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1. (WO2019063403) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BERÜHRUNGSLOSEN MESSUNG EINES ABSTANDS ZU EINER OBERFLÄCHE ODER EINES ABSTANDS ZWISCHEN ZWEI OBERFLÄCHEN
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Veröff.-Nr.: WO/2019/063403 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/075441
Veröffentlichungsdatum: 04.04.2019 Internationales Anmeldedatum: 20.09.2018
IPC:
G02B 21/00 (2006.01) ,G01B 11/06 (2006.01) ,G01J 3/02 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01)
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
21
Mikroskope
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11
Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
02
zum Messen der Länge, Breite oder Dicke
06
zum Messen der Dicke
G Physik
01
Messen; Prüfen
J
Messen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3
Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
02
Einzelheiten
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
9
Instrumente wie in den Untergruppen aufgeführt und gekennzeichnet durch die Verwendung von optischen Messmitteln
02
Interferometer
Anmelder:
PRECITEC OPTRONIK GMBH [DE/DE]; Schleussnerstr. 54 63263 Neu-Isenburg, DE
Erfinder:
DIETZ, Christoph; DE
Vertreter:
OSTERTAG & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Epplestraße 14 70597 Stuttgart, DE
Prioritätsdaten:
10 2017 122 689.329.09.2017DE
Titel (EN) METHOD AND DEVICE FOR CONTACTLESSLY MEASURING A DISTANCE TO A SURFACE OR A DISTANCE BETWEEN TWO SURFACES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE SANS CONTACT D’UNE DISTANCE À UNE SURFACE OU D’UNE DISTANCE ENTRE DEUX SURFACES
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BERÜHRUNGSLOSEN MESSUNG EINES ABSTANDS ZU EINER OBERFLÄCHE ODER EINES ABSTANDS ZWISCHEN ZWEI OBERFLÄCHEN
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a measuring device for contactlessly measuring a distance to a surface (19) or a distance between two surfaces, comprising a measurement light source (11), which produces polychromatic measurement light (12), and an optical measuring head (16), which directs the measurement light (12) produced by the measurement light source (11) onto a measurement object (18) and receives measurement light (12') reflected therefrom. A spectrograph (20) with a dispersive optical element (22) and a detector (24) analyses the reflected measurement light (12') spectrally. A calibration light source (30) produces calibration light (32) having a known and temperature-independent spectral composition. An evaluation device (28) derives correction values from changes in a spectrum, which is produced by the calibration light (32) on light-sensitive cells (26) of the detector (24), by means of which correction values a predefined allocation between the light-sensitive cells (26) on the one hand and wavelengths, or variables derived from wavelengths, on the other hand is modified.
(FR) Un dispositif de mesure destiné à mesurer sans contact une distance à une surface (19) ou une distance entre deux surfaces comprend une source de lumière de mesure (11), qui génère une lumière de mesure polychromatique (12), et une tête de mesure optique (16) qui oriente la lumière de mesure (12), générée par la source de lumière de mesure (11), sur un objet de mesure (18) et reçoit une lumière de mesure (12’) réfléchie par celui-ci. Un spectrographe (20) pourvu d’un élément optique dispersif (22) et d’un détecteur (24) analyse spectralement la lumière de mesure réfléchie (12’). Une source de lumière d’étalonnage (30) génère une lumière d’étalonnage (32) et de composition spectrale connue indépendante de la température. À partir de modifications du spectre produit par la lumière d’étalonnage (32) sur des cellules photosensibles (26) du détecteur (24), un dispositif d’évaluation (28) déduit des valeurs de correction avec lesquelles une relation prédéterminée entre les cellules photosensibles (26) d’une part et les longueurs d’onde ou des grandeurs dérivées des longueurs d’onde, d’autre part est modifiée.
(DE) Eine Messvorrichtung zur berührungslosen Messung eines Abstands zu einer Oberfläche (19) oder eines Abstands zwischen zwei Oberflächen umfasst eine Messlichtquelle (11), die polychromatisches Messlicht (12) erzeugt, und einen optischen Messkopf (16) auf, der das von der Messlichtquelle (11) erzeugte Messlicht (12) auf ein Messobjekt (18) richtet und davon reflektiertes Messlicht (12') aufnimmt. Ein Spektrograf (20) mit einem dispersiven optischen Element (22) und einem Detektor (24) analysiert das reflektierte Messlicht (12') spektral. Eine Kalibrierlichtquelle (30) erzeugt Kalibrierlicht (32) bekannter und temperatur- unabhängiger spektraler Zusammensetzung. Eine Auswerteeinrichtung (28) leitet aus Ver- änderungen eines Spektrums, das von dem Kalibrierlicht (32) auf lichtempfindlichen Zellen (26) des Detektors (24) erzeugt wird, Korrekturwerte ab, mit denen eine vorgegebene Zu- ordnung zwischen den lichtempfindlichen Zellen (26) einerseits und Wellenlängen oder aus Wellenlängen abgeleiteten Größen andererseits modifiziert wird.
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)