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1. (WO2019063437) KOMPENSATIONSOPTIK FÜR EIN INTERFEROMETRISCHES MESSSYSTEM
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Veröff.-Nr.: WO/2019/063437 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/075650
Veröffentlichungsdatum: 04.04.2019 Internationales Anmeldedatum: 21.09.2018
IPC:
G01B 9/02 (2006.01) ,G01B 11/24 (2006.01) ,G01M 11/00 (2006.01) ,G02B 5/32 (2006.01) ,G02B 26/06 (2006.01) ,G02B 27/09 (2006.01) ,G01J 9/02 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01) ,G01N 21/17 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
9
Instrumente wie in den Untergruppen aufgeführt und gekennzeichnet durch die Verwendung von optischen Messmitteln
02
Interferometer
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11
Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
24
zum Messen von Umrisslinien oder Krümmungen
G Physik
01
Messen; Prüfen
M
Prüfen der statischen oder dynamischen Massenverteilung rotierender Teile von Maschinen oder Konstruktionen; Prüfen von Konstruktionsteilen oder Apparaten, soweit nicht anderweitig vorgesehen
11
Prüfen optischer Apparate; Prüfen von Aufbauten oder Maschinenteilen durch optische Verfahren, soweit nicht anderweitig vorgesehen
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
5
Optische Elemente außer Linsen
32
als optische Elemente verwendete Hologramme
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
26
Optische Vorrichtungen oder Anordnungen mit beweglichen oder verformbaren optischen Elementen zum Steuern der Intensität, Farbe, Phase, Polarisation oder Richtung von Licht, z.B. Schalten, Austasten, Modulieren
06
zum Steuern der Phase von Licht
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
27
Andere optische Systeme; andere optische Geräte
09
Strahlformung, z.B. Änderung des Strahlquerschnitts, soweit nicht anderweitig vorgesehen
G Physik
01
Messen; Prüfen
J
Messen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
9
Messen der optischen Phasendifferenz; Bestimmen des Kohärenzgrades; Messen der optischen Wellenlänge
02
durch interferometrische Methoden
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21
Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
17
Systeme, in denen einfallendes Licht durch die Eigenschaften des untersuchten Materials beeinflusst wird
Anmelder:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
HETZLER, Jochen; DE
SCHULTE, Stefan; DE
Vertreter:
SUMMERER, Christian; DE
ZEUNER, Stefan; DE
Prioritätsdaten:
10 2017 217 369.629.09.2017DE
Titel (EN) COMPENSATION OPTICAL SYSTEM FOR AN INTERFEROMETRIC MEASURING SYSTEM
(FR) OPTIQUE DE COMPENSATION POUR UN SYSTÈME DE MESURE INTERFÉROMÉTRIQUE
(DE) KOMPENSATIONSOPTIK FÜR EIN INTERFEROMETRISCHES MESSSYSTEM
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a compensation optical system (30) for a measuring system (10), said measuring system being used to determine a form of an optical surface (12) of a test object (14) by interferometry and said compensation optical system being configured to produce, from an input wave (18), a measurement wave (44) that is directed on to the test object and that has a wavefront at least partially adapted to a required form of the optical surface. The compensation optical system comprises a first optical element (32) and a second optical element (34) arranged downstream of the first optical element in a beam path of the input wave. The second optical element is a diffractive optical element, which is configured to split the input wave, after interaction with the first optical element, into the measurement wave (44) and a reference wave (42). At least 20% of a refractive power of the entire compensation optical system (30), which is provided to produce the at least partially adapted wavefront of the measurement wave from a wavefront of the input wave, is accounted for by the first optical element (32) and the refractive power accounted for by the first optical element has the same sign as the refractive power of the entire compensation optical system.
(FR) L'invention concerne une optique de compensation (30) pour un système de mesure (10) servant à la détermination interférométrique d'une forme d'une surface optique (12) d'un objet en essai (14), laquelle est configurée pour générer, à partir d'une onde d'entrée (18), une onde de mesure (44) dirigée sur l'objet en essai avec un front d'onde au moins partiellement adapté à une forme voulue de la surface optique. L'optique de compensation comprend un premier élément optique (32) ainsi qu'un deuxième élément optique (34) disposé à la suite de celui-ci dans un trajet de rayon de l'onde d'entrée. Le deuxième élément optique est un élément optique diffractif qui est configuré pour dédoubler l'onde d'entrée en une onde de mesure (44) ainsi qu'une onde de référence (42) après l'interaction avec le premier élément optique. Au moins 20 % d'un pouvoir réfringent de l'optique de compensation (30) totale, laquelle est conçue pour générer le front d'onde au moins partiellement adapté de l'onde de mesure à partir d'un front d'onde de l'onde d'entrée, reviennent au premier élément optique (32), et le pouvoir réfringent qui revient au premier élément présente le même signe que le pouvoir réfringent de l'optique de compensation totale.
(DE) Eine Kompensationsoptik (30) für ein der interferometrischen Bestimmung einer Form einer optischen Oberfläche (12) eines Testobjekts (14) dienendes Messsystem (10) ist dazu konfiguriert, aus einer Eingangswelle (18) eine auf das Testobjekt gerichtete Messwelle (44) mit einer zumindest teilweise an eine Sollform der optischen Oberfläche angepassten Wellenfront zu erzeugen. Die Kompensationsoptik umfasst ein erstes optisches Element (32) sowie ein diesem in einem Strahlengang der Eingangswelle nachgeordnetes zweites optisches Element (34). Das zweite optische Element ist ein diffraktives optisches Element, welches dazu konfiguriert ist, die Eingangswelle nach Wechselwirkung mit dem ersten optischen Element in die Messwelle (44) sowie eine Referenzwelle (42) aufzuspalten. Mindestens 20% einer Brechkraft der gesamten Kompensationsoptik (30), welche zur Erzeugung der zumindest teilweise angepassten Wellenfront der Messwelle aus einer Wellenfront der Eingangswelle vorgesehen ist, entfällt auf das erste optische Element (32) und die auf das erste optische Element entfallende Brechkraft weist das gleiche Vorzeichen wie die Brechkraft der gesamten Kompensationsoptik auf.
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)