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1. WO2019063717 - DRUCKSENSOR AUF KERAMISCHEN SUBSTRAT

Veröffentlichungsnummer WO/2019/063717
Veröffentlichungsdatum 04.04.2019
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2018/076318
Internationales Anmeldedatum 27.09.2018
IPC
G01L 9/00 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
G01L 19/04 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
19Einzelheiten von oder Zubehör für Apparate zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines fließfähigen Mediums insoweit, als solche Einzelheiten oder solches Zubehör nicht besonderen Arten von Druckmessern eigentümlich sind
04Mittel zum Ausgleichen von durch Temperaturänderungen hervorgerufenen Wirkungen
G01L 23/26 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
23Vorrichtungen zum Messen, Anzeigen oder Aufzeichnen von schnellen Änderungen, z.B. Schwingungen, im Druck eines Dampfes, Gases oder einer Flüssigkeit; Indikatoren zum Bestimmen der Arbeit oder Energie von Dampfmaschinen, Verbrennungsmaschinen oder anderen Druckmittelmaschinen aus dem Zustand des Arbeitsmittels
26Einzelheiten oder Zubehör
CPC
B81B 2201/0264
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
02Sensors
0264Pressure sensors
B81B 3/0018
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
0018Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
G01L 19/0038
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
19Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
0007Fluidic connecting means
0038being part of the housing
G01L 19/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
19Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
04Means for compensating for effects of changes of temperature ; , i.e. other than electric compensation
G01L 2009/0066
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0051using variations in ohmic resistance
0066Mounting arrangements of diaphragm transducers; Details thereof, e.g. electromagnetic shielding means
G01L 23/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
23Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
26Details or accessories
Anmelder
  • TDK ELECTRONICS AG [DE]/[DE]
Erfinder
  • BOHL, Benjamin
  • IHLE, Jan
  • HUNDERTMARK, Bert
  • POLDER, Bernd
  • WOHLGEMUTH, Christian
Vertreter
  • EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH
Prioritätsdaten
10 2017 122 605.228.09.2017DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) DRUCKSENSOR AUF KERAMISCHEN SUBSTRAT
(EN) PRESSURE SENSOR ON A CERAMIC SUBSTRATE
(FR) CAPTEUR DE PRESSION SUR SUBSTRAT CÉRAMIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Es wird ein Drucksensor für Relativ- oder Absolutdruckmessung angegeben. Dieser ist mit einem zusätzlichen Heizelement (H, A-G) ausgestattet um störende Medien zu verdrängen.
(EN)
Disclosed is a pressure sensor for measuring relative or absolute pressure. Said sensor is equipped with an additional heating element (H, A-F) in order to eliminate impeding media.
(FR)
L'invention concerne un capteur de pression destiné à la mesure de pression relative ou absolue. Ledit capteur de pression est muni d'un élément chauffant supplémentaire (H, A-G) de manière à déplacer des milieux perturbant la mesure.
Auch veröffentlicht als
JP2020518018
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