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1. WO2019063403 - VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BERÜHRUNGSLOSEN MESSUNG EINES ABSTANDS ZU EINER OBERFLÄCHE ODER EINES ABSTANDS ZWISCHEN ZWEI OBERFLÄCHEN

Veröffentlichungsnummer WO/2019/063403
Veröffentlichungsdatum 04.04.2019
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2018/075441
Internationales Anmeldedatum 20.09.2018
IPC
G02B 21/00 2006.01
GSektion G Physik
02Optik
BOptische Elemente, Systeme oder Geräte
21Mikroskope
G01B 11/06 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
02zum Messen der Länge, Breite oder Dicke
06zum Messen der Dicke
G01J 3/02 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
02Einzelheiten
G01B 9/02 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
9Instrumente wie in den Untergruppen aufgeführt und gekennzeichnet durch die Verwendung von optischen Messmitteln
02Interferometer
CPC
G01B 11/0608
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness ; ; e.g. of sheet material
0608Height gauges
G01B 2210/50
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
2210Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
50Using chromatic effects to achieve wavelength-dependent depth resolution
G01B 9/02074
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02055characterised by error reduction techniques
0207Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer
02072by calibration or testing of interferometer
02074of the detector
G01B 9/0209
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
0209Non-tomographic low coherence interferometers, e.g. low coherence interferometry, scanning white light interferometry, optical frequency domain interferometry or reflectometry
Anmelder
  • PRECITEC OPTRONIK GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • DIETZ, Christoph
Vertreter
  • OSTERTAG & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB
Prioritätsdaten
10 2017 122 689.329.09.2017DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BERÜHRUNGSLOSEN MESSUNG EINES ABSTANDS ZU EINER OBERFLÄCHE ODER EINES ABSTANDS ZWISCHEN ZWEI OBERFLÄCHEN
(EN) METHOD AND DEVICE FOR CONTACTLESSLY MEASURING A DISTANCE TO A SURFACE OR A DISTANCE BETWEEN TWO SURFACES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE SANS CONTACT D’UNE DISTANCE À UNE SURFACE OU D’UNE DISTANCE ENTRE DEUX SURFACES
Zusammenfassung
(DE)
Eine Messvorrichtung zur berührungslosen Messung eines Abstands zu einer Oberfläche (19) oder eines Abstands zwischen zwei Oberflächen umfasst eine Messlichtquelle (11), die polychromatisches Messlicht (12) erzeugt, und einen optischen Messkopf (16) auf, der das von der Messlichtquelle (11) erzeugte Messlicht (12) auf ein Messobjekt (18) richtet und davon reflektiertes Messlicht (12') aufnimmt. Ein Spektrograf (20) mit einem dispersiven optischen Element (22) und einem Detektor (24) analysiert das reflektierte Messlicht (12') spektral. Eine Kalibrierlichtquelle (30) erzeugt Kalibrierlicht (32) bekannter und temperatur- unabhängiger spektraler Zusammensetzung. Eine Auswerteeinrichtung (28) leitet aus Ver- änderungen eines Spektrums, das von dem Kalibrierlicht (32) auf lichtempfindlichen Zellen (26) des Detektors (24) erzeugt wird, Korrekturwerte ab, mit denen eine vorgegebene Zu- ordnung zwischen den lichtempfindlichen Zellen (26) einerseits und Wellenlängen oder aus Wellenlängen abgeleiteten Größen andererseits modifiziert wird.
(EN)
The invention relates to a measuring device for contactlessly measuring a distance to a surface (19) or a distance between two surfaces, comprising a measurement light source (11), which produces polychromatic measurement light (12), and an optical measuring head (16), which directs the measurement light (12) produced by the measurement light source (11) onto a measurement object (18) and receives measurement light (12') reflected therefrom. A spectrograph (20) with a dispersive optical element (22) and a detector (24) analyses the reflected measurement light (12') spectrally. A calibration light source (30) produces calibration light (32) having a known and temperature-independent spectral composition. An evaluation device (28) derives correction values from changes in a spectrum, which is produced by the calibration light (32) on light-sensitive cells (26) of the detector (24), by means of which correction values a predefined allocation between the light-sensitive cells (26) on the one hand and wavelengths, or variables derived from wavelengths, on the other hand is modified.
(FR)
Un dispositif de mesure destiné à mesurer sans contact une distance à une surface (19) ou une distance entre deux surfaces comprend une source de lumière de mesure (11), qui génère une lumière de mesure polychromatique (12), et une tête de mesure optique (16) qui oriente la lumière de mesure (12), générée par la source de lumière de mesure (11), sur un objet de mesure (18) et reçoit une lumière de mesure (12’) réfléchie par celui-ci. Un spectrographe (20) pourvu d’un élément optique dispersif (22) et d’un détecteur (24) analyse spectralement la lumière de mesure réfléchie (12’). Une source de lumière d’étalonnage (30) génère une lumière d’étalonnage (32) et de composition spectrale connue indépendante de la température. À partir de modifications du spectre produit par la lumière d’étalonnage (32) sur des cellules photosensibles (26) du détecteur (24), un dispositif d’évaluation (28) déduit des valeurs de correction avec lesquelles une relation prédéterminée entre les cellules photosensibles (26) d’une part et les longueurs d’onde ou des grandeurs dérivées des longueurs d’onde, d’autre part est modifiée.
Auch veröffentlicht als
JP2020518006
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