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1. (WO2019065515) PRESSURE-SENSITIVE SENSOR
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Veröff.-Nr.: WO/2019/065515 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2018/035110
Veröffentlichungsdatum: 04.04.2019 Internationales Anmeldedatum: 21.09.2018
IPC:
G01L 1/20 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
1
Kraftmessung oder Messen der mechanischen Spannung allgemein
20
durch Messen der Änderungen des ohmschen Widerstandes fester Körper oder elektrisch leitender Gase oder Flüssigkeiten; durch elektrokinetische Zellen, d.h. Flüssigkeit enthaltende Zellen, in denen auf eine ausgeübte Beanspruchung hin ein elektrisches Potenzial erzeugt oder geändert wird
Anmelder:
キヤノン化成株式会社 CANON KASEI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 茨城県つくば市茎崎1888-2 1888-2, Kukizaki, Tsukuba-shi, Ibaraki 3001294, JP
Erfinder:
千葉 正弘 CHIBA Masahiro; JP
Vertreter:
岡部 讓 OKABE Yuzuru; JP
齋藤 正巳 SAITO Masami; JP
Prioritätsdaten:
2017-18614127.09.2017JP
2018-13677220.07.2018JP
Titel (EN) PRESSURE-SENSITIVE SENSOR
(FR) CAPTEUR SENSIBLE À LA PRESSION
(JA) 感圧センサ
Zusammenfassung:
(EN) Provided is a pressure-sensitive sensor which can suppress drift and can be configured as a thin film and have an expanded detection region without increasing in size, and which furthermore has good durability and can detect pressure and load continuously. A pressure-sensitive sensor 100 has an upper electrode 11 and a lower electrode 12 facing the upper electrode with a gap therebetween. The upper electrode 11 has: a pair of upper comb tooth parts 22 which are comb tooth-shaped members that face each other; and a frame part 21 which connects one end of each of tooth portions 23 of the upper comb tooth parts 22, wherein the upper comb tooth parts 22 are bent downward toward the lower electrode 12. The lower electrode 12 is formed of a semi-conductive resistor, and has a pair of lower comb tooth parts 31 that are comb tooth-shaped members provided at a position facing the upper comb tooth parts 22.
(FR) L'invention concerne un capteur sensible à la pression pouvant supprimer une dérive et pouvant être conçu sous la forme d'un film mince et posséder une zone de détection étendue sans augmentation de la taille, et qui présente en outre une bonne durabilité et permet de détecter une pression et une charge de façon continue. Un capteur sensible à la pression (100) comprend une électrode supérieure (11) et une électrode inférieure (12) faisant face à l'électrode supérieure avec un espace entre ces dernières. L'électrode supérieure (11) comprend : une paire de parties de dent de peigne supérieures (22) constituant des éléments en forme de dent de peigne qui se font face ; et une partie de cadre (21) qui relie une extrémité de chacune des parties de dent (23) des parties de dent de peigne supérieures (22), les parties de dent de peigne supérieures (22) étant courbées vers le bas en direction de l'électrode inférieure (12). L'électrode inférieure (12) est formée d'une résistance semi-conductrice et comprend une paire de parties de dents de peigne inférieures (31) constituant des éléments en forme de dents de peigne disposés à une position faisant face aux parties de dents de peigne supérieures (22).
(JA) ドリフトを抑制しつつ、大型化を抑制しながら薄膜化および検出域の拡大を図ることが可能であり、さらに耐久性が高く、かつ、圧力または荷重を連続的に検出することが可能な感圧センサを提供する。感圧センサ100は、上部電極11と、上部電極と間隔を空けて対向する下部電極12とを有する。上部電極11は、互いに対向する1対の櫛歯形状の部材である上部櫛歯部22と、上部櫛歯部22の各歯部23の一端を連結する枠部21とを有し、上部櫛歯部22は下部電極12側に曲がっている。下部電極12は、半導電抵抗体で形成され、かつ、上部櫛歯部22と対向する位置に設けられた1対の櫛歯形状の部材である下部櫛歯部31を有する。
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Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)