DISTRIBUTION OF A LASER BEAM
(FR) PROCÉDÉ, DISPOSITIF ET SYSTÈME PERMETTANT DE PRODUIRE UNE RÉPARTITION HAUTEMENT DYNAMIQUE DE LA DENSITÉ DE PUISSANCE D’UN FAISCEAU LASER
Zusammenfassung:
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren, eine Vorrichtung und ein System zur Erzeugung einer hoch-dynamischen Leistungsdichtverteilung eines Laserstrahls, beispielsweise eines Laserstrahls in einer Laserbearbeitungsvorrichtung. In dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Anpassung der Leistungsdichteverteilung einer Laserstrahlung wird die Laserstrahlung über eine Faser geführt und tritt an einem Faserende (Fl) aus. Im Objektraum, d.h. dem Raum, in dem sich das Faserende befindet, wird der Laserstrahl mittels einer mikrooptischen Systemkomponente (F2, F3, F4, F5) in einer Ebene abgelenkt. Ein erfindungsgemäßer Mikroscanner zur Anpassung der Leistungsdichteverteilung einer über eine Faser geführten und an einem Faserende (Fl) austretenden Laserstrahlung ist dadurch gekennzeichnet, dass der Mikroscanner eine mikrooptische Systemkomponente (F2, F3, F4, F5) zur Ablenkung des Laserstrahls im Objektraum in einer Ebene aufweist. Ein erfindungsgemäßes System zur Anpassung der Leistungsdichteverteilung einer über eine Faser geführten und an einem Faserende (Fl) austretenden Laserstrahlung ist dadurch gekennzeichnet, dass das System eine vorbeschriebene Vorrichtung und einen Makroscanner aufweist.
(EN) The invention relates to a method, an apparatus and a system for producing a highly dynamic power density distribution of a laser beam, for example of a laser beam in a laser processing apparatus. In the method according to the invention for adapting the power density distribution of laser radiation, the laser radiation is guided along a fibre and emerges at a fibre end (F1). In the object space, i.e., the space where the fibre end is situated, the laser beam is deflected by means of a micro-optical system component (F2, F3, F4, F5) in a plane. A micro-scanner according to the invention for adapting the power density distribution of laser radiation guided along a fibre and emerging at a fibre end (F1) is characterized in that the micro-scanner comprises a micro-optical system component (F2, F3, F4, F5) for deflecting the laser beam in the object space in a plane. A system according to the invention for adapting the power density distribution of laser radiation guided along a fibre and emerging at a fibre end (F1) is characterized in that the system comprises an above-described apparatus and a macro scanner.
(FR) L’invention concerne un procédé, un dispositif et un système permettant de produire une répartition hautement dynamique de la densité de puissance d’un faisceau laser, par exemple d’un faisceau laser d’un dispositif d’usinage au laser. Selon le procédé de l’invention permettant d’adapter la répartition de la densité de puissance d’un faisceau laser, le rayonnement laser passe par une fibre et sort à une extrémité (Fl) de la fibre. Dans l'espace objet, c'est-à-dire l'espace dans lequel se trouve l'extrémité de la fibre, le faisceau laser est dévié dans un plan au moyen de composants micro-optiques (F2, F3, F4, F5) du système. Un scanner micrométrique selon l'invention, permettant d'adapter la répartition de la densité de puissance d'un rayonnement laser passant par une fibre et sortant à une extrémité (Fl) de la fibre, est caractérisé en ce que le scanner micrométrique présente un composant micro-optique (F2, F3, F4, F5) du système servant à dévier le faisceau laser dans un plan dans l'espace objet. Un système selon l'invention, permettant d'adapter la répartition de la densité de puissance d'un rayonnement laser passant par une fibre et sortant à une extrémité (Fl) de la fibre, est caractérisé en ce que le système présente un dispositif décrit ci-dessus et un macroscanner.
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