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1. (WO2019067885) DUAL PORT REMOTE PLASMA CLEAN ISOLATION VALVE
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Veröff.-Nr.: WO/2019/067885 Internationale Anmeldenummer PCT/US2018/053403
Veröffentlichungsdatum: 04.04.2019 Internationales Anmeldedatum: 28.09.2018
IPC:
H01J 37/32 (2006.01) ,F16K 51/02 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
37
Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben
32
Gasgefüllte Entladungsröhren
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
16
Maschinenelemente oder -einheiten; allgemeine Maßnahmen für die ordnungsgemäße Arbeitsweise von Maschinen oder Einrichtungen; Wärmeisolierung allgemein
K
Ventile; Schieber; Hähne; Schwimmer; Entlüftungs- oder Belüftungsvorrichtungen
51
Andere Einzelheiten, die nicht auf Sonderbauarten von Ventilen oder Absperrvorrichtungen eingeschränkt sind
02
speziell geeignet für Hochvakuum-Einrichtungen
Anmelder:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Erfinder:
RIORDON, Benjamin B.; US
CARLSON, Charles T.; US
WEBB, Aaron; US
WYKA, Gary; US
Vertreter:
PATTERSON, B. Todd; US
DOUGHERTY, Chad M.; US
Prioritätsdaten:
62/565,91529.09.2017US
Titel (EN) DUAL PORT REMOTE PLASMA CLEAN ISOLATION VALVE
(FR) VANNE D'ISOLEMENT DOUBLE VOIE POUR NETTOYAGE PAR PLASMA À DISTANCE
Zusammenfassung:
(EN) The present disclosure generally relates to an isolation device for use in processing systems. The isolation device has a body with an inlet opening disposed at a first end coupled to a processing system component such as a remote plasma source and outlet openings, for example two, disposed at a second end which are coupled to a processing system component such as a process chamber. Flaps disposed within the body are actuatable to an open position from a closed position or to a closed position from an open position, to selectively allow or prevent passage of a fluid from the processing system component coupled to the isolation device to the other processing system component coupled thereto.
(FR) De manière générale, la présente divulgation concerne un dispositif d'isolement destiné à être utilisé dans des systèmes de traitement. Le dispositif d'isolement comprend un corps pourvu d'une ouverture d'admission ménagée à une première extrémité raccordée à un composant de système de traitement tel qu'une source de plasma à distance et d'ouvertures d'évacuation, par exemple deux, ménagées à une seconde extrémité qui sont raccordées à un composant de système de traitement tel qu'une chambre de traitement. Des clapets logés à l'intérieur du corps peuvent être actionnés jusqu'à une position ouverte à partir d'une position fermée ou jusqu'à une position fermée à partir d'une position ouverte, pour permettre ou empêcher sélectivement le passage d'un fluide entre le composant de système de traitement raccordé au dispositif d'isolement et l'autre composant de système de traitement raccordé à celui-ci.
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Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)