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1. (WO2019066829) DIRECT SELF-ASSEMBLY PROCESS FOR FORMATION OF SELECTOR OR MEMORY LAYERS ON A VERTICAL RRAM MEMORY FOR LEAKAGE CURRENT MINIMIZATION
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Veröff.-Nr.: WO/2019/066829 Internationale Anmeldenummer PCT/US2017/053852
Veröffentlichungsdatum: 04.04.2019 Internationales Anmeldedatum: 28.09.2017
IPC:
H01L 45/00 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
45
Festkörperbauelemente, besonders ausgebildet zum Gleichrichten, Verstärken, Schalten oder zur Schwingungserzeugung ohne Potenzialsprung-Sperrschicht oder Oberflächensperrschicht, z.B. dielektrische Trioden; Ovshinsky-Effekt-Bauelemente; Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung dieser Bauelemente oder Teilen davon
Anmelder:
LILAK, Aaron D. [US/US]; US
THEOFANIS, Patrick [US/US]; US
KENCKE, David L. [US/US]; US
KOTLYAR, Roza [US/US]; US
INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard Santa Clara, California 95054, US
Erfinder:
LILAK, Aaron D.; US
THEOFANIS, Patrick; US
KENCKE, David L.; US
KOTLYAR, Roza; US
Vertreter:
SULLIVAN, Stephen G.; US
BRASK, Justin K.; US
AUYEUNG, Al; US
BERNADICOU, Michael A.; US
BLAIR, Steven R.; US
BLANK, Eric S.; US
COFIELD, Michael A.; US
DANSKIN, Timothy A.; US
HALEVA, Aaron S.; US
MAKI, Nathan R.; US
MARLINK, Jeffrey S.; US
MOORE, Michael S.; US
PARKER, Wesley E.; US
PUGH, Joseph A.; US
RASKIN, Vladimir; US
STRAUSS, Ryan N.; US
WANG, Yuke; US
YATES, Steven D.; US
ROJO, Estiven; US
Prioritätsdaten:
Titel (EN) DIRECT SELF-ASSEMBLY PROCESS FOR FORMATION OF SELECTOR OR MEMORY LAYERS ON A VERTICAL RRAM MEMORY FOR LEAKAGE CURRENT MINIMIZATION
(FR) PROCESSUS D'AUTO-ASSEMBLAGE DIRECT POUR LA FORMATION DE COUCHES DE SÉLECTION OU DE MÉMOIRE SUR UNE MÉMOIRE RRAM VERTICALE PERMETTANT DE RÉDUIRE AU MINIMUM UN COURANT DE FUITE
Zusammenfassung:
(EN) An integrated circuit structure includes a stack of alternating first conductive layers and insulator layers. A plurality of etch pits are through the first conductive layers. A plurality of selectors are in the etch pits adjacent to the first conductive layers. A memory material layer is adjacent to the plurality of selectors in the etch pits, wherein one of the plurality of selectors and the memory material layer is self-aligned and has a hemispherical side facing the corresponding etch pit.
(FR) La présente invention concerne une structure de circuit intégré qui comprend un empilement de premières couches conductrices et de couches isolantes alternées. Une pluralité de dislocations sont formées à travers les premières couches conductrices. Une pluralité de sélecteurs se trouvent dans les dislocations adjacentes aux premières couches conductrices. Une couche de matériau de mémoire est adjacente à la pluralité de sélecteurs dans les dislocations, un sélecteur de la pluralité de sélecteurs et de la couche de matériau de mémoire étant auto-aligné et comportant un côté hémisphérique faisant face à la dislocation correspondante.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)